本技术涉及晶锭切割，尤其涉及一种晶锭切割的固定装置。
背景技术：
1、晶锭和晶片切割是衬底生产环节的主要工序，相较于传统砂浆切割，金刚石线锯切割技术可用于晶锭截断、开方、晶片切割，其优点在于效率高、材料损耗低、污染少。特别是在对晶体进行取样片时，金刚线单线切割已成为广泛应用的技术手段。单线切割sic晶锭取片时，有直切和旋切两种方式。前者进刀量约为晶锭的直径，后者约为晶锭半径，故后者切割效率更高。
2、为了防止旋切工艺末期发生脆断，在材料上留下断口，造成材料浪费甚至取片失败，需要在旋切末期适时停机，即将切断的两部分进行相对固定，再将切割方式转换为直切。该步骤降低了作业效率，且固定方法不当还会导致晶片表面质量差甚至切割失败。
技术实现思路
1、本实用新型针对上述问题，至少克服一个，提出了一种晶锭切割的固定装置。
2、本实用新型采取的技术方案如下：
3、本申请提供一种晶锭切割的固定装置，包括机座、主动旋转机构、转盘、从动机构以及吸盘组件，
4、所述主动旋转机构设置在所述机座上，所述主动旋转机构包括第一转轴，所述转盘设置在所述第一转轴上，所述转盘用于安装待切割的晶锭，所述主动旋转机构用于驱动所述转盘及转盘上的晶锭转动；
5、所述从动机构滑动设置在所述机座上，所述从动机构上设置有第二转轴，所述第二转轴与所述第一转轴同轴线设置；
6、所述吸盘组件设置在所述第二转轴上，所述吸盘组件用于从晶锭远离转盘的一侧吸附晶锭。
7、实际使用时，切割开始前，所述吸盘组件吸附在晶锭上，对晶锭的待截取一侧进行吸附固定，切割时，第二转轴以及吸盘组件沿第二转轴的轴线方向随晶锭及第一转轴转动；在切割末期，得以减少停机对材料进行固定的操作步骤，减少了切割方式转换带来的效率损失，以及降低了切割失败的风险。
8、进一步的，所述转盘与所述第一转轴同轴线设置；
9、所述吸盘组件与所述第二转轴同轴线设置。
10、从动机构包括从动座，第二转轴通过轴承转动安装在从动座上。
11、进一步的，所述从动机构上设置有滑槽，所述机座上设置有滑轨，或者是所述从动机构上设置有滑轨，所述机座上设置有滑槽，滑轨与滑槽配合，将所述从动机构滑动设置在所述机座上。
12、进一步的，还包括锁紧机构，所述锁紧机构设置在所述从动机构上，当吸盘组件吸附住晶锭后，所述锁紧机构用于将所述从动机构锁于所述机座上。
13、进一步的，还包括转速监测器以及制动器，所述转速监测器用于检测所述第二转轴的转速；
14、所述制动器与所述转速监测器电连接，当转速监测器检测到第二转轴的转速降低至设定值时，所述制动器用于使所述第二转轴停止转动。
15、实际使用过程中，当切割结束时，第二转轴的转速会急剧减小，增设转速监测器对第二转轴的转速进行检测，并通过转速监测器信号反馈给制动器，使所述第二转轴停止转动，以达到晶锭切割完成后自动停机效果。
16、进一步的，所述吸盘组件包括至少一个吸盘以及至少一个连接件，所述吸盘通过所述连接件与所述第一转轴连接。
17、进一步的，还包括抽真空设备以及连接管，所述抽真空设备通过连接管与所述吸盘连接。
18、进一步的，所述连接件与所述第一转轴可拆卸连接，所述吸盘的材质为pp材料、硅胶、软质pvc、tpe或者橡胶中的任意一种。
19、即所述吸盘为硬质材料或者软质材料。硬质的吸盘可以为pp材料，软质的吸盘可以为硅胶、软质pvc、tpe或者橡胶中的任意一种。
20、进一步的，还包括压力检测器，所述压力检测器设置在晶锭靠近吸盘组件一侧，所述抽真空设备与所述压力检测器信号连接，当所述压力检测器检测到晶锭与吸盘之间的气压低于设定值时，所述抽真空设备用于对吸盘与晶锭之间进行抽真空以防止晶锭从吸盘脱落。
21、抽真空设备与压力检测器配合，确保全过程稳定切割，晶锭不会从吸盘脱落。
22、进一步的，所述抽真空设备为气泵或者真空泵。
23、本发明能有效解决单线切割晶锭切割末期需要停机进行材料固定，以及切割方式转换带来的效率损失，降低失败风险。
24、本实用新型的有益效果是：
25、切割开始前，所述吸盘组件吸附在晶锭上，对晶锭的待截取一侧进行吸附固定，切割时，第二转轴以及吸盘组件沿第二转轴的轴线方向随晶锭及第一转轴转动；在切割末期，得以减少停机对材料进行固定的操作步骤，减少了切割方式转换带来的效率损失，以及降低了切割失败的风险。
1.一种晶锭切割的固定装置，其特征在于，包括机座、主动旋转机构、转盘、从动机构以及吸盘组件，
2.如权利要求1所述的一种晶锭切割的固定装置，其特征在于，所述转盘与所述第一转轴同轴线设置；
3.如权利要求1所述的一种晶锭切割的固定装置，其特征在于，所述从动机构上设置有滑槽，所述机座上设置有滑轨，或者是所述从动机构上设置有滑轨，所述机座上设置有滑槽，滑轨与滑槽配合，将所述从动机构滑动设置在所述机座上。
4.如权利要求1所述的一种晶锭切割的固定装置，其特征在于，还包括锁紧机构，所述锁紧机构设置在所述从动机构上，当吸盘组件吸附住晶锭后，所述锁紧机构用于将所述从动机构锁于所述机座上。
5.如权利要求1所述的一种晶锭切割的固定装置，其特征在于，还包括转速监测器以及制动器，所述转速监测器用于检测所述第二转轴的转速；
6.如权利要求1所述的一种晶锭切割的固定装置，其特征在于，所述吸盘组件包括至少一个吸盘以及至少一个连接件，所述吸盘通过所述连接件与所述第一转轴连接。
7.如权利要求6所述的一种晶锭切割的固定装置，其特征在于，还包括抽真空设备以及连接管，所述抽真空设备通过连接管与所述吸盘连接。
8.如权利要求6所述的一种晶锭切割的固定装置，其特征在于，所述连接件与所述第一转轴可拆卸连接，所述吸盘的材质为pp材料、硅胶、软质pvc、tpe或者橡胶中的任意一种。
9.如权利要求7所述的一种晶锭切割的固定装置，其特征在于，还包括压力检测器，所述压力检测器设置在晶锭靠近吸盘组件一侧，所述抽真空设备与所述压力检测器信号连接，当所述压力检测器检测到晶锭与吸盘之间的气压低于设定值时，所述抽真空设备用于对吸盘与晶锭之间进行抽真空以防止晶锭从吸盘脱落。
10.如权利要求9所述的一种晶锭切割的固定装置，其特征在于，所述抽真空设备为气泵或者真空泵。
