本技术涉及溅射台,具体为一种溅射台腔体喷砂清洗装备。
背景技术:
1、溅射工艺是以一定能量的粒子轰击固体表面,使固体近表面的原子或分子获得足够大的能量而最终逸出固体表面的工艺,溅射只能在一定的真空状态下进行,而在溅射台长久使用后工作台和腔体将会沉积颗粒杂质,进而需要对溅射台进行清理。
2、现有的溅射台在进行清洗时,通常需要工作人员砂纸,无尘布、酒精与吸尘器等工具来完成对溅射台腔体的清洗,由于工作人员需要使用各种工具来完成对溅射台腔体内部的清洗,从而导致工作人员需要花费大量的时间来完成对溅射台腔体的清洗,进而降低了工作人员后续对溅射台腔体进行清洗的效率,同时上述部分工具由于使用面积较大,从而导致溅射台腔体内部死角无法进行有效清洗,进而降低了后续对溅射台腔体进行使用的效果,因此,现有的溅射台腔体喷砂清洗装备需要进行一定的改进。
技术实现思路
1、本实用新型的目的在于提供一种溅射台腔体喷砂清洗装备,以解决上述背景技术中提出的问题。
2、为实现上述目的,本实用新型提供如下技术方案:一种溅射台腔体喷砂清洗装备,包括箱体,所述箱体的顶部固定安装有多用握把,且箱体的一侧开设有出风口,所述出风口的一侧设置有排风扇,所述箱体的内部设置有收纳盒,所述收纳盒的外壁固定安装有过滤网,且收纳盒的一侧贴合安装有连接管,所述连接管的一端固定连接有轴承,且轴承的内壁固定连接有转杆,所述转杆的外壁转动连接有皮带;
3、所述皮带的内壁转动连接有电机,且电机的底部固定连接有隔板,所述转杆的外壁固定连接有固定管,且固定管的顶部固定连接有卡合结构,所述卡合结构的外壁卡合连接有清洁套筒,且清洁套筒的底部开设有吸入孔。
4、优选的,所述收纳盒滑动安装在箱体的内壁,且收纳盒的外壁与箱体的内壁形状大小相互匹配。
5、优选的,清洁套筒的内壁滑动连接在固定管的外壁,且清洁套筒的内壁开设有安装孔,所述安装孔的内壁卡合连接有卡合结构。
6、优选的,卡合结构包括滑动环,且滑动环的外壁开设有弧面槽,所述滑动环的内壁滑动连接在转杆的外壁。
7、优选的,滑动环的底部固定连接有连接弹簧,且连接弹簧的底部固定连接在固定管的顶部。
8、优选的,滑动环的外壁滑动连接有过孔环,所述过孔环的内壁滑动连接有卡合珠,且过孔环的底部固定安装在固定管的顶部。
9、与现有技术相比,本实用新型的有益效果是:该用于在使用该用于溅射台腔体喷砂清洗装备时,;
10、1.通过排风扇、收纳盒与转杆的设置,此时电机的使用将通过皮带带动转杆进行旋转,使得转杆通过固定管与卡合结构带动清洁套筒进行旋转,以使得清洁套筒对溅射台腔体内进行清洗,从而方便了工作人员对对溅射台腔体内进行快速清洗,降低了工作人员对溅射台腔体内进行清洗的工作强度,进而避免了工作人员手工打磨的不便与打磨不均匀的情况发生,同时通过排风扇配合连接管和转杆将清洁套筒打磨时所产生的颗粒进行传输,从而将溅射台内的颗粒与灰尘收纳至收纳盒的内部,进而提高了工作人员对溅射台腔体进行清洗的效果;
11、2.通过固定管、卡合结构、清洁套筒的设置,此时通过卡合结构的使用,以使得卡合结构与清洁套筒进行快速安装,从而方便了工作人员对清洁套筒进行快速安装或拆卸,进而提高了工作人员对清洁套筒进行清洗替换的效率,同时防止了工作人员在进行清洗携带多种繁杂的清洗工具,进而方便了工作人员对多种清洗工具进行快速使用,增加了溅射台腔体喷砂清洗装备的适用性。
1.一种溅射台腔体喷砂清洗装备,包括箱体(1),其特征在于:所述箱体(1)的顶部固定安装有多用握把(2),且箱体(1)的一侧开设有出风口(3),所述出风口(3)的一侧设置有排风扇(4),所述箱体(1)的内部设置有收纳盒(5),所述收纳盒(5)的外壁固定安装有过滤网(6),且收纳盒(5)的一侧贴合安装有连接管(7),所述连接管(7)的一端固定连接有轴承(8),且轴承(8)的内壁固定连接有转杆(9),所述转杆(9)的外壁转动连接有皮带(10);
2.根据权利要求1所述的一种溅射台腔体喷砂清洗装备,其特征在于,所述收纳盒(5)滑动安装在箱体(1)的内壁,且收纳盒(5)的外壁与箱体(1)的内壁形状大小相互匹配。
3.根据权利要求1所述的一种溅射台腔体喷砂清洗装备,其特征在于,所述清洁套筒(15)的内壁滑动连接在固定管(13)的外壁,且清洁套筒(15)的内壁开设有安装孔,所述安装孔的内壁卡合连接有卡合结构(14)。
4.根据权利要求1所述的一种溅射台腔体喷砂清洗装备,其特征在于,所述卡合结构(14)包括滑动环(1401),且滑动环(1401)的外壁开设有弧面槽(1402),所述滑动环(1401)的内壁滑动连接在转杆(9)的外壁。
5.根据权利要求4所述的一种溅射台腔体喷砂清洗装备,其特征在于,所述滑动环(1401)的底部固定连接有连接弹簧(1403),且连接弹簧(1403)的底部固定连接在固定管(13)的顶部。
6.根据权利要求4所述的一种溅射台腔体喷砂清洗装备,其特征在于,所述滑动环(1401)的外壁滑动连接有过孔环(1404),所述过孔环(1404)的内壁滑动连接有卡合珠(1405),且过孔环(1404)的底部固定安装在固定管(13)的顶部。