本技术属于半导体制造领域，特别涉及一种防止金属颗粒产生的8寸晶圆提篮。
背景技术：
1、现有技术中，晶圆由硅片制成，半导体生产线车间在转运晶圆时，为了防止价值较高的晶圆碰撞破损，通常使用提篮来装载晶圆进行转运。目前的提篮的结构为金属材质，晶圆放入提篮内部后，其问题在于：在使用时晶圆容易与提篮内壁碰撞产生金属颗粒（particle）；提篮卡扣与把手为金属材质，未进行防护，容易在使用时产生金属颗粒，提篮的挡板、卡扣与把手产生的金属颗粒容易掉落在提篮内存储的晶圆上，导致产品损失；晶圆完全放入提篮内部，取出不够方便。
技术实现思路
1、本实用新型的目的是提供一种防止金属颗粒产生的8寸晶圆提篮，能够有效减少提篮在使用时摩擦导致金属颗粒的产生，避免晶圆产品上存在金属异物从而导致产品损失，便于从提篮中取出晶圆。
2、本实用新型的目的是这样实现的：一种防止金属颗粒产生的8寸晶圆提篮，包括两块左右对称的侧板，侧板竖直设置，所述侧板包括外层板和内层板，外层板的顶部高度高于内层板的顶部高度，两块外层板顶部之间水平设有中联接板，两块外层板顶部之间位于中联接板前后两侧分别设有上板一和上板二，中联接板、上板一和上板二下表面均与内层板相接触，位于两块内层板的底部之间水平设有下板，位于两块内层板的后部之间竖直设有后挡板，后挡板上部与上板二相贴靠，所述内层板内侧沿高度方向等间隔开设有若干放置槽，所述中联接板的上部设置有两个左右对称分的把手，u形把手的前后两端分别与中联接板上的两个支座相转动连接。
3、本实用新型使用时，将固定在铁框上的晶圆水平推入提篮，放置在左右对应的两个放置槽之间；上板一、上板二和下板的材质均为亚克力，内层板的材质为pom，防止铁框与其摩擦产生金属颗粒，亚克力的把手转动时避免金属颗粒产生，提篮卡扣使用塑胶套管防护，避免卡扣转动时金属颗粒产生；需要取出晶圆时，向前推动推板，推杆穿过贯穿槽推动固定在铁框上的晶圆向前移动，便于取出晶圆，与现有技术相比，本实用新型的有益效果在于：能够有效减少提篮在使用时摩擦导致金属颗粒的产生，避免晶圆产品上存在金属异物从而导致产品损失，便于从提篮中取出晶圆。
4、为了便于安装上板一、上板二，所述外层板和中联接板的材质均为金属，把手、上板一、上板二和下板的材质均为亚克力，上板一、上板二的左右两侧均设置有纵向插条，插条嵌入对应外层板内壁的凹槽内，内层板的材质为pom。
5、为了加固外层板和内层板，所述外层板和内层板之间设置有若干从上到下依次等间隔排列的加固条，加固条纵向设置。
6、为了便于固定外层板和内层板，所述外层板和内层板粘接固定。
7、为了减少晶圆铁框与内层板的摩擦，左右对应的两个所述放置槽之间均水平放置有一固定在铁框上的晶圆，铁框的两侧分别支撑在对应放置槽底壁上，内层板上位于任意相邻的两个放置槽之间均开设有一间隔槽，间隔槽的宽度小于放置槽的宽度。晶圆通过胶膜固定在环形铁框上，将晶圆和铁框存放在提篮中。
8、为了便于将晶圆推出提篮，方便取走晶圆，与所述后挡板的后方相对应设置有推板，推板的前侧设置有两组左右对称的推动组件，所述推动组件包括两根上下间隔的纵向联接杆，两联接杆前端与竖直的推杆相固定，后挡板上对应每个推杆均开设有一贯穿槽，推板前侧设有两根左右对应的纵向导杆，导杆截面为圆形，两侧板外侧均设有导向座，导杆配合穿过导向座并与导向座滑动连接，导杆前端设有限位端板，导杆外周设有外台阶，导杆外周套设有弹簧，弹簧的前后两端分别弹性抵触在限位端板、外台阶上。推板向前推时，外台阶压缩弹簧，推杆将晶圆推出；然后弹簧复位，推动推杆、推板复位。
9、为了将放入提篮内的晶圆固定，防止晶圆从提篮滑出来，右侧所述侧板的外层板上转动连接有u形卡扣，卡扣外周套设有塑胶套管，竖直设置的卡扣的上下两端均设有销轴，两销轴分别与外层板的上部、下部相转动连接，上板一、下板上均对应卡扣开设有摆动槽。晶圆放入提篮后，转动卡扣挡住晶圆铁框，防止晶圆脱出。
1.一种防止金属颗粒产生的8寸晶圆提篮，包括两块左右对称的侧板，侧板竖直设置，其特征在于，所述侧板包括外层板和内层板，外层板的顶部高度高于内层板的顶部高度，两块外层板顶部之间水平设有中联接板，两块外层板顶部之间位于中联接板前后两侧分别设有上板一和上板二，中联接板、上板一和上板二下表面均与内层板相接触，位于两块内层板的底部之间水平设有下板，位于两块内层板的后部之间竖直设有后挡板，后挡板上部与上板二相贴靠，所述内层板内侧沿高度方向等间隔开设有若干放置槽，所述中联接板的上部设置有两个左右对称分的把手，u形把手的前后两端分别与中联接板上的两个支座相转动连接。
2.根据权利要求1所述的一种防止金属颗粒产生的8寸晶圆提篮，其特征在于，所述外层板和中联接板的材质均为金属，把手、上板一、上板二和下板的材质均为亚克力，上板一、上板二的左右两侧均设置有纵向插条，插条嵌入对应外层板内壁的凹槽内，内层板的材质为pom。
3.根据权利要求2所述的一种防止金属颗粒产生的8寸晶圆提篮，其特征在于，所述外层板和内层板之间设置有若干从上到下依次等间隔排列的加固条，加固条纵向设置。
4.根据权利要求2所述的一种防止金属颗粒产生的8寸晶圆提篮，其特征在于，所述外层板和内层板粘接固定。
5.根据权利要求1-4任一项所述的一种防止金属颗粒产生的8寸晶圆提篮，其特征在于，左右对应的两个所述放置槽之间均水平放置有一固定在铁框上的晶圆，铁框的两侧分别支撑在对应放置槽底壁上，内层板上位于任意相邻的两个放置槽之间均开设有一间隔槽，间隔槽的宽度小于放置槽的宽度。
6.根据权利要求1-4任一项所述的一种防止金属颗粒产生的8寸晶圆提篮，其特征在于，与所述后挡板的后方相对应设置有推板，推板的前侧设置有两组左右对称的推动组件，所述推动组件包括两根上下间隔的纵向联接杆，两联接杆前端与竖直的推杆相固定，后挡板上对应每个推杆均开设有一贯穿槽，推板前侧设有两根左右对应的纵向导杆，导杆截面为圆形，两侧板外侧均设有导向座，导杆配合穿过导向座并与导向座滑动连接，导杆前端设有限位端板，导杆外周设有外台阶，导杆外周套设有弹簧，弹簧的前后两端分别弹性抵触在限位端板、外台阶上。
7.根据权利要求1-4任一项所述的一种防止金属颗粒产生的8寸晶圆提篮，其特征在于，右侧所述侧板的外层板上转动连接有u形卡扣，卡扣外周套设有塑胶套管，竖直设置的卡扣的上下两端均设有销轴，两销轴分别与外层板的上部、下部相转动连接，上板一、下板上均对应卡扣开设有摆动槽。
