本发明涉及折叠屏制作，尤其涉及一种蚀刻设备、折叠屏玻璃板及蚀刻方法。
背景技术：
1、目前，移动电子设备逐渐引入了柔性屏，柔性屏相较于传统屏幕而言，具有柔韧性强且可弯曲的特点，能够减轻设备意外损伤的程度，耐用程度远高于其他屏幕。
2、柔性屏在移动电子设备中的应用主要是适应设备的折叠，即称为折叠屏。使用折叠屏的电子设备在折叠后尺寸较小，便于收纳和日常携带；其次，折叠屏展开后可使电子设备获得更大的使用面积，提高观感。但折叠屏的折叠和展开为高频次动作，长期使用后会产生屏幕变形等问题，因此折叠屏的设计要求相较于普通屏幕更高。
3、折叠屏包括显示面板和覆盖在显示面板上的盖板玻璃，现有技术中，折叠屏中的盖板玻璃为一平整的玻璃板，在折叠时内侧承受压应力，外侧承受拉应力，其缺陷在于：上下表面平整的玻璃板难以适应折叠时的应力，可变形能力较差，长期使用后，盖板玻璃与显示面板之间存在分离的风险。
技术实现思路
1、本发明的目的在于提供一种蚀刻设备、折叠屏玻璃板及蚀刻方法，以解决现有技术中覆盖在显示面板上的盖板玻璃柔性度差、难以适应折叠时应力的问题，提高折叠屏的可靠性，延长折叠屏的使用寿命。
2、为达此目的，本发明采用以下技术方案：
3、第一方面，提供一种蚀刻设备，包括：
4、机体，所述机体内限定出蚀刻腔室；
5、喷淋蚀刻单元，设置于所述蚀刻腔室内，所述喷淋蚀刻单元包括喷淋模块和蚀刻形态控制模块，所述蚀刻形态控制模块包括至少一组挡板单元，所述挡板单元包括可相向和相背移动的第一挡板和第二挡板，所述第一挡板和所述第二挡板能够抵接于被蚀刻件上，所述喷淋模块用于向所述第一挡板和所述第二挡板之间的区域喷射蚀刻液，以在所述被蚀刻件上蚀刻形成阶梯沟槽。
6、作为本发明提供的蚀刻设备的优选方案，所述挡板单元间隔设置有多组，所述蚀刻形态控制模块还包括：
7、第一连杆，与多个所述挡板单元中的所述第一挡板均连接；
8、第二连杆，与多个所述挡板单元中的所述第二挡板均连接；
9、所述第一连杆和所述第二连杆相互平行且能够反向移动，以分别带动所述第一挡板和所述第二挡板移动。
10、作为本发明提供的蚀刻设备的优选方案，所述蚀刻形态控制模块还包括：
11、旋转驱动件；
12、转轴，与所述旋转驱动件的输出端同轴连接，且所述转轴位于所述第一连杆和所述第二连杆之间；
13、摆动臂，设置于所述转轴上，所述摆动臂的一端与所述第一连杆可转动且可滑动配合，所述摆动臂的另一端与所述第二连杆可转动且可滑动配合；
14、或者，所述蚀刻形态控制模块还包括第一直线驱动件，所述第一直线驱动件用于驱动所述第一连杆和所述第二连杆反向移动；
15、或者，所述蚀刻形态控制模块还包括第二直线驱动件和第三直线驱动件，所述第二直线驱动件与所述第一连杆传动连接，所述第三直线驱动件与所述第二连杆传动连接。
16、作为本发明提供的蚀刻设备的优选方案，所述蚀刻形态控制模块还包括安装件，所述安装件上开设有限位孔，所述第一挡板和所述第二挡板均至少部分伸入所述限位孔内，以使所述限位孔能够限定所述第一挡板和所述第二挡板的移动距离。
17、作为本发明提供的蚀刻设备的优选方案，所述安装件包括：
18、安装板，所述限位孔开设于所述安装板上；
19、滑动导向杆，间隔设置于所述安装板上，所述第一挡板和所述第二挡板的端部可滑动地套设于所述滑动导向杆上。
20、作为本发明提供的蚀刻设备的优选方案，所述喷淋蚀刻单元还包括升降机构，所述升降机构用于驱动所述被蚀刻件或所述蚀刻形态控制模块升降，以使所述第一挡板和所述第二挡板与所述被蚀刻件密封接触。
21、作为本发明提供的蚀刻设备的优选方案，所述升降机构包括：
22、升降驱动件，其壳体连接于所述蚀刻腔室的外底壁；
23、升降板，与所述升降驱动件的输出端传动连接；
24、升降杆，所述升降板上围绕所述升降驱动件设置有多个所述升降杆，所述升降杆穿过所述蚀刻腔室的底壁，并与所述蚀刻形态控制模块连接；
25、导向座，设置于所述蚀刻腔室的内底壁，所述升降杆可移动地贯穿所述导向座。
26、作为本发明提供的蚀刻设备的优选方案，所述挡板单元还包括密封件，所述第一挡板和所述第二挡板均通过所述密封件与所述被蚀刻件抵接，所述密封件贴设于或嵌设于所述第一挡板和所述第二挡板上。
27、作为本发明提供的蚀刻设备的优选方案，所述挡板单元间隔设置有多组，所述喷淋模块包括间隔设置的多排第一喷嘴，多排所述第一喷嘴与多组所述挡板单元一一正对设置，且单排所述第一喷嘴的延伸方向与所述挡板单元的延伸方向一致。
28、作为本发明提供的蚀刻设备的优选方案，所述喷淋模块还包括第一喷淋管路，所述第一喷淋管路用于输送蚀刻液，所述第一喷嘴可拆卸连接于所述第一喷淋管路上，且所述第一喷嘴的喷射压力、喷射流量以及喷射角度均可调。
29、作为本发明提供的蚀刻设备的优选方案，所述喷淋模块位于所述蚀刻形态控制模块的下方，所述被蚀刻件能够置于所述蚀刻形态控制模块的上方。
30、作为本发明提供的蚀刻设备的优选方案，所述机体内还限定出漂洗腔室，所述漂洗腔室内设置有喷淋清洗单元，所述喷淋清洗单元用于向上喷淋清洗液至蚀刻完成的所述被蚀刻件上，以清洗残余的蚀刻液。
31、作为本发明提供的蚀刻设备的优选方案，所述喷淋清洗单元包括：
32、第二喷淋管路，用于输送清洗液；
33、第二喷嘴，设置有多个，每个所述第二喷嘴均与所述第二喷淋管路可拆卸连接，且所述第二喷嘴的喷射压力、喷射流量以及喷射角度均可调。
34、作为本发明提供的蚀刻设备的优选方案，还包括传送单元，所述传送单元用于输送被蚀刻件，所述机体上设置有上下料工位，所述上下料工位、所述漂洗腔室以及所述蚀刻腔室沿所述传送单元的传送方向依次设置。
35、作为本发明提供的蚀刻设备的优选方案，所述蚀刻设备还包括用于装载所述被蚀刻件的移动载架，所述移动载架上沿所述传送方向设置有齿条，所述传送单元包括：
36、驱动机构，其壳体设置于所述机体上；
37、多个齿轮，沿所述传送方向间隔设置，且所述齿轮能够与所述齿条啮合，相邻两个所述齿轮的间距小于所述齿条的长度，每个所述齿轮上均同轴设置有传动轴，所述驱动机构的输出端与任一所述传动轴连接；
38、带传动机构，每相邻两个所述传动轴均通过一个所述带传动机构传动连接，每个所述传动轴均与对应的所述带传动机构的带轮同轴连接。
39、作为本发明提供的蚀刻设备的优选方案，所述传送单元还包括间隔设置的两个导轨，所述导轨沿所述传送方向延伸，所述移动载架的两侧均设置有滚轮，且两侧所述滚轮能够分别沿两个所述导轨滚动行走，所述齿条设置于所述移动载架的上侧，所述滚轮设置于所述移动载架的下侧。
40、作为本发明提供的蚀刻设备的优选方案，所述上下料工位和所述漂洗腔室之间、以及所述漂洗腔室和所述蚀刻腔室之间均设置有可开闭的隔离门。
41、作为本发明提供的蚀刻设备的优选方案，所述机体的侧壁沿周向间隔设置有多个可拆卸的观察窗，且正对所述漂洗腔室的位置以及正对所述蚀刻腔室的位置均设置有至少一个所述观察窗。
42、第二方面，提供一种折叠屏玻璃板，所述折叠屏玻璃板上设置有阶梯沟槽，所述阶梯沟槽采用如上所述的蚀刻设备蚀刻而成。
43、第三方面，提供一种蚀刻方法，采用如上所述的蚀刻设备进行蚀刻，包括以下步骤：
44、所述第一挡板和所述第二挡板抵接于所述被蚀刻件；
45、所述喷淋模块向所述第一挡板和所述第二挡板之间的区域喷射蚀刻液，同时，所述第一挡板和所述第二挡板按预设速度向远离彼此的方向移动至设定位置。
46、本发明的有益效果：
47、本发明提供一种蚀刻设备、折叠屏玻璃板及蚀刻方法，蚀刻设备可用于蚀刻包括折叠屏玻璃板在内的多种被蚀刻件，以折叠屏玻璃板为例，在蚀刻时，折叠屏玻璃板位于蚀刻腔室内，首先使蚀刻形态控制模块的第一挡板和第二挡板与折叠屏玻璃板抵接，以在第一挡板和第二挡板之间形成蚀刻区域，随后喷淋模块向该蚀刻区域内喷射蚀刻液至折叠屏玻璃板上，蚀刻液在玻璃板上蚀刻形成沟槽；在喷淋蚀刻的同时，第一挡板和第二挡板按预设速度向远离彼此的方向逐渐移动，以使蚀刻区域逐渐扩大，玻璃板上首先被喷淋蚀刻的区域形成的沟槽较深，而随着第一挡板和第二挡板的张开后才得以被喷淋蚀刻的区域形成的沟槽相对较浅，因此，随着蚀刻区域以预设速度的逐渐扩大，喷淋模块可在玻璃板上蚀刻出中间沟槽较深、两侧沟槽逐渐较浅的阶梯沟槽。相比于现有技术中平整的玻璃板，具有阶梯沟槽的折叠屏玻璃板能够更好地适应折叠时的应力，可变形能力较强，避免长时间使用后与显示面板之间存在分离的风险，延长折叠屏的使用寿命。
1.蚀刻设备，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的蚀刻设备，其特征在于，所述挡板单元(221)间隔设置有多组，所述蚀刻形态控制模块(22)还包括：
3.根据权利要求2所述的蚀刻设备，其特征在于，所述蚀刻形态控制模块(22)还包括：
4.根据权利要求1所述的蚀刻设备，其特征在于，所述蚀刻形态控制模块(22)还包括安装件(227)，所述安装件(227)上开设有限位孔(2271)，所述第一挡板(2211)和所述第二挡板(2212)均至少部分伸入所述限位孔(2271)内，以使所述限位孔(2271)能够限定所述第一挡板(2211)和所述第二挡板(2212)的移动距离。
5.根据权利要求4所述的蚀刻设备，其特征在于，所述安装件(227)包括：
6.根据权利要求1所述的蚀刻设备，其特征在于，所述喷淋蚀刻单元(2)还包括升降机构(23)，所述升降机构(23)用于驱动所述被蚀刻件(100)或所述蚀刻形态控制模块(22)升降，以使所述第一挡板(2211)和所述第二挡板(2212)与所述被蚀刻件(100)密封接触。
7.根据权利要求6所述的蚀刻设备，其特征在于，所述升降机构(23)包括：
8.根据权利要求1所述的蚀刻设备，其特征在于，所述挡板单元(221)还包括密封件(2213)，所述第一挡板(2211)和所述第二挡板(2212)均通过所述密封件(2213)与所述被蚀刻件(100)抵接，所述密封件(2213)贴设于或嵌设于所述第一挡板(2211)和所述第二挡板(2212)上。
9.根据权利要求1所述的蚀刻设备，其特征在于，所述挡板单元(221)间隔设置有多组，所述喷淋模块(21)包括间隔设置的多排第一喷嘴(211)，多排所述第一喷嘴(211)与多组所述挡板单元(221)一一正对设置，且单排所述第一喷嘴(211)的延伸方向与所述挡板单元(221)的延伸方向一致。
10.根据权利要求9所述的蚀刻设备，其特征在于，所述喷淋模块(21)还包括第一喷淋管路(212)，所述第一喷淋管路(212)用于输送蚀刻液，所述第一喷嘴(211)可拆卸连接于所述第一喷淋管路(212)上，且所述第一喷嘴(211)的喷射压力、喷射流量以及喷射角度均可调。
11.根据权利要求1-10任一项所述的蚀刻设备，其特征在于，所述喷淋模块(21)位于所述蚀刻形态控制模块(22)的下方，所述被蚀刻件(100)能够置于所述蚀刻形态控制模块(22)的上方。
12.根据权利要求1-10任一项所述的蚀刻设备，其特征在于，所述机体(1)内还限定出漂洗腔室(12)，所述漂洗腔室(12)内设置有喷淋清洗单元(3)，所述喷淋清洗单元(3)用于向上喷淋清洗液至蚀刻完成的所述被蚀刻件(100)上，以清洗残余的蚀刻液。
13.根据权利要求12所述的蚀刻设备，其特征在于，所述喷淋清洗单元(3)包括：
14.根据权利要求12所述的蚀刻设备，其特征在于，还包括传送单元(4)，所述传送单元(4)用于输送被蚀刻件(100)，所述机体(1)上设置有上下料工位(13)，所述上下料工位(13)、所述漂洗腔室(12)以及所述蚀刻腔室(11)沿所述传送单元(4)的传送方向依次设置。
15.根据权利要求14所述的蚀刻设备，其特征在于，所述蚀刻设备还包括用于装载所述被蚀刻件(100)的移动载架(5)，所述移动载架(5)上沿所述传送方向设置有齿条(51)，所述传送单元(4)包括：
16.根据权利要求15所述的蚀刻设备，其特征在于，所述传送单元(4)还包括间隔设置的两个导轨(45)，所述导轨(45)沿所述传送方向延伸，所述移动载架(5)的两侧均设置有滚轮(52)，且两侧所述滚轮(52)能够分别沿两个所述导轨(45)滚动行走，所述齿条(51)设置于所述移动载架(5)的上侧，所述滚轮(52)设置于所述移动载架(5)的下侧。
17.根据权利要求14所述的蚀刻设备，其特征在于，所述上下料工位(13)和所述漂洗腔室(12)之间、以及所述漂洗腔室(12)和所述蚀刻腔室(11)之间均设置有可开闭的隔离门(61)。
18.根据权利要求14所述的蚀刻设备，其特征在于，所述机体(1)的侧壁沿周向间隔设置有多个可拆卸的观察窗(14)，且正对所述漂洗腔室(12)的位置以及正对所述蚀刻腔室(11)的位置均设置有至少一个所述观察窗(14)。
19.折叠屏玻璃板，其特征在于，所述折叠屏玻璃板上设置有阶梯沟槽，所述阶梯沟槽采用如权利要求1-18任一项所述的蚀刻设备蚀刻而成。
20.蚀刻方法，其特征在于，采用如权利要求1-18任一项所述的蚀刻设备进行蚀刻，包括以下步骤：
