压电振动元件以及压电器件的制作方法

专利2025-06-16  13


本公开涉及压电振动元件以及压电器件。


背景技术:

1、作为压电器件,例如已知有晶体振子以及晶体振荡器。这些压电器件具有通过施加交流电压而振动的压电振动元件。压电振动元件例如具有板状的压电原板(例如晶体原板)、位于压电原板的一对主面(板形状的最宽的面。板形状的表背面。以下同样。)的一对激励电极、和从一对激励电极引出的一对引出电极。一对引出电极例如通过导电性的接合材料与封装件的焊盘接合。由此,将压电振动元件安装于封装件。而且,通过向一对引出电极施加交流电压,通过一对激励电极对压电原板施加交流电压。

2、在专利文献1中,作为压电原板,公开了具有在俯视时构成相互不同的区域的振动部以及固定部的压电原板。振动部是例如具有一对激励电极的部位,是平板状。固定部是例如设置有一对引出电极的部位,比振动部厚。在专利文献1中,压电原板在固定部的振动部侧的缘部还具有凹部。引出电极经由上述凹部而从振动部到达固定部。

3、在先技术文献

4、专利文献

5、专利文献1:日本特开2020-191579号公报


技术实现思路

1、本公开的一个方式所涉及的压电振动元件具有压电原板、第一激励电极以及第一引出电极。具有在俯视时构成相互不同的区域的振动部以及固定部。所述振动部具有面向第一侧的第一面和面向所述第一侧的相反一侧的第二侧的第二面。所述固定部具有面向所述第一侧的第三面和面向所述第二侧的第四面。所述第三面相比于所述第一面向所述第一侧升高。所述第一激励电极与所述第一面重叠。所述第一引出电极从所述第一激励电极引出并与所述第三面重叠。所述压电原板具有从所述第三面向所述第二侧凹陷的第一凹部。所述第一凹部在俯视时将所述第三面的所述第一面侧的第一缘部切除。所述第一引出电极具有从所述第一面经由所述第一凹部到达所述第三面的部分。

2、在一例中,所述第一缘部具有第一部分缘部和第二部分缘部。所述第一部分缘部在俯视时相对于所述振动部位于第一方向的一侧。所述第二部分缘部在俯视时相对于所述振动部位于与所述第一方向正交的第二方向的一侧,和所述第一部分缘部构成角部。所述第一凹部在所述角部切除所述第一部分缘部以及所述第二部分缘部的至少一方。

3、在一例中,在将所述第一凹部的沿着所述第一缘部的方向的大小称为宽度时,所述第一凹部的在俯视时与所述第一缘部交叉的侧面具有倾斜面,所述倾斜面以所述第一凹部的宽度越靠所述第一侧越大的朝向,从所述第一凹部的底部倾斜到所述第三面。所述引出电极具有从所述第一凹部的底部经由所述倾斜面到达所述第三面的部分。

4、本公开的一个方式所涉及的压电器件具有上述压电振动元件和安装有所述压电振动元件的封装件。



技术特征:

1.一种压电振动元件,具有:

2.根据权利要求1所述的压电振动元件,其中,

3.根据权利要求2所述的压电振动元件,其中,

4.根据权利要求2或3所述的压电振动元件,其中,

5.根据权利要求2~4中任一项所述的压电振动元件,其中,

6.根据权利要求2~5中任一项所述的压电振动元件,其中,

7.根据权利要求1~6中任一项所述的压电振动元件,其中,

8.根据权利要求1~7中任一项所述的压电振动元件,其中,

9.根据权利要求1~8中任一项所述的压电振动元件,其中,

10.一种压电振动元件,具有:

11.根据权利要求9或10所述的压电振动元件,其中,

12.根据权利要求1~11中任一项所述的压电振动元件,其中,

13.根据权利要求1~12中任一项所述的压电振动元件,其中,

14.根据权利要求1~13中任一项所述的压电振动元件,其中,

15.根据权利要求1~14中任一项所述的压电振动元件,其中,

16.根据权利要求1~15中任一项所述的压电振动元件,其中,

17.根据权利要求1~16中任一项所述的压电振动元件,其中,

18.根据权利要求1~17中任一项所述的压电振动元件,其中,

19.根据权利要求1~18中任一项所述的压电振动元件,其中,

20.一种压电器件,具有:


技术总结
压电振动元件的压电原板具有在俯视时构成相互不同的区域的振动部以及固定部。固定部的第一侧的第三面与振动部的第一侧的第一面相比,向第一侧升高。激励电极与第一面重叠。引出电极从激励电极引出并与第三面重叠。晶体原板具有从第三面向第一侧的相反一侧的第二侧凹陷的凹部。凹部在俯视时将第三面的第一面侧的缘部切除。引出电极具有从第一面经由凹部到达第三面的部分。第一缘部具有第一部分缘部和第二部分缘部。第一部分缘部以及第二部分缘部在俯视时构成角部。所述第一凹部在角部切除第一部分缘部以及第二部分缘部的至少一方。

技术研发人员:后藤正彦,村山智纪,内田翔平,石川广幸
受保护的技术使用者:京瓷株式会社
技术研发日:
技术公布日:2024/6/26
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