六氟化硫生产中的副产物氢氟酸自动换酸装置的制作方法

专利2025-06-01  19


本技术属于换酸装置的,具体涉及六氟化硫生产中的副产物氢氟酸自动换酸装置。


背景技术:

1、六氟化硫具有良好的电气绝缘性能和灭弧性能。六氟化硫是一种理想的电子蚀刻剂,被广泛应用于微电子技术领域。六氟化硫气体通常由氟反应产生,氟在中高温下与硫电解产生的。除六氟化硫外,还产生少量氢氟酸和其他副产品。由于氟硫反应是一种非常强烈的放热反应,其反应温度不易控制,导致副产物增加。而在六氟化硫的生产中对于氢氟酸的控制与检测成为主要工作之一。

2、目前,氢氟酸检测需要人工取样,然后送去检测中心利用酸碱滴定法检测,每次从取样到出结果至少需要1个小时的时间,造成了检测结果滞后的情况,进一步对生产现场造成不可逆的影响。另外,人工取样及检测,人工耗费巨大,安全得不到保障。另外在生产过程中,氢氟酸的浓度达到之后,换酸的工作采用人工操作,工作量不仅大,而且危险性强,因此,对于六氟化硫生产中的换酸工作的改进成为重要的项目之一。

3、cn106093293a公开了一种六氟化硫气体酸性分解物浓度的检测方法,包括充六氟化硫气体的电气设备、气体取样阀、不可调节的气体流量计、六氟化硫气体分解物氧化装置、密封的锥形瓶、碱式滴定管、滴定管固定支架,这种检测方法不仅检测速度慢,而且对于现场的指导起不到作用。


技术实现思路

1、本实用新型的目的在于克服现有技术存在的上述缺陷,提出了一种六氟化硫生产中的副产物氢氟酸自动换酸装置,通过氢氟酸储罐的液位计b与外排打酸调节阀联锁,实现了氢氟酸的自动更换的功能。

2、本实用新型是采用以下的技术方案实现的:

3、所述的六氟化硫生产中的副产物氢氟酸自动换酸装置,包括水洗塔和氢氟酸储罐,所述的水洗塔的塔底出口通过氢氟酸外排管路与氢氟酸储罐连接,氢氟酸外排管路上设置有酸浓度检测计,酸浓度检测计与喷淋泵连接,喷淋泵的出口分为两路,一路为喷淋管路,另一路与氢氟酸储罐连接并设置有外排打酸调节阀,喷淋管路上设置有喷淋管路调节阀,喷淋管路与水洗塔的塔顶连接;水洗塔上设置有补水管路,补水管路上设置有补水管路调节阀,水洗塔上设置有液位计a,氢氟酸储罐上设置有液位计b。

4、优选的,氢氟酸储罐上设置有现场液位计。

5、优选的,水洗塔内部设置有两段填料段。

6、优选的,补水管路调节阀与液位计a无线联锁。

7、优选的,酸浓度检测计与喷淋管路调节阀无线联锁。

8、优选的,酸浓度检测计与外排打酸调节阀无线联锁。

9、优选的,外排打酸调节阀与液位计b无线联锁。

10、本实用新型的六氟化硫生产中的副产物氢氟酸自动换酸装置,在水洗塔产生氢氟酸,水洗塔的塔釜底部进喷淋泵前增加酸浓度检测计,随时检测水洗塔内氢氟酸的浓度,水洗塔的出口喷淋管路调节阀与酸浓度检测计联锁,氢氟酸酸浓度<40%时喷淋管路调节阀全开,氢氟酸酸浓度≥40%喷淋管路调节阀关闭50%;水洗塔的出口氢氟酸外排管路的外排打酸调节阀与氢氟酸酸浓度检测计联锁,氢氟酸酸浓度≥40%时,外排打酸调节阀打开30%,外排氢氟酸;水洗塔的液位计a与补水管路调节阀联锁,液位在10%,联锁补水管路调节阀,自动补水;液位达到55%,联锁补水管路调节阀,停止补水。氢氟酸储罐的液位达到70%声光报警,液位计b与外排打酸调节阀联锁,液位达到80%,外排打酸调节阀关闭。

11、本实用新型的有益效果是:

12、(1)本实用新型所述的六氟化硫生产中的副产物氢氟酸自动换酸装置,水洗塔氢氟酸酸浓度检测实现自动化,减轻人员作业强度。

13、(2)本实用新型所述的六氟化硫生产中的副产物氢氟酸自动换酸装置,水洗塔氢氟酸酸浓度随时检测,避免浓度过高,损坏水洗塔。

14、(3)本实用新型所述的六氟化硫生产中的副产物氢氟酸自动换酸装置,水洗塔氢氟酸更换实现自动化,减轻人员作业强度。

15、(4)本实用新型所述的六氟化硫生产中的副产物氢氟酸自动换酸装置,氢氟酸储罐液位计与外排打酸调节阀联锁,避免氢氟酸外排时氢氟酸储罐超液位,造成冒罐的问题。



技术特征:

1.一种六氟化硫生产中的副产物氢氟酸自动换酸装置,其特征在于:包括水洗塔(1)和氢氟酸储罐(7),所述的水洗塔(1)的塔底出口通过氢氟酸外排管路(11)与氢氟酸储罐(7)连接,氢氟酸外排管路(11)上设置有酸浓度检测计(2),酸浓度检测计(2)与喷淋泵(3)连接,喷淋泵(3)的出口分为两路,一路为喷淋管路(10),另一路与氢氟酸储罐(7)连接并设置有外排打酸调节阀(5),喷淋管路(10)上设置有喷淋管路调节阀(4),喷淋管路(10)与水洗塔(1)的塔顶连接;水洗塔(1)上设置有补水管路(9),补水管路(9)上设置有补水管路调节阀(6),水洗塔(1)上设置有液位计a(8),氢氟酸储罐(7)上设置有液位计b(13)。

2.根据权利要求1所述的六氟化硫生产中的副产物氢氟酸自动换酸装置,其特征在于:氢氟酸储罐(7)上设置有现场液位计(12)。

3.根据权利要求1所述的六氟化硫生产中的副产物氢氟酸自动换酸装置,其特征在于:水洗塔(1)内部设置有两段填料段(15)。

4.根据权利要求1所述的六氟化硫生产中的副产物氢氟酸自动换酸装置,其特征在于:补水管路调节阀(6)与液位计a(8)无线联锁。

5.根据权利要求1所述的六氟化硫生产中的副产物氢氟酸自动换酸装置,其特征在于:酸浓度检测计(2)与喷淋管路调节阀(4)无线联锁。

6.根据权利要求1所述的六氟化硫生产中的副产物氢氟酸自动换酸装置,其特征在于:酸浓度检测计(2)与外排打酸调节阀(5)无线联锁。

7.根据权利要求1所述的六氟化硫生产中的副产物氢氟酸自动换酸装置,其特征在于:外排打酸调节阀(5)与液位计b(13)无线联锁。


技术总结
本技术属于换酸装置的技术领域,具体涉及六氟化硫生产中的副产物氢氟酸自动换酸装置。所述的六氟化硫生产中的副产物氢氟酸自动换酸装置,包括水洗塔和氢氟酸储罐,所述的水洗塔的塔底出口通过氢氟酸外排管路与氢氟酸储罐连接,氢氟酸外排管路上设置有酸浓度检测计,酸浓度检测计与喷淋泵连接,喷淋泵的出口分为两路,一路为喷淋管路,另一路与氢氟酸储罐连接并设置有外排打酸调节阀,喷淋管路上设置有喷淋管路调节阀;水洗塔上设置有补水管路,补水管路上设置有补水管路调节阀,水洗塔上设置有液位计a,氢氟酸储罐上设置有液位计b。本技术提出的六氟化硫生产中的副产物氢氟酸自动换酸装置,实现了氢氟酸的自动更换的功能。

技术研发人员:刘光宇,王绪坡,杨茂武
受保护的技术使用者:南大光电(淄博)有限公司
技术研发日:20231024
技术公布日:2024/6/26
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