本实用新型涉及芯片制造以及液晶板制造废气处理设备领域,具体为废气处理设备用加热器。
背景技术:
芯片和液晶面板生产过程中会产生废气,大部分废气需要高温燃烧处理,才能达到无害排放的效果。
老式的废气处理设备使用金属式加热器,通常温度达不到850℃以上,或是达到以后由于其没有有力的支撑致使其达到预设温度发生形变,影响发热效果,造成处理效率低下,废气排放不合格。还有的废气处理设备为了达到加热850℃以上的效果,使用碳化硅式加热器,但此类加热器极其脆弱,容易断裂,成本高昂。
技术实现要素:
为实现上述目的,本实用新型采取的技术方案为:
废气处理设备用加热器,包括加热丝,还包括陶瓷主骨,加热丝为弹簧式缠绕于陶瓷主骨的外表面,加热丝缠绕于陶瓷主骨,可在其加热过程中得到支撑,不会发生形变影响其加热效果,弹簧式的加热丝增加其加热效率。
进一步的,陶瓷主骨外表面延其长度方向开设有螺旋槽,加热丝嵌设于螺旋槽内,并与设置于陶瓷主骨一端的电源连接线电性连接,加热丝嵌设于螺旋槽,加热丝工作过程中螺旋槽可提供有效的力的支撑和聚能的效果,提高加热效果。
进一步的,加热丝为镍铬合金加热丝,利用其合金的特性,高温环境中的强度高,长期高温运行不易发生变形,常温塑性好,变形修复较为简单,配合陶瓷主骨,可有效的降低制造难度,同时达到预设温度,提高废气处理效率。
工作原理和有益效果:通过加热丝缠绕于陶瓷主骨,可在其加热过程中得到支撑,不会发生形变影响其加热效果,弹簧式的加热丝增加其加热效率。
(1)通过陶瓷主骨外表面延其长度方向开设有螺旋槽,加热丝嵌设于螺旋槽内,并与设置于陶瓷主骨一端的电源连接线电性连接,加热丝嵌设于螺旋槽,加热丝工作过程中螺旋槽可提供有效的力的支撑和聚能的效果,提高加热效果。
(2)通过加热丝为镍铬合金加热丝,利用其合金的特性,高温环境中的强度高,长期高温运行不易发生变形,常温塑性好,变形修复较为简单,配合陶瓷主骨,可有效的降低制造难度,同时达到预设温度,提高废气处理效率。
附图说明
图1为本实用新型立体结构示意图;
图2为本实用新型主视结构示意图。
图中:1、加热丝;2、陶瓷主骨;3、螺旋槽。
具体实施方式
根据下述实施例,可以更好地理解本实用新型。
说明书附图所绘示的结构、比例、大小等,均仅用以配合说明书所揭示的内容,以供熟悉此技术的人士了解与阅读,并非用以限定本实用新型可实施的限定条件,故不具技术上的实质意义,任何结构的修饰、比例关系的改变或大小的调整,在不影响本实用新型所能产生的功效及所能达成的目的下,均应仍落在本实用新型所揭示的技术内容所能涵盖的范围内。同时,本说明书中所引用的如“上”、“下”、“前”、“后”、“中间”等用语,亦仅为便于叙述的明了,而非用以限定本实用新型可实施的范围,其相对关系的改变或调整,在无实质变更技术内容下,当亦视为本实用新型可实施的范畴。
如图1-2所示,废气处理设备用加热器,包括加热丝1,还包括陶瓷主骨2,加热丝1为弹簧式缠绕于陶瓷主骨2的外表面,加热丝缠绕于陶瓷主骨,可在其加热过程中得到支撑,不会发生形变影响其加热效果,弹簧式的加热丝增加其加热效率。
其中,陶瓷主骨2外表面延其长度方向开设有螺旋槽3,加热丝1嵌设于螺旋槽3内,并与设置于陶瓷主骨2一端的电源连接线电性连接,加热丝嵌设于螺旋槽,加热丝工作过程中螺旋槽可提供有效的力的支撑和聚能的效果,提高加热效果。
其中,加热丝1为镍铬合金加热丝,利用其合金的特性,高温环境中的强度高,长期高温运行不易发生变形,常温塑性好,变形修复较为简单,配合陶瓷主骨,可有效的降低制造难度,同时达到预设温度,提高废气处理效率。
1.废气处理设备用加热器,包括加热丝(1),其特征在于:还包括陶瓷主骨(2),加热丝(1)为弹簧式缠绕于陶瓷主骨(2)的外表面;
陶瓷主骨(2)外表面延其长度方向开设有螺旋槽(3),加热丝(1)嵌设于螺旋槽(3)内,并与设置于陶瓷主骨(2)一端的电源连接线电性连接。
2.根据权利要求1所述的废气处理设备用加热器,其特征在于:加热丝(1)为镍铬合金加热丝。
技术总结