集成式真空干燥箱的制作方法

1.本发明涉及材料加工工艺和半导体工艺等领域，具体涉及一种集成式真空干燥箱。


背景技术：

2.真空干燥箱一般专为干燥热敏性、易分解和易氧化物质而设计，能够向内部充入惰性气体，特别是一些成分复杂的物品也能进行快速干燥，尤其针对于一些洁净试验室及航天单位的烘干实验，能使产品在一个非常干净的环境下快速干燥。
3.真空干燥箱在生物化学领域、医疗卫生领域以及环境保护等领域都能够很好的帮助专家进行实验的研究，能够很好的对粉末进行一定的干燥甚至是烘焙。真空干燥箱还可以根据实验的需要，对玻璃器皿进行一定的消毒和杀菌。过去，在很多的原料药行业的生产过程中，真空干燥箱也能够起到很好的辅助作用。真空干燥箱可用于对药物原料中很多易挥发、易分解的物质进行快速的干燥处理，以保证药物的药性不受影响。
4.但是，当前的设备往往只有一个工作舱，只能一次性对多个实验对象同时提供同样的工艺操作，不能同时进行多个不同工艺流程的操作。


技术实现要素：

5.本发明所要解决的技术问题是针对现有技术中存在上述缺陷，提供一种能够针对多个实验对象同时进行多个不同工艺流程操作的集成式真空干燥箱。
6.根据本发明，提供了一种集成式真空干燥箱包括：箱体、布置在箱体内的多个真空干燥舱、连通箱体内外的抽气孔；箱体内部由舱室隔离板分割成多个腔室，每个腔室分别容纳一个真空干燥舱及相应的温度控制系统；每个真空干燥舱均包括：隔热保温层、嵌入隔热保温层内的密封圈内嵌槽、布置在隔热保温层内的真空干燥舱内衬、布置在真空干燥舱内衬中的搁板、嵌入真空干燥舱内衬及处于密封圈内嵌槽内侧的隔热保温层部分的气嘴接口、一端与气嘴接口连接且另一端穿过气嘴接口的气管、以及加热器件。
7.优选地，气管包括进气气管与排气气管，进气气管用于用干燥气体替换掉原工作舱内升温气体；排气气管用于将湿度过高的气体抽离以及制造负压；进气气管与排气气管分别独立地连接至各个真空干燥舱从而单独针对各个真空干燥执行进气与排气操作，并且进气气管与排气气管轮流操作而不同时操作。
8.优选地，加热器件布置在密封圈内嵌槽和真空干燥舱内衬之间；而且加热器件和气嘴接口布置在真空干燥舱的相对的两侧，从而防止加热器件加热时导致的气嘴接口变形。
9.优选地，箱体上配置有电源指示灯和电源开关。
10.优选地，每个真空干燥舱均包括：独立舱门和控制显示面板；控制显示面板用于设置相应真空干燥舱的干燥时间、温度、压力和湿度。
11.优选地，独立舱门具有由多层隔热玻璃组成的可视窗口，独立舱门的边缘布置有
密封圈，独立舱门上配置有把手。
12.优选地，每个真空干燥舱中配置有传感系统，如温度、温度、压力等监测系统。优选地，在真空干燥舱内的温度或者压力处于预定范围时，独立舱门的打开功能被禁用。
13.优选地，集成式真空干燥箱包括总控制系统，总控制系统包括中控与电源系统、压力控制系统、温度控制系统和控制显示系统，中控与电源系统与压力控制系统、温度控制系统、控制显示系统相连接。
14.优选地，控制显示系统用于采集用户设置的参数，并将这些参数传送到中控与电源系统；而且中控与电源系统保存控制显示系统传递过来的设置参数，并根据设置参数来完成相应的流程操作。
15.优选地，中控与电源系统根据各个控制显示面板上设置的干燥时间参数、压力参数、温度参数和湿度参数，进行相应的数据处理及运算后，将控制命令传送到压力控制系统和温度控制系统，并指示压力控制系统来控制送气、排气的相关操作。
16.优选地，压力控制系统在一定程度上与温度控制系统相结合，起到在一定压力下的温度动态控制或者一定温度下的压力动态控制等作用。
17.本发明解决了真空干燥箱的多个工作舱独立工作的问题，有效提高了工作效率，使得能够在同一个设备里同时为不同工艺要求的对象提供适当操作。
附图说明
18.结合附图，并通过参考下面的详细描述，将会更容易地对本发明有更完整的理解并且更容易地理解其伴随的优点和特征，其中：
19.图1示意性地示出了根据本发明优选实施例的集成式真空干燥箱的正视图。
20.图2示意性地示出了根据本发明优选实施例的集成式真空干燥箱的内部透视图。
21.图3示意性地示出了根据本发明优选实施例的集成式真空干燥箱的真空干燥舱的内部结构示例。
22.图4示意性地示出了根据本发明优选实施例的集成式真空干燥箱的真空干燥舱的外部结构示例。
23.图5示意性地示出了根据本发明优选实施例的集成式真空干燥箱的真空干燥舱的总控制系统的示例。
24.需要说明的是，附图用于说明本发明，而非限制本发明。注意，表示结构的附图可能并非按比例绘制。并且，附图中，相同或者类似的元件标有相同或者类似的标号。
具体实施方式
25.为了使本发明的内容更加清楚和易懂，下面结合具体实施例和附图对本发明的内容进行详细描述。
26.图1示意性地示出了根据本发明优选实施例的集成式真空干燥箱的正视图。图2示意性地示出了根据本发明优选实施例的集成式真空干燥箱的内部透视图。
27.如图1和图2所示，根据本发明优选实施例的集成式真空干燥箱包括：箱体10、布置在箱体10内的多个真空干燥舱20、连通箱体10内外的抽气孔30。
28.其中，箱体内部由舱室隔离板40(及可能的相应材料)分割成多个腔室，每个腔室
分别容纳一个真空干燥舱20及相应的温度控制系统21，真空干燥舱20及其相应的温度控制系统21经由电气连接22进行连接。
29.此外，箱体(一般是箱体内部)配置有压力控制系统50和中控与电源系统60。
30.优选地，如图1所示，箱体10上配置有电源指示灯11和电源开关12。
31.图3示意性地示出了根据本发明优选实施例的集成式真空干燥箱的真空干燥舱的内部结构示例。
32.如图3所示，每个真空干燥舱20均包括：隔热保温层31、嵌入隔热保温层31内的密封圈内嵌槽32、布置在隔热保温层31内的真空干燥舱内衬33、布置在真空干燥舱内衬33中的搁板34、嵌入真空干燥舱内衬33及处于密封圈内嵌槽32内侧的隔热保温层部分的气嘴接口35、一端与气嘴接口35连接且另一端穿过气嘴接口35的气管36、以及加热器件37。优选地，加热器件37布置在密封圈内嵌槽32和真空干燥舱内衬33之间，从而实现良好保温效果，提高能量利用率。而且，优选地，例如，如图3所示，加热器件和气嘴接口布置在真空干燥舱的相对的两侧，从而防止加热器件加热时导致的气嘴接口变形。
33.其中，隔热保温层的隔热保温材料尽量充满整个工作区的外围，有效实现隔热与保温；加热器件有利于加快干燥效果；搁板用于承载实验对象，气嘴与气管用于抽真空及充放气，形成负压，有利于实现实验对象的干燥以及残存气体逸出，通过监测换气等操作，及时降低工作舱内的湿度，过一步加快干燥过程；密封圈内嵌槽配合舱门上的密封圈，防止气压泄漏与气体渗漏；真空干燥舱内衬作为工作区的腔体以及承接，在必要的情况下，还可以安装电机驱动的传送轨道，有利于实现设备的自动化。
34.气管分进气与排气两套体系，进气是用干燥气体替换掉原工作舱内温度过大的气体；排气除了可以将湿度过高的气体抽离的功能之外，还能制造负压；而且进气气管与排气气管分别独立地连接至各个真空干燥舱从而单独针对各个真空干燥执行进气与排气操作，并且进气气管与排气气管轮流操作而不同时操作。进气与排气这两种功能的轮流操作将有效提高整个干燥操作的效率。
35.而且，虽然附图中未示出环境传感系统，而事实上，在每个真空干燥舱中优选地还具备温湿度传感、压力传感等监测系统，有利于直接有效地实现相关操作。
36.图4示意性地示出了根据本发明优选实施例的集成式真空干燥箱的真空干燥舱的外部结构示例。
37.如图4所示，每个真空干燥舱20均包括：独立舱门41和控制显示面板42。
38.优选地，独立舱门41上配置有把手43。每个真空干燥舱20的各自独立舱门41为单独的门，可单独打开及关闭。
39.优选地，独立舱门41具有可视窗口44，例如由双层强化玻璃或多层隔热玻璃组成的形成。
40.优选地，独立舱门41的边缘布置有密封圈45。
41.真空干燥舱密封门与真空干燥舱相成了一个相对独立的真空干燥系统。舱门由把手、观察窗、密封圈等组成；控制显示面板主要用于设置干燥时间、温度、压力、湿度等参数，系统将根据设置的参数完成相应操作，这些操作是通过数据传输到中控与电源系统，然后由中控与电源系统来响应，分别实现计时、温湿监控、压力控制等操作。
42.优选地，在真空干燥舱内的温度或者压力处于预定范围(例如高温高压)时，独立
舱门41的打开功能被禁用，以防止意外伤害。
43.本发明集成多个真空干燥箱于同一设备，同时使得多工作舱相互独立，可以根据实际应用情况对实际生产中各工作舱设定不同的工艺参数。
44.图5示意性地示出了根据本发明优选实施例的集成式真空干燥箱的真空干燥舱的总控制系统的示例。
45.根据本发明优选实施例的集成式真空干燥箱的真空干燥舱的总控制系统包括：中控与电源系统、压力控制系统、温度控制系统和控制显示系统。
46.其中，中控与电源系统与压力控制系统、温度控制系统、控制显示系统相连接，为整个系统提供电源，实现各模块的信息交互与参数控制及数据存储等功能。温度控制系统可以独立于中控与电源系统，也可以由中控与电源系统来实现，它主要用于实现加热的功能。
47.控制显示系统(包括各个显示面板)主要是采集用户设置的参数，将这些参数传送到中控与电源系统，中控与电源系统将保存这些设置参数，并根据参数要求来完成相应的流程操作，其中包括但不仅限于时间参数、温度参数、湿度参数、压力参数等常用参数的设置以及相应控制系统(如温度控制系统、压力控制系统等)的操作。
48.中控与电源系统根据各个控制显示面板上设置的干燥时间、压力、温度和湿度等参数要求，进行相应的数据处理及运算后，将控制命令传送到压力控制系统和温度控制系统，并指示压力控制系统来控制送气、排气的相关操作。
49.此外，系统中的数据交互可以采用有线或者无线的方式来实现；舱门操作系统、网络系统作为非必要扩展项，在对于智能化控制要求较高时，可以适当进行增补；整个系统进行网络化扩展后，可以通过网络的方式实现对整个工艺流程的实时控制、监测、远程控制等。
50.本发明技术方案带来的有益效果至少包括：
51.1.集成度高，在同一个设备里同时分割成多个独立的工作舱，各工作舱可根据要求进行相互独立的操作。
52.2.工艺流程更灵活，能同时为不同工艺要求的操作对象提供实验操作。
53.3.通过流水化操作，可以节省工艺制程时间，提高工作效率。
54.需要说明的是，除非特别指出，否则说明书中的术语“第一”、“第二”、“第三”等描述仅仅用于区分说明书中的各个组件、元素、步骤等，而不是用于表示各个组件、元素、步骤之间的逻辑关系或者顺序关系等。
55.可以理解的是，虽然本发明已以较佳实施例披露如上，然而上述实施例并非用以限定本发明。对于任何熟悉本领域的技术人员而言，在不脱离本发明技术方案范围情况下，都可利用上述揭示的技术内容对本发明技术方案作出许多可能的变动和修饰，或修改为等同变化的等效实施例。因此，凡是未脱离本发明技术方案的内容，依据本发明的技术实质对以上实施例所做的任何简单修改、等同变化及修饰，均仍属于本发明技术方案保护的范围内。

技术特征：
1.一种集成式真空干燥箱，其特征在于包括：箱体、布置在箱体内的多个真空干燥舱、连通箱体内外的抽气孔；箱体内部由舱室隔离板分割成多个腔室，每个腔室分别容纳一个真空干燥舱及相应的温度控制系统；每个真空干燥舱均包括：隔热保温层、嵌入隔热保温层内的密封圈内嵌槽、布置在隔热保温层内的真空干燥舱内衬、布置在真空干燥舱内衬中的搁板、嵌入真空干燥舱内衬及处于密封圈内嵌槽内侧的隔热保温层部分的气嘴接口、一端与气嘴接口连接且另一端穿过气嘴接口的气管、以及加热器件。2.根据权利要求1所述的集成式真空干燥箱，其特征在于，气管包括进气气管与排气气管，进气气管用于用干燥气体替换掉原工作舱内升温气体；排气气管用于将湿度过高的气体抽离以及制造负压；进气气管与排气气管分别独立地连接至各个真空干燥舱从而单独针对各个真空干燥执行进气与排气操作，并且进气气管与排气气管轮流操作而不同时操作。3.根据权利要求1或2所述的集成式真空干燥箱，其特征在于，加热器件布置在密封圈内嵌槽和真空干燥舱内衬之间；而且加热器件和气嘴接口布置在真空干燥舱的相对的两侧。4.根据权利要求1或2所述的集成式真空干燥箱，其特征在于，每个真空干燥舱均包括：独立舱门和控制显示面板；控制显示面板用于设置相应真空干燥舱的干燥时间、温度、压力和湿度。5.根据权利要求1或2所述的集成式真空干燥箱，其特征在于，独立舱门具有由多层隔热玻璃组成的可视窗口，独立舱门的边缘布置有密封圈，独立舱门上配置有把手。6.根据权利要求1或2所述的集成式真空干燥箱，其特征在于，每个真空干燥舱中配置有传感系统，如温度、温度、压力等监测系统；在真空干燥舱内的温度或者压力处于预定范围时，独立舱门的打开功能被禁用。7.根据权利要求1或2所述的集成式真空干燥箱，其特征在于，集成式真空干燥箱包括总控制系统，总控制系统包括中控与电源系统、压力控制系统、温度控制系统和控制显示系统，中控与电源系统与压力控制系统、温度控制系统、控制显示系统相连接。8.根据权利要求1或2所述的集成式真空干燥箱，其特征在于，控制显示系统用于采集用户设置的参数，并将这些参数传送到中控与电源系统；而且中控与电源系统保存控制显示系统传递过来的设置参数，并根据设置参数来完成相应的流程操作。9.根据权利要求1或2所述的集成式真空干燥箱，其特征在于，中控与电源系统根据各个控制显示面板上设置的干燥时间参数、压力参数、温度参数和湿度参数，进行相应的数据处理及运算后，将控制命令传送到压力控制系统和温度控制系统，并指示压力控制系统来控制送气、排气的相关操作。10.根据权利要求1或2所述的集成式真空干燥箱，其特征在于，压力控制系统与温度控制系统相结合，起到在一定压力下的温度动态控制或者一定温度下的压力动态控制等作用。
技术总结
本发明提供了一种集成式真空干燥箱，包括：箱体、布置在箱体内的多个真空干燥舱、连通箱体内外的抽气孔；箱体内部由舱室隔离板分割成多个腔室，每个腔室分别容纳一个真空干燥舱及相应的温度控制系统；每个真空干燥舱均包括：隔热保温层、嵌入隔热保温层内的密封圈内嵌槽、布置在隔热保温层内的真空干燥舱内衬、布置在真空干燥舱内衬中的搁板、嵌入真空干燥舱内衬及处于密封圈内嵌槽内侧的隔热保温层部分的气嘴接口、一端与气嘴接口连接且另一端穿过气嘴接口的气管、以及加热器件。以及加热器件。以及加热器件。


技术研发人员：席曹宇翔 刘鹏飞 胡友德 许锦龙
受保护的技术使用者：量准（上海）医疗器械有限公司
技术研发日：2021.05.19
技术公布日：2021/6/29