实施方式的方面涉及光学系统。此外，实施方式的方面涉及光学系统和包括该光学系统的激光装置。
背景技术：
1、通常，作为将非晶硅层结晶成多晶硅层的方法，使用固相结晶(spc)、金属诱导结晶(mic)、金属诱导横向结晶(milc)和准分子激光退火(ela)。例如，使用激光束将非晶硅结晶成多晶硅的准分子激光退火主要在有机发光显示装置或液晶显示装置的制造工艺中使用。
2、在准分子激光退火(ela)中使用的激光装置包括产生源激光束的激光发生器。源激光束是未处理的原始激光束，并且具有具备主轴和辅轴的矩形剖面。源激光束在主轴方向和辅轴方向二者上都具有高斯分布的能量分布。高斯分布是指关于平均值横向对称的正态分布。
3、然而，当在激光装置的多个枪头之间出现振动时，源激光束的能量分布可能偏离正态分布并且可能变得横向不对称。在这种情况下，在多晶硅层中可能出现结晶缺陷。由于这个原因，已经开发了复杂的光学系统来消除源激光束的不对称性，但是可能存在的问题是，因为可能需要大量的光学透镜，空间可能受到限制，并且光束对准可能困难，所以光效率降低。
技术实现思路
1、根据本公开的实施方式的方面，提供了一种光学系统。
2、根据本公开的实施方式的另一方面，提供了一种包括光学系统的激光装置。
3、根据本公开的一个或多个实施方式，光学系统包括：第一透镜，包括第一表面和与第一表面相对的第二表面，第一透镜具有第一焦距；第二透镜，包括第三表面和与第三表面相对的第四表面，第二透镜具有第二焦距；以及第三透镜，在第一透镜和第二透镜之间并且与第一透镜间隔开第一焦距的两倍。
4、在实施方式中，第一焦距可以小于第二焦距。
5、在实施方式中，第二焦距可以大于或等于第一焦距的1.2倍并且小于或等于第一焦距的1.6倍。
6、在实施方式中，第一透镜的焦点可以是第一焦点并且第三透镜的焦点可以是第二焦点，第一焦点可以在第一透镜和第三透镜之间，并且第二焦点可以在第三透镜和第二透镜之间。
7、在实施方式中，第一透镜的第二表面和第二透镜的第三表面可以彼此平行。
8、在实施方式中，第一表面可以具有从第一透镜的第二表面朝向第一表面的方向上的凸曲形状，并且第四表面可以具有从第二透镜的第三表面朝向第四表面的方向上的凸曲形状。
9、在实施方式中，第三透镜可以包括第五表面和与第五表面相对的第六表面，第五表面可以具有从第三透镜的第六表面朝向第五表面的方向上的凸曲形状，并且第六表面可以具有从第五表面朝向第六表面的方向上的凸曲形状。
10、在实施方式中，第三透镜可以包括第五表面和与第五表面相对的第六表面，并且第五表面和第六表面中的每个可以是非球面的。
11、在实施方式中，第一透镜、第二透镜和第三透镜的光轴可以相同。
12、根据本公开的一个或多个实施方式，激光装置包括：光束发生器，用于发射第一激光束；以及光学系统。光学系统包括：第一透镜，包括第一表面和与第一表面相对的第二表面，第一透镜具有第一焦距；第二透镜，包括第三表面和与第三表面相对的第四表面，第二透镜具有第二焦距；以及第三透镜，在第一透镜和第二透镜之间并且与第一透镜间隔开第一焦距的两倍。
13、在实施方式中，第一焦距可以小于第二焦距。
14、在实施方式中，第二焦距可以大于或等于第一焦距的1.2倍并且小于或等于第一焦距的1.6倍。
15、在实施方式中，第一透镜的焦点可以是第一焦点并且第三透镜的焦点可以是第二焦点，第一焦点可以在第一透镜和第三透镜之间，并且第二焦点可以在第三透镜和第二透镜之间。
16、在实施方式中，第一透镜的第二表面和第二透镜的第三表面可以彼此平行。
17、在实施方式中，第一表面可以具有从第一透镜的第二表面朝向第一表面的方向上的凸曲形状，并且第四表面可以具有从第二透镜的第三表面朝向第四表面的方向上的凸曲形状。
18、在实施方式中，第三透镜可以包括第五表面和与第五表面相对的第六表面，第五表面可以具有从第三透镜的第六表面朝向第五表面的方向上的凸曲形状，并且第六表面可以具有从第五表面朝向第六表面的方向上的凸曲形状。
19、在实施方式中，第三透镜可以包括第五表面和与第五表面相对的第六表面，并且第五表面和第六表面中的每个可以是非球面的。
20、在实施方式中，第一透镜、第二透镜和第三透镜的光轴可以相同。
21、在实施方式中，光束发生器和第一透镜之间的间距可以与第一焦距相同。
22、在实施方式中，第一激光束和穿过光学系统的第二激光束可以具有相同的相位。
23、根据本公开的一个或多个实施方式的方面，光学系统包括：第一透镜，包括第一表面和与第一表面相对的第二表面，并且具有第一焦距；第二透镜，包括第三表面和与第三表面相对的第四表面，并且具有第二焦距；以及第三透镜，设置在第一透镜和第二透镜之间并且与第一透镜间隔开第一焦距的两倍。在这种情况下，穿过第一透镜、第二透镜和第三透镜的激光束的相位可以与通过反转和再反转穿过第一透镜之前的激光束的相位而获得的相位相同。因此，当对准原始激光束时，可以通过基于再反转相位对准光束来更直观地调整光束。
1.光学系统，包括：
2.根据权利要求1所述的光学系统，其中，所述第一焦距小于所述第二焦距。
3.根据权利要求2所述的光学系统，其中，所述第二焦距大于或等于所述第一焦距的1.2倍并且小于或等于所述第一焦距的1.6倍。
4.根据权利要求1所述的光学系统，其中，
5.根据权利要求1所述的光学系统，其中，所述第一透镜的所述第二表面和所述第二透镜的所述第三表面彼此平行。
6.根据权利要求1所述的光学系统，其中，
7.根据权利要求1所述的光学系统，其中，
8.根据权利要求1所述的光学系统，其中，
9.根据权利要求1所述的光学系统，其中，所述第一透镜、所述第二透镜和所述第三透镜的光轴相同。
