本技术涉及单晶炉导流筒,更具体地说,本技术涉及一种新型单晶炉导流筒。
背景技术:
1、单晶炉导流筒是一种用于晶体生长的关键设备,在单晶生长过程中起到导流、降温和保护晶体的作用。其基本结构为圆柱形或锥形,通常由金属材料制成,内部表面涂覆有耐高温、抗腐蚀的特殊涂层。
2、公开号为cn207811930u的实用新型专利公开了一种单晶炉导流筒,针对现有的导流筒通常为石墨等材料,其温度梯度相对较小,因此,单晶硅生长速度较慢,单位时间内所产出的有效单晶较少,生产效率较低的问题,通过通过内锥筒与外锥筒在内筒体中形成一独立的连通下端口和上端口的气流通道,即内锥筒与外锥筒之间的空间;使得进入上端口的惰性气体的气流可通过该气流通道从下端口输出,并带走热量,在此过程中,由于内锥筒和外锥筒的传热系数均大于内筒体和外筒体的传热系数,可使散热速度得以提高,相较于现有技术,可提高单晶炉导流筒内部的纵向温度梯度,从而有利于提升单晶生长速度,提高生产效率。
3、单晶炉导流筒制造过程中,一般会在导流筒内部填充石墨软毡或者通过石墨胚体来保证单晶炉导流筒的保温隔热性能,但是石墨软毡或者石墨胚体具有使用寿命,使用一段时间后会产生粉化需要更换,该单晶炉导流筒在使用过程中不便进行拆卸更换,不便对内部的石墨软毡或者石墨胚体进行清理更换,影响导流筒的保温隔热效果。
技术实现思路
1、为了克服现有技术中的问题缺陷,本实用新型提供一种新型单晶炉导流筒,以解决上述背景技术中提出的问题。
2、为实现上述目的,本实用新型提供如下技术方案:一种新型单晶炉导流筒,包括内导流筒,所述内导流筒外侧套设有外导流筒上壳和外导流筒下壳,所述外导流筒上壳和外导流筒下壳之间设置有拆卸机构;
3、所述拆卸机构包括第一固定环,所述第一固定环固定在外导流筒下壳顶部外侧,所述第一固定环顶部连接有第二固定环,所述第二固定环固定在外导流筒上壳底部外侧,所述第一固定环和第二固定环顶部表面均开设有安装卡孔,所述第一固定环和第二固定环外侧安装有连接块,所述连接块内部开设有内腔,所述连接块一侧表面开设有卡槽,所述内腔内部滑动连接有移动板,所述移动板底部固定有移动卡杆。
4、优选地,所述移动卡杆与安装卡孔之间活动卡接,所述连接块顶部表面开设有第一螺纹孔,所述第一螺纹孔内部螺纹连接有螺纹杆,所述螺纹杆顶部固定有固定旋钮。
5、可以看出,上述技术方案中,便于通过转动固定旋钮带动螺纹杆旋转,从而使螺纹杆在第一螺纹孔内部移动。
6、优选地,所述螺纹杆底部安装有连接轴承,所述连接轴承安装在移动板顶部,所述螺纹杆底部贯穿连接块并延伸至连接块内部。
7、可以看出,上述技术方案中,避免螺纹杆旋转带动移动板旋转,保证移动板在垂直方向移动。
8、优选地,所述连接块和安装卡孔的数量均设置为多个,所述第一固定环和第二固定环的直径相同。
9、可以看出,上述技术方案中,多个连接块和安装卡孔提高外导流筒上壳和外导流筒下壳的固定效果。
10、优选地,所述内导流筒与外导流筒上壳之间设置有连接机构,所述连接机构包括连接杆,所述连接杆的数量设置为两个,两个所述连接杆分别设置在内导流筒两侧。
11、可以看出,上述技术方案中,通过连接杆使内导流筒可以进行拆卸更换。
12、优选地,所述连接杆底部设置有安装杆,所述安装杆一端与外导流筒上壳一侧固定连接,所述安装杆和连接杆顶部表面均开设有第二螺纹孔。
13、可以看出,上述技术方案中,便于安装杆和连接杆进行连接。
14、优选地,所述第二螺纹孔内部螺纹连接有固定螺栓。
15、可以看出,上述技术方案中,通过固定螺栓拧入到第二螺纹孔中可以便于安装杆和连接杆的连接固定。
16、本实用新型的技术效果和优点:
17、1、通过设置拆卸机构,在对导流筒内部的石墨软毡或者石墨胚体进行清理更换时,通过旋转固定旋钮,带动螺纹杆旋转,进而使移动板向上移动,使移动卡杆从第一固定环和第二固定环表面的安装卡孔中移出,完成分离,拉动外导流筒下壳使外导流筒下壳与外导流筒上壳之间分离,完成拆卸,与现有技术相比,便于对外导流筒上壳和外导流筒下壳进行拆卸分离,从而使外导流筒上壳和外导流筒下壳内部的石墨软毡或者石墨胚体暴露到外界,便于对石墨软毡或者石墨胚体进行清理和更换,更换效率高,操作简单便捷,省时省力,同时保证了导流筒的保温隔热效果;
18、2、通过设置连接机构,通过旋转第二螺纹孔,从而使第二螺纹孔从安装杆和连接杆表面的固定螺栓中拧出,从而安装杆和连接杆的分离,可以将内导流筒从外导流筒上壳中取出,便于更换不同下口直径的导流组件来满足不同直径单晶硅棒的拉制。
1.一种新型单晶炉导流筒,包括内导流筒(1),其特征在于:所述内导流筒(1)外侧套设有外导流筒上壳(2)和外导流筒下壳(3),所述外导流筒上壳(2)和外导流筒下壳(3)之间设置有拆卸机构;
2.根据权利要求1所述的一种新型单晶炉导流筒,其特征在于:所述移动卡杆(12)与安装卡孔(6)之间活动卡接,所述连接块(7)顶部表面开设有第一螺纹孔(14),所述第一螺纹孔(14)内部螺纹连接有螺纹杆(11),所述螺纹杆(11)顶部固定有固定旋钮(15)。
3.根据权利要求2所述的一种新型单晶炉导流筒,其特征在于:所述螺纹杆(11)底部安装有连接轴承(13),所述连接轴承(13)安装在移动板(10)顶部,所述螺纹杆(11)底部贯穿连接块(7)并延伸至连接块(7)内部。
4.根据权利要求1所述的一种新型单晶炉导流筒,其特征在于:所述连接块(7)和安装卡孔(6)的数量均设置为多个,所述第一固定环(4)和第二固定环(5)的直径相同。
5.根据权利要求1所述的一种新型单晶炉导流筒,其特征在于:所述内导流筒(1)与外导流筒上壳(2)之间设置有连接机构,所述连接机构包括连接杆(17),所述连接杆(17)的数量设置为两个,两个所述连接杆(17)分别设置在内导流筒(1)两侧。
6.根据权利要求5所述的一种新型单晶炉导流筒,其特征在于:所述连接杆(17)底部设置有安装杆(16),所述安装杆(16)一端与外导流筒上壳(2)一侧固定连接,所述安装杆(16)和连接杆(17)顶部表面均开设有第二螺纹孔(18)。
7.根据权利要求6所述的一种新型单晶炉导流筒,其特征在于:所述第二螺纹孔(18)内部螺纹连接有固定螺栓(19)。