本技术涉及金刚石生产，具体为一种用于mpcvd设备的腔内电场调节装置。
背景技术：
1、金刚石晶片制备主要有高温高压法(hpht)和化学气相沉积法(mpcvd)等。mpcvd法可以在生长的高质量金刚石多晶可以达到完全无色透明，可应用于光学视窗、热沉散热等领域。目前cvd多晶金刚石大多采用硅、碳化硅等作为衬底材料，生长过程中为实现异质外延，表面成核是关键，如何实现高密度、均匀成核对金刚石的生长至关重要；
2、金刚石由碳原子以共价键连接形成的正四面体空间网状结构的原子晶体，在生产的过程中需要匹配合适的电场来上实现籽晶排布均匀性和一致性，这就需要使用对电场强度进行调节，但是现有的方式无法快速测量电场的强度，同时在调整时无法及时得知电场的强度影响金刚石生产的效率，为此，我们提出一种用于mpcvd设备的腔内电场调节装置。
技术实现思路
1、本实用新型要解决的技术问题是克服现有的缺陷，提供一种用于mpcvd设备的腔内电场调节装置，能够快速对生产箱腔内的电场强度进行调节，可以有效解决背景技术中的问题。
2、为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种用于mpcvd设备的腔内电场调节装置，包括生产箱和发电组件；
3、生产箱：前侧安装有显示器和plc控制器，所述生产箱的内部安装有电场强度检测器，所述生产箱内部的上侧安装有配合组件，所述生产箱的后侧安装有移动组件，所述配合组件的后端与移动组件相连；
4、发电组件：包含静电高压发生器、接线管、下极板和cvd多晶金刚石外延衬底，所述生产箱的下侧安装有静电高压发生器，所述生产箱内部的下侧开设有接线孔，所述接线孔的内部固定有接线管，所述接线管的上侧固定有下极板，所述下极板的上侧固定有cvd多晶金刚石外延衬底，所述下极板通过通电线与静电高压发生器的输出端相连，通过设置静电高压发生器对下极板进行通电；
5、其中：所述plc控制器的输入端电连接外部电源的输出端，所述静电高压发生器和显示器的输入端均电连接plc控制器的输出端
6、进一步的，所述配合组件包含绝缘杆、连接条、上极板和非金属板，所述生产箱的上侧开设有两个相对应的滑孔，所述滑孔的内部滑动连接有绝缘杆，两个绝缘杆的上端固定有连接条，两个绝缘杆的下端固定有上极板，所述上极板的下侧固定有非金属板，所述非金属板与cvd多晶金刚石外延衬底相互对应，通过设置上极板与下极板相配合。
7、进一步的，所述移动组件包含固定框、电机、移动架和螺纹杆，所述生产箱的后侧固定有固定框，所述固定框的内部滑动连接有移动架，所述移动架的前端固定在连接条的后侧，所述移动架的上侧开设有螺纹孔，所述螺纹孔的内部螺纹连接有螺纹杆，所述螺纹杆转动连接在固定框的内部，所述固定框的下侧安装有电机，所述电机的输出轴固定在螺纹杆的下端，所述电机的输入端电连接plc控制器的输出端，通过设置移动组件带动上极板进行移动。
8、进一步的，所述生产箱的下侧固定有两个相对应的支撑板，两个支撑板的下侧固定有底板，通过设置支撑板和底板对生产箱进行支撑。
9、进一步的，所述生产箱内部的前侧铰接有密封板，所述密封板的前侧固定有拉条，通过设置密封组件对生产箱进行密封。
10、进一步的，所述密封板的前侧开设有观察口，所述观察口的内部固定有透明板，通过设置透明板使得用户能够非常方便的观察生产箱内部的情况。
11、与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：本用于mpcvd设备的腔内电场调节装置，具有以下好处：
12、通过设置发电组件使得在使用的过程中可以启动静电高压发生器对下极板进行通电，在通电后下极板与上极板之间将产生的电场，此时通过电场强度检测器对电场的强度进行检测，当电场的强度过低时启动移动组件带动上极板向下与下极板接近，这样的情况下即可增大电场，反之则减小电场，这样的情况下即可实现籽晶排布均匀性和一致性。
1.一种用于mpcvd设备的腔内电场调节装置，其特征在于：包括生产箱(1)和发电组件(5)；
2.根据权利要求1所述的一种用于mpcvd设备的腔内电场调节装置，其特征在于：所述配合组件(6)包含绝缘杆(61)、连接条(62)、上极板(63)和非金属板(64)，所述生产箱(1)的上侧开设有两个相对应的滑孔，所述滑孔的内部滑动连接有绝缘杆(61)，两个绝缘杆(61)的上端固定有连接条(62)，两个绝缘杆(61)的下端固定有上极板(63)，所述上极板(63)的下侧固定有非金属板(64)，所述非金属板(64)与cvd多晶金刚石外延衬底(54)相互对应。
3.根据权利要求2所述的一种用于mpcvd设备的腔内电场调节装置，其特征在于：所述移动组件(7)包含固定框(71)、电机(72)、移动架(73)和螺纹杆(74)，所述生产箱(1)的后侧固定有固定框(71)，所述固定框(71)的内部滑动连接有移动架(73)，所述移动架(73)的前端固定在连接条(62)的后侧，所述移动架(73)的上侧开设有螺纹孔，所述螺纹孔的内部螺纹连接有螺纹杆(74)，所述螺纹杆(74)转动连接在固定框(71)的内部，所述固定框(71)的下侧安装有电机(72)，所述电机(72)的输出轴固定在螺纹杆(74)的下端，所述电机(72)的输入端电连接plc控制器(3)的输出端。
4.根据权利要求1所述的一种用于mpcvd设备的腔内电场调节装置，其特征在于：所述生产箱(1)的下侧固定有两个相对应的支撑板(8)，两个支撑板(8)的下侧固定有底板(9)。
5.根据权利要求1所述的一种用于mpcvd设备的腔内电场调节装置，其特征在于：所述生产箱(1)内部的前侧铰接有密封板(10)，所述密封板(10)的前侧固定有拉条(11)。
6.根据权利要求5所述的一种用于mpcvd设备的腔内电场调节装置，其特征在于：所述密封板(10)的前侧开设有观察口，所述观察口的内部固定有透明板(12)。
