一种半导体加工设备用承载装置的制作方法

1.本实用新型涉及半导体加工技术领域，具体是一种半导体加工设备用承载装置。


背景技术：

2.半导体器件是导电性介于良导电体与绝缘体之间，利用半导体材料特殊电特性来完成特定功能的电子器件，可用来产生、控制、接收、变换、放大信号和进行能量转换。半导体器件的半导体材料是硅、锗或砷化镓，可用作整流器、振荡器、发光器、放大器、测光器等器材。
3.半导体材料在进行加工时需要使用到专用的加工设备，而目前传统的半导体材料加工装置在进行使用时，一般都是通过固定装置其安装在某一固定位置，这种安装方式需要使用到多种连接件和辅助安装设备进行组装和连接，安装十分的不便，安装效率低下，且不便于后期的拆装维修保养，且不能够灵活调节，不能满足不同尺寸的设备的安装，实用性不高。


技术实现要素：

4.本实用新型提供一种半导体加工设备用承载装置，解决了上述背景技术中出的问题。
5.为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：
6.一种半导体加工设备用承载装置，包括安装板，所述安装板底部四角处固定连接支撑腿，所述安装板上四角处固定连接安装杆，安装杆一侧转动连接转动柱，转动柱一端固定套接齿轮，齿轮一侧的转动柱端部固定连接转动杆，转动杆之间一侧铰接连接传动杆，传动杆一侧铰接连接夹持板，夹持板底部与安装板滑动连接。
7.作为本实用新型的一种优选技术方案，所述齿轮一侧的安装板上固定连接安装柱，安装柱上滑动套接齿套，齿套一侧与齿轮啮合传动连接，所述齿套下方的安装柱上套接伸缩弹簧。
8.作为本实用新型的一种优选技术方案，所述安装板横向两侧的齿套之间固定连接联动杆，联动杆中间滑动连接传动架，传动架一侧固定连接承载板，承载板为l形，所述传动架一端螺纹连接调节杆，调节杆一侧与联动杆侧壁转动连接。
9.作为本实用新型的一种优选技术方案，所述齿套上方的安装柱上设置内螺纹，所述安装柱上端螺纹套接固定螺母。
10.作为本实用新型的一种优选技术方案，所述安装板之间设置废料口。
11.本实用新型具有以下有益之处：该装置结构原理设计合理，操作使用便捷，当需要对设备进行安装时，将设备两侧放置在承载板上，在加工设备自身的重力的作用下，联动杆带动齿条下移，齿套带动齿轮转动，齿轮转动带动转动柱转动，转动柱转动带动转动杆转动，在传动杆的作用下带动夹持板向设备一侧移动对设备进行夹持，在承载板和夹持板的作用下实现对设备的四面的夹持固定，同时通过转动固定螺母将齿套固定，即可完成对加
工设备的固定安装，这种安装方式，少了传统承载装置的固定安装的繁琐，整个安装过程十分的便捷，安装效率高，且四面夹持稳定性高，同时在齿套下方的伸缩弹簧，能够起到缓冲的作用，且可以通过调节杆调节两侧的承载板的距离，可以适应不同尺寸的设备的安装，大大提高了装置的使用范围，实用性较高。
附图说明
12.图1为一种半导体加工设备用承载装置主视整体的结构示意图。
13.图2为一种半导体加工设备用承载装置侧视整体的结构示意图。
14.图3为一种半导体加工设备用承载装置中齿套内部的结构示意图。
15.图中：1、安装板；2、废料口；3、支撑腿；4、固定螺母；5、安装杆；6、转动柱；7、齿套；8、联动杆；9、传动架；10、承载板；11、夹持板；12、齿轮；13、安装柱；14、传动杆；15、转动杆；16、伸缩弹簧；17、调节杆。
具体实施方式
16.以下结合附图对本实用新型的优选实施例进行说明，应当理解，此处所描述的优选实施例仅用于说明和解释本实用新型，并不用于限定本实用新型。
17.需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。
18.实施例1
19.请参阅图1
‑
3，一种半导体加工设备用承载装置，包括安装板1，所述安装板1底部四角处固定连接支撑腿3，所述安装板1上四角处固定连接安装杆5，安装杆5一侧转动连接转动柱6，转动柱6一端固定套接齿轮12，齿轮12一侧的转动柱6端部固定连接转动杆15，转动杆15之间一侧铰接连接传动杆14，传动杆14一侧铰接连接夹持板11，夹持板11底部与安装板1滑动连接。
20.所述齿轮12一侧的安装板1上固定连接安装柱13，安装柱13上滑动套接齿套7，齿套7一侧与齿轮12啮合传动连接，所述齿套7下方的安装柱13上套接伸缩弹簧16。
21.所述安装板1横向两侧的齿套7之间固定连接联动杆8，联动杆8中间滑动连接传动架9，传动架9一侧固定连接承载板10，承载板10为l形，所述传动架9一端螺纹连接调节杆17，调节杆17一侧与联动杆8侧壁转动连接。
22.所述齿套7上方的安装柱13上设置内螺纹，所述安装柱13上端螺纹套接固定螺母4。
23.实施例2
24.请参阅图1
‑
3，本实施例的其它内容与实施例1相同，不同之处在于：所述安装板1之间设置废料口2。
25.本实用新型在实施过程中，当需要对设备进行安装时，将设备两侧放置在承载板10上，在加工设备自身的重力的作用下，联动杆8带动齿套7下移，齿套7带动齿轮12转动，齿轮12转动带动转动柱6转动，转动柱6转动带动转动杆15转动，在传动杆14的作用下带动夹
持板11向设备一侧移动对设备进行夹持，在承载板10和夹持板11的作用下实现对设备的四面的夹持固定，同时通过转动固定螺母4将齿套7固定，即可完成对加工设备的固定安装，总体来说该装置结构原理设计合理，操作使用便捷。
26.最后应说明的是：以上所述仅为本实用新型的优选实施例而已，并不用于限制本实用新型，尽管参照前述实施例对本实用新型进行了详细的说明，对于本领域的技术人员来说，其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换。凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。


技术特征：
1.一种半导体加工设备用承载装置，包括安装板（1），其特征在于，所述安装板（1）底部四角处固定连接支撑腿（3），所述安装板（1）上四角处固定连接安装杆（5），安装杆（5）一侧转动连接转动柱（6），转动柱（6）一端固定套接齿轮（12），齿轮（12）一侧的转动柱（6）端部固定连接转动杆（15），转动杆（15）之间一侧铰接连接传动杆（14），传动杆（14）一侧铰接连接夹持板（11），夹持板（11）底部与安装板（1）滑动连接。2.根据权利要求1所述的一种半导体加工设备用承载装置，其特征在于，所述齿轮（12）一侧的安装板（1）上固定连接安装柱（13），安装柱（13）上滑动套接齿套（7），齿套（7）一侧与齿轮（12）啮合传动连接，所述齿套（7）下方的安装柱（13）上套接伸缩弹簧（16）。3.根据权利要求2所述的一种半导体加工设备用承载装置，其特征在于，所述安装板（1）横向两侧的齿套（7）之间固定连接联动杆（8），联动杆（8）中间滑动连接传动架（9），传动架（9）一侧固定连接承载板（10），承载板（10）为l形，所述传动架（9）一端螺纹连接调节杆（17），调节杆（17）一侧与联动杆（8）侧壁转动连接。4.根据权利要求3所述的一种半导体加工设备用承载装置，其特征在于，所述齿套（7）上方的安装柱（13）上设置内螺纹，所述安装柱（13）上端螺纹套接固定螺母（4）。5.根据权利要求3或4所述的一种半导体加工设备用承载装置，其特征在于，所述安装板（1）之间设置废料口（2）。

技术总结
本实用新型公开了一种半导体加工设备用承载装置，涉及半导体加工技术领域，包括安装板，所述安装板底部四角处固定连接支撑腿，所述安装板上四角处固定连接安装杆，安装杆一侧转动连接转动柱，转动柱一端固定套接齿轮，齿轮一侧的转动柱端部固定连接转动杆，转动杆之间一侧铰接连接传动杆，传动杆一侧铰接连接夹持板，夹持板底部与安装板滑动连接，所述齿轮一侧的安装板上固定连接安装柱，安装柱上滑动套接齿套，齿套一侧与齿轮啮合传动连接，所述齿套下方的安装柱上套接伸缩弹簧，所述安装板横向两侧的齿套之间固定连接联动杆，联动杆中间滑动连接传动架，传动架一侧固定连接承载板，装置结构原理设计合理，操作使用便捷，实用性高。性高。性高。


技术研发人员：林立塘 何汉青
受保护的技术使用者：晋康精密机械（上海）有限公司
技术研发日：2020.11.23
技术公布日：2021/9/28