本申请涉及薄膜晶体管阵列基板的电学测试领域，具体涉及一种开路短路测试装置及方法。
背景技术：
目前tft-lcd(thinfilmtransistor-liquidcrystaldisplay，薄膜晶体管-液晶显示面板)制造过程大概可以分为三个阶段：阵列工艺、制盒工艺以及模组工艺。在阵列工艺中，要在基板上镀5层膜，其中一层为金属线层，经过蚀刻等工艺在基板上形成横向或纵向排列金属线，它的好坏直接影响最终产品质量，所以金属线的检测至关重要。
目前测试金属线好坏的主要装置为os(open-short，开路-短路)测试装置，它可以检测到金属线是否有开路和短路情况。当检测到金属线存在开路和短路的情况时，定位开路和短路的金属线，并将基板转给后站点修补设备，对开路和短路的金属线进行修补。即：现有的开路短路测试装置仅用于对金属线的开路短路进行检测和定位，无法对短路金属线进行修补，需要借助其他设备对短路金属线进行修补，导致基板的生产周期过长，降低产能。
因此，急需寻求一种开路短路测试装置及方法解决现有技术中的开路短路测试装置无法对短路金属线进行修补，导致基板的生产周期过长和产能较低等技术问题。
技术实现要素：
本申请提供一种开路短路测试装置及方法，旨在解决现有技术存在的开路短路测试装置无法对短路金属线进行修补，导致基板的生产周期过长和产能较低等技术问题。
第一方面，本申请提供一种开路短路测试装置，包括：
工作台，用于放置待测试基板，所述待测试基板包括多条金属线；
初步定位单元，与所述工作台滑动连接，用于对所述多条金属线中的金属线进行开路短路测试，在所述金属线发生开路或短路时，生成所述金属线的开路信息和短路信息；
精确定位单元，与所述工作台滑动连接，用于接收所述金属线的开路信息和短路信息，并根据所述开路信息和短路信息生成所述金属线的开路位置信息和短路位置信息；
切割单元，与所述工作台滑动连接，用于接收所述短路位置信息，并根据所述短路位置信息对所述金属线的短路位置处进行切割，以对发生短路的所述金属线进行修补。
在本申请一些实现方式中，所述切割单元包括切割机构和工控设备，所述工控设备用于接收短路位置信息，并根据所述短路位置信息生成切割指令，指示所述切割机构对所述金属线的短路位置处进行切割。
在本申请一些实现方式中，所述切割机构包括固定件和激光切割头，所述固定件一端滑动连接于所述工作台，所述固定件另一端固定连接于所述激光切割头，所述激光切割头用于产生激光束，以对短路位置处进行切割。
在本申请一些实现方式中，所述工作台包括放置部和安装部，所述放置部用于放置所述待测试基板，所述安装部包括至少一个导轨以及与所述至少一个导轨滑动连接的至少一个横梁，所述至少一个导轨固定连接于所述放置部，所述初步定位单元、所述精确定位单元和所述切割单元均滑动连接于所述至少一个横梁。
在本申请一些实现方式中，所述安装部包括第一导轨、第二导轨、第一横梁和第二横梁，所述第一横梁包括第一梁体以及固定连接于所述第一梁体两端的第一连接部和第二连接部，所述第一连接部滑动连接于所述第一导轨，所述第二连接部滑动连接于所述第二导轨，所述第一梁体位于所述放置部上方；所述第二横梁包括第二梁体以及固定连接于所述第二梁体两端的第三连接部和第四连接部，所述第三连接部滑动连接于所述第一导轨，所述第四连接部滑动连接于所述第二导轨，所述第二梁体位于所述放置部上方；
所述初步定位单元滑动连接于所述第一梁体，所述精确定位单元和所述切割单元滑动连接于所述第二梁体。
在本申请一些实现方式中，所述初步定位单元包括至少一组测试传感器和第一控制器，每组测试传感器包括一个发送传感器和一个接收传感器，所述发送传感器用于发送测试信号，所述接收传感器用于接收所述测试信号在所述金属线上形成的扫描信号；
所述第一控制器用于接收所述扫描信号，并将所述扫描信号和预置波形信号进行比较，根据比较结果确定所述金属线是否发生开路或短路，若是，则生成所述金属线的开路信息或短路信息。
在本申请一些实现方式中，所述精确定位单元包括第二控制器和成像传感器，所述第二控制器用于接收所述开路信息和所述短路信息，并生成移动控制信号；所述成像传感器用于在所述移动控制信号的控制下移动至发生开路或短路的所述金属线处，并获取发生开路或短路的所述金属线的测试图像；
所述第二控制器还用于接收所述测试图像，并将所述测试图像与预置在所述第二控制器内的标准图像进行比较，根据比较结果生成发生开路或短路的所述金属线的开路位置信息和短路位置信息。
在本申请一些实现方式中，所述精确定位单元还包括伸缩部，所述伸缩部一端与所述第二横梁滑动连接，所述伸缩部另一端固定连接于所述成像传感器，所述伸缩部可沿垂直于所述待测试基板的方向伸长或缩短；所述第二控制器还用于调整所述成像传感器与所述待测试基板之间的距离，以保证所述测试图像的清晰度。
在本申请一些实现方式中，所述第二控制器还用于当所述切割单元对所述金属线的短路位置处进行切割后，根据所述短路位置信息控制所述成像传感器移动至所述金属线的短路位置处获取所述金属线的复核图像，并将所述复核图像与所述标准图像进行比较，根据比较结果判断所述金属线是否切割完成。
第二方面，本申请还提供了一种开路短路测试方法，适用于第一方面中任意一种实现方式中所述的开路短路装置，所述开路短路测试方法包括：
将所述待测试基板放置于所述工作台上，所述待测试基板包括多条金属线；
通过所述初步定位单元对所述金属线进行开路短路测试，在所述金属线发生开路或短路时，生成所述金属线的开路信息和短路信息；
通过所述精确定位单元接收所述金属线的开路信息和短路信息，并根据所述开路信息和短路信息生成所述金属线的开路位置信息和短路位置信息；
接收所述短路位置信息，并根据所述短路位置信息通过所述切割单元对所述金属线的短路位置处进行切割，以对发生短路的所述金属线进行修补。
本申请通过设置开路短路测试装置包括切割单元，对发生短路的金属线进行切割，以对发生短路的金属线进行修补，避免通过专门的修补设备对发生短路的金属线进行修补，缩短基板的生产周期，提高产能。
附图说明
图1为本申请实施例提供的开路短路测试装置的结构示意图；
图2为本申请实施例提供的切割单元的结构示意图；
图3为本申请实施例提供的第一横梁的结构示意图；
图4为本申请实施例提供的第二横梁的结构示意图；
图5为本申请实施例提供的初步定位单元的原理图；
图6为本申请实施例提供的精确定位单元的原理图；
图7为本申请实施例提供的精确定位单元的结构示意图；
图8为本申请实施例提供的发生短路的金属线的状态变化图；
图9为本申请实施例提供的开路短路测试方法的流程示意图。
具体实施方式
下面将结合本申请实施例中的附图，对本申请实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述。
为了使本领域任何技术人员能够实现和使用本申请，给出了以下描述。在以下描述中，为了解释的目的而列出了细节。应当明白的是，本领域普通技术人员可以认识到，在不使用这些特定细节的情况下也可以实现本申请。在其它实例中，不会对公知的结构和过程进行详细阐述，以避免不必要的细节使本申请的描述变得晦涩。因此，本申请并非旨在限于所示的实施例，而是与符合本申请所公开的原理和特征的最广范围相一致。
本申请实施例提供一种开路短路测试装置及方法。以下进行详细说明。
如图1所示，本申请实施例提供了一种开路短路测试装置10，开路短路测试装置10包括：
工作台100，用于放置待测试基板1，待测试基板1包括多条金属线2；
初步定位单元210，与工作台100滑动连接，用于对每条金属线2进行开路短路测试，在金属线2发生开路或短路时，生成金属线2的开路信息和短路信息；
精确定位单元220，与工作台100滑动连接，用于接收金属线2的开路信息和短路信息，并根据开路信息和短路信息生成金属线2的开路位置信息和短路位置信息；
切割单元300，与工作台100滑动连接，用于接收短路位置信息，并根据短路位置信息对金属线2的短路位置处进行切割，以对发生短路的金属线2进行修补。
本申请实施例通过设置初步定位单元210和精确定位单元220实现对金属线2短路和开路位置进行定位，并通过设置切割单元300，通过切割单元300对发生短路的金属线2进行切割，以对发生短路的金属线2进行修补，避免通过专门的修补设备对发生短路的金属线2进行修补，缩短基板的生产周期，提高产能。
进一步地，如图2所示，切割单元300包括切割机构310和工控设备320，工控设备320用于接收短路位置信息，并根据短路位置信息生成切割指令，指示切割机构310对金属线2的短路位置处进行切割。
具体地，在本申请的一个实施例中，切割机构310包括固定件311和激光切割头312，固定件311一端滑动连接于工作台100，固定件311另一端固定连接于激光切割头312，激光切割头312用于产生激光束，以对短路位置处进行切割。
将激光束照射到待切割表面时释放的能量来使待切割处融化并蒸发，以达到切割目的，通过激光束进行切割具有精度高，切割快速，切口平滑，加工成本低等技术效果。
进一步地，如图1所示，在本申请的一些实施例中，工作台100包括放置部110和安装部120，放置部110用于放置待测试基板1，安装部120包括至少一个导轨121以及与至少一个导轨121滑动连接的至少一个横梁122，至少一个导轨121固定连接于放置部110，初步定位单元210、精确定位单元220和切割单元300均滑动连接于至少一个横梁122。
通过设置与至少一个导轨121滑动连接的至少一个横梁122以及初步定位单元210、精确定位单元220和切割单元300与至少一个横梁122滑动连接，可实现初步定位单元210、精确定位单元220和切割单元300沿横梁122的滑动方向移动以及沿横梁122的方向移动，增加初步定位单元210、精确定位单元220和切割单元300的移动范围，进而提高开路短路测试装置10的适用性。
进一步地，为了避免当工作台100尺寸较大时，出现横梁122在滑动过程中出现振动、摆动等情况，导致定位不准确，在本申请的一些实施例中，如图1和图3所示，安装部120包括第一导轨123、第二导轨124和第一横梁125，第一横梁125包括第一梁体1251以及固定连接于第一梁体1251两端的第一连接部1252和第二连接部1253，第一连接部1252滑动连接于第一导轨123，第二连接部1253滑动连接于第二导轨124，第一梁体1251位于放置部110上方，初步定位单元210、精确定位单元220和切割单元300均滑动连接于第一梁体1251。
通过设置第一横梁125包括第一梁体1251以及固定连接于第一梁体1251两端的第一连接部1252和第二连接部1253，第一连接部1252滑动连接于第一导轨123，第二连接部1253滑动连接于第二导轨124，可避免第一横梁125在滑动过程中发生振动、摆动等现象，提高定位的准确性。
进一步地，如图1和图4所示，在本申请的一些实施例中，安装部120还包括第二横梁126，第二横梁126包括第二梁体1261以及固定连接于第二梁体1261两端的第三连接部1262和第四连接部1263，第三连接部1262滑动连接于第一导轨123，第四连接部1263滑动连接于第二导轨124，第二梁体1261位于放置部110上方；
初步定位单元210滑动连接于第一梁体1251，精确定位单元220和切割单元300滑动连接于第二梁体1261。
通过将精确定位单元220和切割单元300滑动连接于第二梁体1261，将初步定位单元210滑动连接于第一梁体1251，一方面可避免当初步定位单元210、精确定位单元220和切割单元300均滑动连接于第一横梁125时，导致第一横梁125需重复运动，进而提高定位效率，另一方面可在精确定位单元220定位后，直接通过切割单元300进行切割，缩短切割单元300的行程，提高切割效率。
进一步地，如图1和图5所示，在本申请的一些实施例中，初步定位单元210包括至少一组测试传感器211和第一控制器212，每组测试传感器211包括一个发送传感器2111和一个接收传感器2112，发送传感器2111用于发送测试信号，接收传感器2112用于接收测试信号在金属线2上形成的扫描信号；
第一控制器212用于接收扫描信号，并将扫描信号和预置波形信号进行比较，根据比较结果确定金属线2是否发生开路或短路，若是，则生成金属线的开路信息或短路信息。
具体地：测试信号为交流信号，例如：测试信号为正弦波或余弦波信号，预置波形信号与测试信号完全相同，测试信号可直接被金属线2获取，金属线2发生开路时，扫描信号为0，金属线2发生短路时，扫描信号的信号数值小于测试信号的信号数值。因此，通过比较扫描信号和预置波形信号即可确定金属线2是否发生开路或短路。
进一步地，为了提高初步定位单元210的定位效率，在本申请的一些实施例中，如图3所示，发送传感器2111包括一发射端面2113，接收传感器2112包括一接收端面2114，发射端面2113和接收端面2114均正对待测试基板1。
通过上述设置，可缩短测试信号和扫描信号的行程，缩短测试信号到达金属线2以及扫描信号到达接收传感器2112的时间，进而实现提高初步定位单元210定位效率的技术效果。
需要说明的是：测试传感器211的组数应当根据金属线2的数量以及工作台100的尺寸进行调整，当金属线2的数量较多且工作台100的尺寸较大时，测试传感器211的组数相应的需要增加，而当金属线2的数量较多且工作台100的尺寸较小时，测试传感器211的组数相应的需要减小，在本申请的实施例中，初步定位单元210包括两组测试传感器211。
进一步地，如图1和图6所示，精确定位单元220包括第二控制器221和成像传感器222，第二控制器221用于接收开路信息和短路信息，并生成移动控制信号；成像传感器222用于在移动控制信号的控制下移动至发生开路或短路的金属线2处，并获取发生开路或短路的金属线2的测试图像；
第二控制器221还用于接收测试图像，并将测试图像与预置在第二控制器221内的标准图像进行比较，根据比较结果生成发生开路或短路的金属线2的开路位置信息和短路位置信息。
进一步地，为了提高开路短路测试装置10的可靠性，在本申请的一些实施例中，如图7所示，精确定位单元220还包括伸缩部223，伸缩部223一端与第二横梁126滑动连接，伸缩部223另一端固定连接于成像传感器222，伸缩部223沿垂直于待测试基板1的方向伸长或缩短；第二控制器221还用于调整成像传感器222与待测试基板1之间的距离，以保证测试图像的清晰度。
通过上述设置，可提高测试图像的清晰度，从而避免当测试图像不清晰时，导致第二控制器221的比较结果发生错误，进而导致开路短路测试装置10的可靠性下降。
应当理解的是：伸缩部223可为任意一种可实现伸缩的机构，在此不作限定。
为了进一步提高开路短路测试装置10的可靠性，在本申请的一些实施例中，第二控制器221还用于当切割单元300对金属线2的短路位置处进行切割后，根据短路位置信息控制成像传感器222移动至金属线2的短路位置处获取金属线2的复核图像，并将复核图像与标准图像进行比较，根据比较结果判断金属线2是否切割完成。
通过上述设置，可在切割单元300切割完成后，对切割结果进行复核，以确保金属线2不发生短路，进一步提高开路短路测试装置10的可靠性。
具体地，本申请实施例的开路短路测试装置10的工作原理为：首先，将待测试基板1放置于工作台100上并定位，使待测试基板1上的金属线2的一端位于发送传感器2111的正下方。当发送传感器2111的发射端面2113发出为测试信号时，距离发送传感器2111最近的金属线2接收测试信号，接收传感器2112的接收端面2114接收离接收端面2114最近的那条金属线2根据测试信号形成的扫描信息，因此，开路短路测试装置10检测金属线2是一条一条检测的；同时接收传感器2112的接收端面2114把接收到扫描信息发送给第一控制器212，当金属线2未发生开路或短路时，扫描信号与预置波形信号相同；当金属线2发生开路，扫描信号为0；当金属线2发生短路时，扫描信号的信号值小于预置波形信号的信号值，从而判断该条金属线2是否有不良及不良类型，同时扫描发现的不良金属线2在待测试基板1上的位置也将会在第一控制器212内自动生成并记录下来。接收传感器2112从第一横梁125的一端移动到另一端，接收每条金属线2根据测试信号形成的扫描信号，从而完成一排金属线2的检测。然后再调整第一横梁125的位置使第二排金属线2的一端在发送传感器2111的发射端面2113的下方，然后继续测试，如此循环完成整张待测试基板1的测试。
初步定位单元210完成定位后，需要通过精确定位单元220确定不良具体坐标，第二控制器221用于接收开路信息和短路信息，并生成移动控制信号；成像传感器222用于在移动控制信号的控制下移动至发生开路或短路的金属线2处，并获取发生开路或短路的金属线2的测试图像，根据测试图像和预置在第二控制器221内的标准图像进行比较，根据比较结果生成发生开路或短路的金属线2的开路位置信息和短路位置信息。
切割单元300根据短路位置信息对金属线2的短路位置处进行切割，实现对发生短路的金属线2的修补。
应当理解的是：第二控制器221可将开路位置信息发送至对金属线2进行开路修补的开路修补设备，以供开路修补参考。
如图8所示，当两条金属线2之间由于冗余部3发生短路时，切割单元300对切割区域301内的冗余部3进行切割，将冗余部3切断，从而对发生短路的两条金属线2进行修补，避免两条金属线2之间发生短路。
需要说明的是：切割区域301可由切割单元300的尺寸和切割次数决定，只需满足使两个金属线2之间不发生短路即可，在此不作限定。
第二方面，本申请还提供了一种开路短路测试方法，适用于第一方面任意一个实施例中所述的开路短路测试装置10，如图9所示，开路短路测试方法包括：
步骤s100、将待测试基板1放置于工作台100上，待测试基板1包括多条金属线2；
步骤s200、通过初步定位单元210对金属线2进行开路短路测试，在金属线2发生开路或短路时，生成金属线2的开路信息和短路信息；
步骤s300、通过精确定位单元220接收金属线2的开路信息和短路信息，并根据开路信息和短路信息生成金属线2的开路位置信息和短路位置信息；
步骤s400、接收短路位置信息，并根据短路位置信息通过切割单元300对金属线2的短路位置处进行切割，以对发生短路的金属线2进行修补。
本申请实施例通过在生成金属线2的开路位置信息和短路位置信息之后，通过切割单元300对金属线2的短路位置处进行切割，实现对发生短路的金属线2进行修补，可减少额外的修补短路金属线2的设备，提高产能。
进一步地，为了提高开路短路测试方法的可靠性，在本申请的一些实施例中，开路短路测试方法在步骤s300之后还包括：
获取修补后的金属线2的复核图像，将复核图像和标准图像进行比较，根据比较结果判断金属线2是否切割完成。
综上所述，本申请实施例通过设置开路短路测试装置10包括切割单元300，对发生短路的金属线2进行切割，以对发生短路的金属线2进行修补，避免通过专门的修补设备对发生短路的金属线2进行修补，缩短基板的生产周期，提高产能；同时，通过将精确定位单元220和切割单元300滑动连接于第二横梁126，将初步定位单元210滑动连接于第一横梁125，提高定位效率的同时提高切割效率；进一步地，通过设置在短路金属线2切割后获取复核图像，进一步提高开路短路测试装置10的可靠性。
以上对本申请所提供的开路短路测试装置及方法进行了详细介绍。应理解，本文所述的示例性实施方式应仅被认为是描述性的，用于帮助理解本申请的核心思想，而并不用于限制本申请。在每个示例性实施方式中对特征或方面的描述通常应被视作适用于其他示例性实施例中的类似特征或方面。尽管参考示例性实施例描述了本申请，但可建议所属领域的技术人员进行各种变化和更改。本申请意图涵盖所附权利要求书的范围内的这些变化和更改，凡在本申请的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本申请的保护范围之内。
1.一种开路短路测试装置，其特征在于，包括：
工作台，用于放置待测试基板，所述待测试基板包括多条金属线；
初步定位单元，与所述工作台滑动连接，用于对所述多条金属线中的金属线进行开路短路测试，在所述金属线发生开路或短路时，生成所述金属线的开路信息和短路信息；
精确定位单元，与所述工作台滑动连接，用于接收所述金属线的开路信息和短路信息，并根据所述开路信息和短路信息生成所述金属线的开路位置信息和短路位置信息；
切割单元，与所述工作台滑动连接，用于接收所述短路位置信息，并根据所述短路位置信息对所述金属线的短路位置处进行切割，以对发生短路的所述金属线进行修补。
2.根据权利要求1所述的开路短路测试装置，其特征在于，所述切割单元包括切割机构和工控设备，所述工控设备用于接收短路位置信息，并根据所述短路位置信息生成切割指令，指示所述切割机构对所述金属线的短路位置处进行切割。
3.根据权利要求2所述的开路短路测试装置，其特征在于，所述切割机构包括固定件和激光切割头，所述固定件一端滑动连接于所述工作台，所述固定件另一端固定连接于所述激光切割头，所述激光切割头用于产生激光束，以对短路位置处进行切割。
4.根据权利要求1所述的开路短路测试装置，其特征在于，所述工作台包括放置部和安装部，所述放置部用于放置所述待测试基板，所述安装部包括至少一个导轨以及与所述至少一个导轨滑动连接的至少一个横梁，所述至少一个导轨固定连接于所述放置部，所述初步定位单元、所述精确定位单元和所述切割单元均滑动连接于所述至少一个横梁。
5.根据权利要求4所述的开路短路测试装置，其特征在于，所述安装部包括第一导轨、第二导轨、第一横梁和第二横梁，所述第一横梁包括第一梁体以及固定连接于所述第一梁体两端的第一连接部和第二连接部，所述第一连接部滑动连接于所述第一导轨，所述第二连接部滑动连接于所述第二导轨，所述第一梁体位于所述放置部上方；所述第二横梁包括第二梁体以及固定连接于所述第二梁体两端的第三连接部和第四连接部，所述第三连接部滑动连接于所述第一导轨，所述第四连接部滑动连接于所述第二导轨，所述第二梁体位于所述放置部上方；
所述初步定位单元滑动连接于所述第一梁体，所述精确定位单元和所述切割单元滑动连接于所述第二梁体。
6.根据权利要求5所述的开路短路测试装置，其特征在于，所述初步定位单元包括至少一组测试传感器和第一控制器，每组测试传感器包括一个发送传感器和一个接收传感器，所述发送传感器用于发送测试信号，所述接收传感器用于接收所述测试信号在所述金属线上形成的扫描信号；
所述第一控制器用于接收所述扫描信号，并将所述扫描信号和预置波形信号进行比较，根据比较结果确定所述金属线是否发生开路或短路，若是，则生成所述金属线的开路信息或短路信息。
7.根据权利要求5所述的开路短路测试装置，其特征在于，所述精确定位单元包括第二控制器和成像传感器，所述第二控制器用于接收所述开路信息和所述短路信息，并生成移动控制信号；所述成像传感器用于在所述移动控制信号的控制下移动至发生开路或短路的所述金属线处，并获取发生开路或短路的所述金属线的测试图像；
所述第二控制器还用于接收所述测试图像，并将所述测试图像与预置在所述第二控制器内的标准图像进行比较，根据比较结果生成发生开路或短路的所述金属线的开路位置信息和短路位置信息。
8.根据权利要求7所述的开路短路测试装置，其特征在于，所述精确定位单元还包括伸缩部，所述伸缩部一端与所述第二横梁滑动连接，所述伸缩部另一端固定连接于所述成像传感器，所述伸缩部可沿垂直于所述待测试基板的方向伸长或缩短；所述第二控制器还用于调整所述成像传感器与所述待测试基板之间的距离，以保证所述测试图像的清晰度。
9.根据权利要求7所述的开路短路测试装置，其特征在于，所述第二控制器还用于当所述切割单元对所述金属线的短路位置处进行切割后，根据所述短路位置信息控制所述成像传感器移动至所述金属线的短路位置处获取所述金属线的复核图像，并将所述复核图像与所述标准图像进行比较，根据比较结果判断所述金属线是否切割完成。
10.一种开路短路测试方法，其特征在于，所述开路短路测试方法包括：
将待测试基板放置于工作台上，所述待测试基板包括多条金属线；
通过初步定位单元对所述金属线进行开路短路测试，在所述金属线发生开路或短路时，生成所述金属线的开路信息和短路信息；
通过精确定位单元接收所述金属线的开路信息和短路信息，并根据所述开路信息和短路信息生成所述金属线的开路位置信息和短路位置信息；
接收所述短路位置信息，并根据所述短路位置信息通过切割单元对所述金属线的短路位置处进行切割，以对发生短路的所述金属线进行修补。
技术总结