一种菲林玻璃模具的制作方法与流程

1.本发明涉及半导体芯片生产技术领域，具体为一种菲林玻璃模具的制作方法。


背景技术：

2.引线框架用来作为半导体芯片机械支撑载体，但在小批量生产中存在很多异常，在先前用菲林模曝光生产时有很多难以解决的异常，为了提高良率，提高产值，提高开发模具的制作周期，降低成本，而现有玻璃模具的缺点为开发周期长，开发成本高，不能及时得到及时的生产产品，而玻璃模具的优点，生产效率高，还可以ccd自行对位，曝光能量恒定，曝光时间恒定，在曝光生产过程中出现的异常较少，结合玻璃模具的缺点和菲林模具的缺点，和目前生产状况，就需要制作一种新型的菲林玻璃模具来代替他们。


技术实现要素：

3.本发明的目的在于提供一种菲林玻璃模具的制作方法，以解决上述背景技术中提出的问题。
4.一种菲林玻璃模具的制作方法，所述菲林玻璃模具包括菲林模具、空白玻璃、双面胶带、502胶水，所述菲林模具的四角处各开设有缺口，菲林玻璃模具的制作方法包括以下步骤：
5.s1、使用光绘机进行菲林光绘；
6.s2、光绘底片效果评定，通过光密度测量仪来进行检测；
7.s3、对准备好的空白玻璃进行清洁，然后对清洗好的空白玻璃进行检查；
8.s4、用双面胶带把打印好的菲林底片固定在空白玻璃上，检查菲林玻璃模具；
9.s5、对检查好的菲林玻璃模具再用502胶水粘贴在空白玻璃上；
10.s6、粘贴好后使用vms
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6060h影像测量仪进行尺寸测量，尺寸合理后，进行首件确认，首件确认时，经过全自动曝光、显影、q板、蚀刻工序，待蚀刻首件质量保证尺寸检查合格后，进行生产。
11.所述步骤s6中全自动曝光时，曝光机进行ccd自行对位。
12.所述步骤s2中通过光密度测量仪进行检测时，挡光区要大于4.0d，透光区要小于0.15d。
13.综上所述，由于采用了上述技术方案，本发明的有益效果是：
14.本发明开发时间短，开发成本低，而且可自行ccd对位，可减小蚀刻后的尺寸误差，生产效率高，减少手动曝光时出现的黑点，减少人为接触进而减少变形，降低成本，曝光时间恒定，曝光能量恒定，生产时出现的异常较少。具有的制作周期短、投资省、精密度高、一致性好的特点，具有相似玻璃模具的生产的稳定性，进行开发生产的原则。
附图说明
15.图1为本发明菲林玻璃模具的结构示意图；
16.图中标记：空白玻璃1；菲林模具2。
具体实施方式
17.为了使本发明的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合实施例，对本发明进行进一步详细说明。
18.实施例1
19.一种菲林玻璃模具的制作方法，如图1，所述菲林玻璃模具包括菲林模具2、空白玻璃1、双面胶带、502胶水，所述菲林模具2的四角处各开设有矩形缺口，菲林玻璃模具的制作方法包括以下步骤：
20.s1、使用光绘机进行菲林光绘；光绘机生产出菲林模具，需要检查其线条梯度是否黑白分明，线边是否锐利。
21.s2、光绘底片效果评定，通过光密度测量仪来进行检测，通过光密度测量仪进行检测时，挡光区要大于4.0d，透光区要小于0.15d；
22.s3、对准备好的空白玻璃进行清洁，然后对清洗好的空白玻璃进行检查；
23.s4、用双面胶带把打印好的菲林底片固定在空白玻璃上，检查菲林玻璃模具；
24.s5、对检查好的菲林玻璃模具再用502胶水粘贴在空白玻璃上；
25.s6、粘贴好后使用vms
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6060h影像测量仪进行尺寸测量，尺寸合理后，进行首件确认，首件确认时，经过全自动曝光、显影、q板、蚀刻工序，待蚀刻首件质量保证尺寸检查合格后，进行生产，全自动曝光时，曝光机进行ccd自行对位。
26.在菲林玻璃模具的制作过程中，设计尺寸合理的菲林模具，线条优美，线条宽度均匀，能够完美的粘贴在空白玻璃表面，以达到生产出尺寸合理的框架。
27.在菲林玻璃模具制作的光绘过程中，显影药水浓度的配比和显影温度，要控制在相应条件范围内，使显影过程中的显影剂、保护剂、加速剂、抑制剂充分的显出图像，达到管控要求，显出合理尺寸的线条。
28.在菲林玻璃模具制作的光绘过程中，定影药水浓度的配比合理，去除显影过程中没有还原成银的银盐，否则这部分银盐会再曝光，破坏原来的影像。
29.以上所述仅为本发明的较佳实施例，凡在本发明的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。


技术特征：
1.一种菲林玻璃模具的制作方法，其特征在于，所述菲林玻璃模具包括菲林模具、空白玻璃、双面胶带、502胶水，所述菲林模具的四角处各开设有缺口，菲林玻璃模具的制作方法包括以下步骤：s1、使用光绘机进行菲林光绘；s2、光绘底片效果评定，通过光密度测量仪来进行检测；s3、对准备好的空白玻璃进行清洁，然后对清洗好的空白玻璃进行检查；s4、用双面胶带把打印好的菲林底片固定在空白玻璃上，检查菲林玻璃模具；s5、对检查好的菲林玻璃模具再用502胶水粘贴在空白玻璃上；s6、粘贴好后使用vms
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6060h影像测量仪进行尺寸测量，尺寸合理后，进行首件确认，首件确认时，经过全自动曝光、显影、q板、蚀刻工序，待蚀刻首件质量保证尺寸检查合格后，进行生产。2.如权利要求1所述的一种菲林模具的制作方法，其特征在于：所述步骤s6中全自动曝光时，曝光机进行ccd自行对位。3.如权利要求1所述的一种菲林模具的制作方法，其特征在于：所述步骤s2中通过光密度测量仪进行检测时，挡光区要大于4.0d，透光区要小于0.15d。

技术总结
本发明公开了一种菲林玻璃模具的制作方法，属于半导体芯片生产技术领域。所述菲林玻璃模具包括菲林模具、空白玻璃、双面胶带、502胶水，所述菲林模具的四角处各开设有缺口，菲林玻璃模具的制作方法包括以下步骤：使用光绘机进行菲林光绘；光绘底片效果评定；对准备好的空白玻璃进行清洁检查；用双面胶带把打印好的菲林底片固定在空白玻璃上，检查菲林玻璃模具；对检查好的菲林玻璃模具再用502胶水粘贴在空白玻璃上；粘贴好后进行尺寸测量，尺寸合理后，进行首件确认，首件确认时，经过全自动曝光、显影、Q板、蚀刻工序，待蚀刻首件质量保证尺寸检查合格后，进行生产。本发明制作周期短、成本低、精密度高、一致性好，便于推广使用。便于推广使用。便于推广使用。


技术研发人员：马文龙 康亮 康小明 孙飞鹏
受保护的技术使用者：天水华洋电子科技股份有限公司
技术研发日：2021.07.12
技术公布日：2021/10/15