本实用新型涉及靶材加工技术领域，尤其涉及一种靶材密封满修复工装。
背景技术：
靶材就是高速荷能粒子轰击的目标材料，按制作工艺划分，靶材有电弧靶材、溅射靶材、蒸镀靶材等。靶材需要进行机械加工，使其平面度、平行度及表面质量达到半导体产品生产的要求。
请参阅图1，图1为现有技术中常规的圆筒靶材沿轴线的剖视图，当靶材经过机械加工成型后，其密封面在的a、b处的倒角容易在顶尖、吊装及搬运过程中损坏，进而对靶材的性能造成影响。
因此，有必要提供一种能够对靶材的密封面进行修复、且自动化程度与可靠程度更好的靶材密封面修复工装来解决上述问题。
技术实现要素：
针对现有技术存在的不足，本实用新型的目的在于提供一种能够对靶材的密封面进行修复、且自动化程度与可靠程度更好的靶材密封面修复工装。
为实现上述目的，本实用新型提供了如下技术方案:
一种靶材密封面修复工装，包括具有滑行轨道的工作平台、安装于所述工作平台的中部的靶材承接机构及与所述靶材承接机构组配并用于为靶材的密封面倒角的倒角机构，所述倒角机构包括相对间隔设置的两个砂轮组件，两个所述砂轮组件沿所述滑行轨道的方向分别设置于所述靶材承接机构的两侧，且两个所述砂轮组件可沿所述滑行轨道同时相向或背向移动。
优选的，所述砂轮组件包括部分嵌设于所述滑行轨道内的主体板、自所述主体板的两侧向所述工作平台弯折延伸形成的两个导向台，所述工作平台包括支撑台、与所述支撑台固定连接的工作板、自所述工作板两侧的中部弯折延伸形成的两个延伸台、分别嵌设于两个所述延伸台内的两个轴承及安装于两个所述轴承的两个相平行的双向丝杆，所述滑行轨道设置于所述工作板，两个所述延伸台分别设置于所述滑行轨道设置方向的两侧，所述双向丝杆的两端分别贯穿两个所述导向台并与所述导向台螺纹连接。
优选的，所述砂轮组件还包括自所述主体板的中部向远离所述导向台的方向延伸出的组装台、嵌设于所述组装台内并与所述滑行轨道平行的组装杆、设置于所述组装杆对应两个所述组装台的相对侧的砂轮及设置于所述组装杆对应两个所述组装台的相背侧的第一驱动件，所述第一驱动件驱动所述组装杆旋转，进而带动所述砂轮旋转。
优选的，所述第一驱动件为电机。
优选的，所述工作平台还包括设置于所述工作板沿所述滑行轨道的设置方向的一端的限位件，所述限位件自所述工作板的一端向远离所述支撑台的方向弯折延伸形成。
优选的，所述工作平台还包括与所述限位件固定连接的缓冲件，所述缓冲件设置于所述限位件靠近所述滑行轨道的一侧。
优选的，所述缓冲件为橡胶。
优选的，所述靶材承接机构包括嵌设于所述支撑台内的升降杆、驱动所述升降杆伸缩的第二驱动件、与所述工作平台抵接并与所述升降杆固定连接的升降板、设置于所述升降板远离所述第二驱动件一侧的承接板及与所述第二驱动件电连接的控制按钮，所述承接板远离所述升降板的表面为圆弧面，所述控制按钮设置于所述工作板远离所述延伸台的表面。
综上所述，与现有技术相比，本实用新型提供的靶材密封面修复工装，通过设置两个所述砂轮组件沿所述滑行轨道的方向分别设置于所述靶材承接机构的两侧，且两个所述砂轮组件可沿所述滑行轨道同时相向或背向移动，当靶材加工完成后，再将靶材放入所述靶材密封面修复工装进行修复，利用两个所述砂轮组件的旋转对靶材的密封面进行二次倒角，以修复靶材在顶尖、吊装及搬运过程中造成的损伤。
附图说明
图1为现有技术中常规的圆筒靶材沿轴线的剖视图；
图2为本实用新型提供的靶材密封面修复工装的立体结构示意图。
图中，100、靶材密封面修复工装；10、工作平台；11、滑行轨道；12、支撑台；13、工作板；14、延伸台；15、轴承；16、双向丝杆；17、限位件；18、缓冲件；20、靶材承接机构；23、升降板；24、承接板；25、控制按钮；30、倒角机构；31、砂轮组件；311、主体板；312、导向台；313、组装台；314、组装杆；315、砂轮；316、第一驱动件。
具体实施方式
下面结合附图和实施例，对本实用新型进行详细描述。下述实验例和实施例用于进一步说明但不限于本实用新型。
请参阅图2，本实用新型提供了一种靶材密封面修复工装100，所述靶材密封面修复工装100包括具有滑行轨道11的工作平台10、安装于所述工作平台10的中部的靶材承接结构20及与所述靶材承接机构20组配并用于为靶材的密封面倒角的倒角机构30。其中，所述倒角机构30包括相对间隔设置的两个砂轮组件31，两个所述砂轮组件31沿所述滑行轨道11的方向分别设置于所述靶材承接机构20的两侧，且两个所述砂轮组件31可沿所述滑行轨道11同时相向或背向移动。通过设置两个所述砂轮组件31可沿所述滑行轨道11同时相向或背向移动，使用时，利用两个所述砂轮组件31共同夹紧放置于所述靶材承接结构20上的靶材后，对靶材进行二次倒角修复。
具体的，所述工作平台10还包括支撑台12、与所述支撑台12固定连接的工作板13、自所述工作板13两侧的中部弯折延伸形成的两个延伸台14、分别嵌设于两个所述延伸台14内的两个轴承15、安装于两个所述轴承15的两个相对平行的双向丝杆16、设置于所述工作板13沿所述滑行轨道11的设置方向的一端的限位件17及与所述限位件17固定连接的缓冲件18。其中，所述滑行轨道11设置于所述工作板13，两个所述延伸台14分别设置于所述滑行轨道11设置方向的两侧。
具体的，所述限位件17自所述工作板13的一端向远离所述支撑台12的方向弯折延伸形成。所述缓冲件18设置于所述限位件17靠近所述滑行轨道11的一侧。通过设置所述限位件17与所述缓冲件18，避免了所述砂轮组件31的滑出，且避免了所述砂轮组件31在极限位置时与所述限位件17产生的碰撞，提升了所述靶材密封面修复工装100的可靠性。
优选的，在本实施方式中，所述缓冲件18为橡胶。
所述靶材承接机构20包括嵌设于所述支撑台12内的升降杆(图未示)、驱动所述升降杆伸缩的第二驱动件(图未示)、与所述工作平台10抵接并与所述升降杆固定连接的升降板23、设置于所述升降板23远离所述第二驱动件一侧的承接板24及与所述第二驱动件电连接的控制按钮25。其中，所述承接板24远离所述升降板23的表面为圆弧面，所述控制按钮25设置于所述工作板13远离所述延伸台14的表面。
所述砂轮组件31包括部分嵌设于所述滑行轨道11内的主体板311、自所述主体板311的两侧向所述工作平台10弯折延伸形成的两个导向台312、自所述主体板311的中部向远离所述导向台312的方向延伸出的组装台313、嵌设于所述组装台313内并与所述滑行轨道11平行的组装杆314、设置于所述组装杆314对应两个所述组装台313的相对侧的砂轮315及设置于所述组装杆314对应两个所述组装台313的相背侧的第一驱动件316。其中，所述第一驱动件驱动所述组装杆314旋转，进而带动所述砂轮315旋转。
优选的，在本实施方式中，所述第一驱动件316与所述第二驱动件均为电机。
其中，所述双向丝杆16的两端分别贯穿两个所述导向台312并与所述导向台312螺纹连接。其中，所述双向丝杆16的两端的螺纹方向相反，也就是说，当一所述砂轮组件31沿所述滑行轨道11运动时，通过所述导向台312带动所述双向丝杆16转动，进而带动另一所述砂轮组件31沿反向运动。如此设置，在所述靶材密封面修复工装100的工作过程中，在将所述砂轮315与待修复靶材的对位阶段，操作者只需控制靶材的一端与所述砂轮315对位，而另一端在所述双向丝杆16的作用下自动进位，两个所述砂轮组件31共同配合将待修复靶材夹紧。
与现有技术相比，本实用新型提供的靶材密封面修复工装，通过设置两个所述砂轮组件沿所述滑行轨道的方向分别设置于所述靶材承接机构的两侧，且两个所述砂轮组件可沿所述滑行轨道同时相向或背向移动，当靶材加工完成后，再将靶材放入所述靶材密封面修复工装进行修复，利用两个所述砂轮组件的旋转对靶材的密封面进行二次倒角，以修复靶材在顶尖、吊装及搬运过程中造成的损伤。
以上所述仅是本实用新型的优选实施方式，本实用新型的保护范围并不仅局限于上述实施例，凡属于本实用新型思路下的技术方案均属于本实用新型的保护范围。应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型原理前提下的若干改进和修饰，这些改进和修饰也应视为本实用新型的保护范围。
1.一种靶材密封面修复工装，其特征在于，包括具有滑行轨道的工作平台、安装于所述工作平台的中部的靶材承接机构及与所述靶材承接机构组配并用于为靶材的密封面倒角的倒角机构，所述倒角机构包括相对间隔设置的两个砂轮组件，两个所述砂轮组件沿所述滑行轨道的方向分别设置于所述靶材承接机构的两侧，且两个所述砂轮组件可沿所述滑行轨道同时相向或背向移动。
2.根据权利要求1所述的靶材密封面修复工装，其特征在于，所述砂轮组件包括部分嵌设于所述滑行轨道内的主体板及自所述主体板的两侧向所述工作平台弯折延伸形成的两个导向台，所述工作平台还包括支撑台、与所述支撑台固定连接的工作板、自所述工作板两侧的中部弯折延伸形成的两个延伸台、分别嵌设于两个所述延伸台内的两个轴承及安装于两个所述轴承的两个相平行的双向丝杆，所述滑行轨道设置于所述工作板，两个所述延伸台分别设置于所述滑行轨道设置方向的两侧，所述双向丝杆的两端分别贯穿两个所述导向台并与所述导向台螺纹连接。
3.根据权利要求2所述的靶材密封面修复工装，其特征在于，所述砂轮组件还包括自所述主体板的中部向远离所述导向台的方向延伸出的组装台、嵌设于所述组装台内并与所述滑行轨道平行的组装杆、设置于所述组装杆对应两个所述组装台的相对侧的砂轮及设置于所述组装杆对应两个所述组装台的相背侧的第一驱动件，所述第一驱动件驱动所述组装杆旋转，进而带动所述砂轮旋转。
4.根据权利要求3所述的靶材密封面修复工装，其特征在于，所述第一驱动件为电机。
5.根据权利要求2所述的靶材密封面修复工装，其特征在于，所述工作平台还包括设置于所述工作板沿所述滑行轨道的设置方向的一端的限位件，所述限位件自所述工作板的一端向远离所述支撑台的方向弯折延伸形成。
6.根据权利要求5所述的靶材密封面修复工装，其特征在于，所述工作平台还包括与所述限位件固定连接的缓冲件，所述缓冲件设置于所述限位件靠近所述滑行轨道的一侧。
7.根据权利要求6所述的靶材密封面修复工装，其特征在于，所述缓冲件为橡胶。
8.根据权利要求2所述的靶材密封面修复工装，其特征在于，所述靶材承接机构包括嵌设于所述支撑台内的升降杆、驱动所述升降杆伸缩的第二驱动件、与所述工作平台抵接并与所述升降杆固定连接的升降板、设置于所述升降板远离所述第二驱动件一侧的承接板及与所述第二驱动件电连接的控制按钮，所述承接板远离所述升降板的表面为圆弧面，所述控制按钮设置于所述工作板远离所述延伸台的表面。
技术总结