本申请涉及设备制造,具体而言,涉及一种物体面型检测方法、系统及电子设备。
背景技术:
1、调焦调平系统被广泛应用于光学和电子设备中,旨在确保图像或信号的清晰度和稳定性,它在现代科学、医学、工程和娱乐领域中都扮演着关键角色。在调焦调平系统中,需要确定被测物体表面的整体面型,以根据整体面型判断调焦调平系统是否正确调焦调平。现有的面型检测方法通常需要测量被测平面上单点或者若干离散点的垂向高度,再通过垂向高度来确定被测平面的面型。
2、然而,上述被测平面的面型检测方法在测量垂向高度时,是通过下发每个采样点的位置坐标来控制测量台移动的,测量台每移动一段距离后就停止下来,以测量本次停止位置处的垂向高度。由于采样点数量较大,运动台需要多次执行停止、启动的运动过程,造成面型检测时间长的问题,同时,测试台自身的上述长时间运动还会将振动干扰引入到离散采样过程中,导致面型检测精度低的问题。
技术实现思路
1、有鉴于此,本申请的目的在于提供一种物体面型检测方法、系统及电子设备,以解决现有技术中,面型检测时间长及面型检测精度低的问题。
2、第一方面,本申请实施例提供了一种物体面型检测方法,应用于物体面型检测系统,物体面型检测系统包括用于放置被测物体的运动台,方法包括:
3、根据被测物体的几何信息,规划出理想测量轨迹下的多个分段测量轨迹,并确定每个分段测量轨迹对应的分段拟合曲线;
4、按照每个分段测量轨迹对应的分段拟合曲线控制运动台进行连贯运动,并在运动台的运动过程中通过扫描方式采集被测物体的垂向高度信息;
5、根据采集到的垂向高度信息,确定被测物体的面型。
6、可选地,按照每个分段测量轨迹对应的分段拟合曲线控制运动台进行连贯运动,包括:针对每个分段测量轨迹,根据该分段测量轨迹对应的分段拟合曲线,确定该分段测量轨迹对应的运动控制参数;按照不同分段测量轨迹对应的运动控制参数,控制运动台在水平方向和竖直方向上进行同步运动,以使运动台按照多个分段拟合曲线对应的整体拟合曲线进行连贯运动。
7、可选地,并在运动台的运动过程中通过扫描方式采集被测物体的垂向高度信息,包括:在运动台的运动过程中,对各分段拟合曲线对应的被测物体上各采样点的垂向高度进行扫描式采样,以将各采样点对应的垂向高度作为被测物体的垂向高度信息。
8、可选地,根据被测物体的几何信息,规划出理想测量轨迹下的多个分段测量轨迹,包括:根据被测物体的几何信息,规划出理想测量轨迹;将理想测量轨迹等分为多个分段测量轨迹。
9、可选地,根据被测物体的几何信息,规划出理想测量轨迹,包括:根据被测物体的几何信息,确定理想测量轨迹的轨迹类型;根据轨迹类型及被测物体的工艺特性,确定测量轨迹参数,以根据测量轨迹参数规划出理想测量轨迹。
10、可选地,方法还包括:获取运动台的实际运动轨迹,并确定实际运动轨迹与所有分段拟合曲线对应的整体拟合曲线之间的偏离程度;根据偏离程度,确定整体拟合曲线是否符合拟合要求。
11、可选地,根据采集到的垂向高度信息,确定被测物体的面型,包括:根据每个采样点的位置及垂向高度的采集时间顺序,确定被测物体上各采样点与垂向高度之间的对应关系;根据对应关系,确定被测物体的面型。
12、可选地,并确定每个分段测量轨迹对应的分段拟合曲线,包括:针对每个分段测量轨迹,确定该分段测量轨迹上的多个轨迹点坐标;对多个轨迹点坐标对应的曲线进行拟合,以获得该分段测量轨迹对应的分段拟合曲线。
13、第二方面,本申请实施例还提供了一种物体面型检测系统,所述物体面型检测系统包括运动台、光源、光线处理单元、信号采集单元、处理单元;
14、运动台用于放置被测物体;
15、光源用于向光线处理单元发射探测光束;
16、光线处理单元用于接收探测光束并对探测光束进行聚拢后投影至被测物体上;
17、信号采集单元用于接收返回的光强信号,并将光强信号转换为电压信号发送至处理单元;
18、处理单元执行上述的物体面型检测方法,并接收电压信号,以确定被测物体的面型。
19、第三方面,本申请实施例还提供一种电子设备,包括:处理器、存储器和总线,所述存储器存储有所述处理器可执行的机器可读指令,当电子设备运行时,所述处理器与所述存储器之间通过总线通信,所述机器可读指令被所述处理器执行时执行如上述的物体面型检测方法的步骤。
20、本申请实施例带来了以下有益效果:
21、本申请实施例提供的一种物体面型检测方法、系统及电子设备,能够采用曲线拟合的方法来规划运动台的运动轨迹,通过运动轨迹控制运动台进行连贯运动,提高了采样效率,缩短了面型检测时间,同时通过扫描式的连续采样来获取垂向高度信息,将现有技术中的离散采样方式改为扫描测试方式,能够保证在短时间内的统一环境下实现快速采样,提高了面型检测精度,与现有技术中的物体面型检测方法相比,解决了面型检测时间长及面型检测精度低的问题。
22、为使本申请的上述目的、特征和优点能更明显易懂,下文特举较佳实施例,并配合所附附图,作详细说明如下。
1.一种物体面型检测方法,其特征在于,应用于物体面型检测系统,所述物体面型检测系统包括用于放置被测物体的运动台,所述方法包括:
2.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,所述按照每个分段测量轨迹对应的分段拟合曲线控制所述运动台进行连贯运动,包括:
3.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,所述并在所述运动台的运动过程中通过扫描方式采集所述被测物体的垂向高度信息,包括:
4.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,所述根据所述被测物体的几何信息,规划出理想测量轨迹下的多个分段测量轨迹,包括:
5.根据权利要求4所述的方法,其特征在于,所述根据所述被测物体的几何信息,规划出理想测量轨迹,包括:
6.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,所述方法还包括:
7.根据权利要求3所述的方法,其特征在于,所述根据采集到的垂向高度信息,确定所述被测物体的面型,包括:
8.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,所述并确定每个分段测量轨迹对应的分段拟合曲线,包括:
9.一种物体面型检测系统,其特征在于,所述物体面型检测系统包括运动台、光源、光线处理单元、信号采集单元、处理单元;
10.一种电子设备,其特征在于,包括:处理器、存储介质和总线,所述存储介质存储有所述处理器可执行的机器可读指令,当电子设备运行时,所述处理器与所述存储介质之间通过总线通信,所述处理器执行所述机器可读指令,以执行如权利要求1至8中任一项所述的物体面型检测方法的步骤。