一种菲林玻璃模具的制作方法与流程

专利2022-05-10  1



1.本发明涉及半导体芯片生产技术领域,具体为一种菲林玻璃模具的制作方法。


背景技术:

2.引线框架用来作为半导体芯片机械支撑载体,但在小批量生产中存在很多异常,在先前用菲林模曝光生产时有很多难以解决的异常,为了提高良率,提高产值,提高开发模具的制作周期,降低成本,而现有玻璃模具的缺点为开发周期长,开发成本高,不能及时得到及时的生产产品,而玻璃模具的优点,生产效率高,还可以ccd自行对位,曝光能量恒定,曝光时间恒定,在曝光生产过程中出现的异常较少,结合玻璃模具的缺点和菲林模具的缺点,和目前生产状况,就需要制作一种新型的菲林玻璃模具来代替他们。


技术实现要素:

3.本发明的目的在于提供一种菲林玻璃模具的制作方法,以解决上述背景技术中提出的问题。
4.一种菲林玻璃模具的制作方法,所述菲林玻璃模具包括菲林模具、空白玻璃、双面胶带、502胶水,所述菲林模具的四角处各开设有缺口,菲林玻璃模具的制作方法包括以下步骤:
5.s1、使用光绘机进行菲林光绘;
6.s2、光绘底片效果评定,通过光密度测量仪来进行检测;
7.s3、对准备好的空白玻璃进行清洁,然后对清洗好的空白玻璃进行检查;
8.s4、用双面胶带把打印好的菲林底片固定在空白玻璃上,检查菲林玻璃模具;
9.s5、对检查好的菲林玻璃模具再用502胶水粘贴在空白玻璃上;
10.s6、粘贴好后使用vms

6060h影像测量仪进行尺寸测量,尺寸合理后,进行首件确认,首件确认时,经过全自动曝光、显影、q板、蚀刻工序,待蚀刻首件质量保证尺寸检查合格后,进行生产。
11.所述步骤s6中全自动曝光时,曝光机进行ccd自行对位。
12.所述步骤s2中通过光密度测量仪进行检测时,挡光区要大于4.0d,透光区要小于0.15d。
13.综上所述,由于采用了上述技术方案,本发明的有益效果是:
14.本发明开发时间短,开发成本低,而且可自行ccd对位,可减小蚀刻后的尺寸误差,生产效率高,减少手动曝光时出现的黑点,减少人为接触进而减少变形,降低成本,曝光时间恒定,曝光能量恒定,生产时出现的异常较少。具有的制作周期短、投资省、精密度高、一致性好的特点,具有相似玻璃模具的生产的稳定性,进行开发生产的原则。
附图说明
15.图1为本发明菲林玻璃模具的结构示意图;
16.图中标记:空白玻璃1;菲林模具2。
具体实施方式
17.为了使本发明的目的、技术方案及优点更加清楚明白,以下结合实施例,对本发明进行进一步详细说明。
18.实施例1
19.一种菲林玻璃模具的制作方法,如图1,所述菲林玻璃模具包括菲林模具2、空白玻璃1、双面胶带、502胶水,所述菲林模具2的四角处各开设有矩形缺口,菲林玻璃模具的制作方法包括以下步骤:
20.s1、使用光绘机进行菲林光绘;光绘机生产出菲林模具,需要检查其线条梯度是否黑白分明,线边是否锐利。
21.s2、光绘底片效果评定,通过光密度测量仪来进行检测,通过光密度测量仪进行检测时,挡光区要大于4.0d,透光区要小于0.15d;
22.s3、对准备好的空白玻璃进行清洁,然后对清洗好的空白玻璃进行检查;
23.s4、用双面胶带把打印好的菲林底片固定在空白玻璃上,检查菲林玻璃模具;
24.s5、对检查好的菲林玻璃模具再用502胶水粘贴在空白玻璃上;
25.s6、粘贴好后使用vms

6060h影像测量仪进行尺寸测量,尺寸合理后,进行首件确认,首件确认时,经过全自动曝光、显影、q板、蚀刻工序,待蚀刻首件质量保证尺寸检查合格后,进行生产,全自动曝光时,曝光机进行ccd自行对位。
26.在菲林玻璃模具的制作过程中,设计尺寸合理的菲林模具,线条优美,线条宽度均匀,能够完美的粘贴在空白玻璃表面,以达到生产出尺寸合理的框架。
27.在菲林玻璃模具制作的光绘过程中,显影药水浓度的配比和显影温度,要控制在相应条件范围内,使显影过程中的显影剂、保护剂、加速剂、抑制剂充分的显出图像,达到管控要求,显出合理尺寸的线条。
28.在菲林玻璃模具制作的光绘过程中,定影药水浓度的配比合理,去除显影过程中没有还原成银的银盐,否则这部分银盐会再曝光,破坏原来的影像。
29.以上所述仅为本发明的较佳实施例,凡在本发明的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等,均应包含在本发明的保护范围之内。


技术特征:
1.一种菲林玻璃模具的制作方法,其特征在于,所述菲林玻璃模具包括菲林模具、空白玻璃、双面胶带、502胶水,所述菲林模具的四角处各开设有缺口,菲林玻璃模具的制作方法包括以下步骤:s1、使用光绘机进行菲林光绘;s2、光绘底片效果评定,通过光密度测量仪来进行检测;s3、对准备好的空白玻璃进行清洁,然后对清洗好的空白玻璃进行检查;s4、用双面胶带把打印好的菲林底片固定在空白玻璃上,检查菲林玻璃模具;s5、对检查好的菲林玻璃模具再用502胶水粘贴在空白玻璃上;s6、粘贴好后使用vms

6060h影像测量仪进行尺寸测量,尺寸合理后,进行首件确认,首件确认时,经过全自动曝光、显影、q板、蚀刻工序,待蚀刻首件质量保证尺寸检查合格后,进行生产。2.如权利要求1所述的一种菲林模具的制作方法,其特征在于:所述步骤s6中全自动曝光时,曝光机进行ccd自行对位。3.如权利要求1所述的一种菲林模具的制作方法,其特征在于:所述步骤s2中通过光密度测量仪进行检测时,挡光区要大于4.0d,透光区要小于0.15d。

技术总结
本发明公开了一种菲林玻璃模具的制作方法,属于半导体芯片生产技术领域。所述菲林玻璃模具包括菲林模具、空白玻璃、双面胶带、502胶水,所述菲林模具的四角处各开设有缺口,菲林玻璃模具的制作方法包括以下步骤:使用光绘机进行菲林光绘;光绘底片效果评定;对准备好的空白玻璃进行清洁检查;用双面胶带把打印好的菲林底片固定在空白玻璃上,检查菲林玻璃模具;对检查好的菲林玻璃模具再用502胶水粘贴在空白玻璃上;粘贴好后进行尺寸测量,尺寸合理后,进行首件确认,首件确认时,经过全自动曝光、显影、Q板、蚀刻工序,待蚀刻首件质量保证尺寸检查合格后,进行生产。本发明制作周期短、成本低、精密度高、一致性好,便于推广使用。便于推广使用。便于推广使用。


技术研发人员:马文龙 康亮 康小明 孙飞鹏
受保护的技术使用者:天水华洋电子科技股份有限公司
技术研发日:2021.07.12
技术公布日:2021/10/15
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