一种悬臂混合式干式真空泵的制作方法

1.本发明涉及干式真空泵技术领域，具体涉及一种悬臂混合式干式真空泵。


背景技术：

2.现有的干式真空泵主要以罗茨泵和螺杆泵为主，而市场上多数罗茨泵和螺杆泵都是两轴的，其泵体都是适用于放置且只能容纳两个互相啮合的罗茨转子或者螺杆的结构。
3.其中罗茨泵的转子的特点是：气体沿着轴的径向做上下运动，作为较高真空的增压泵应用时，容积率高，且抽气能力大，转子啮合密封性高，其表面磨损和腐蚀对性能影响较小，气流不会对轴承，齿轮直接冲击。但是主要的缺点是：因气流通道的是沿着轴的径向流动，多级的罗茨串联后气流无法有效沿着轴向顺流，需要通过多次折弯才能实现，从而导致结构复杂，通道必然有死角等缺陷。同时单级罗茨泵若是单独运行，则极限真空很差，能耗高，处理较高真空应用时，需要配置一个前级泵才能合理运行。而螺杆泵的特点是：气体沿着轴向做螺旋运动，通过多个螺旋啮合实现了多级压缩，因此可以直接是用于较高真空的应用，不需要前级泵的牵引，但是缺点是：螺杆的容积率低，同等直径的泵腔产生的抽气能力远远低于罗茨转子，同时转子啮合密封性较差，其表面磨损和腐蚀对其性能影响非常大，同时排气口的气流会对轴承，齿轮直接冲击，从而螺杆泵在处理腐蚀性气体时，泵的损毁率非常高。
4.多级罗茨泵也是一种无油干式真空泵，每级泵腔内均设置有三根平行的轴，三根泵轴同速转动且中泵轴与其相邻的左侧泵轴和其相邻的右侧泵轴转动的方向相反；每级泵腔内均设置有成对转子，奇数级泵腔的成对转子分别连接在中间的泵轴和其相邻的左侧泵轴，偶数级泵腔的成对转子分别连接在中间的泵轴和其相邻的右侧泵轴上，从而形成了独特的气流通道，即相邻泵腔的下方口分别是排气口和进气口，气流从前一级的排气口直接进入后一级的进气口。这种独特的结构，相比螺杆式、涡旋式、往复式等干式真空泵，具有抽气能力大，容积效率高，功率低，不怕粉尘，不怕腐蚀，使用寿命长等优点。
5.但是原有的多级泵的结构在实际运行中出现了很多不足和隐患，首先由于加工累积误差和精度控制的问题，后几级的转子的间隙需要放大余量，轴套也需要放大余量避免卡现象，从而导致即使是五级，也无法保证较高的真空度。同时泵体低点的积液和累计粉尘难以清理，排气口管道比较狭小，导致排气噪音，气喘非常大，难以改善，最主要的是采用五级罗茨，在粗真空时，此时通过连续压缩，在第三级甚至第二级时，气体压力已经超过了大气压，但是后几级依然在压缩，因此导致轴功率很高，反而降低了能效经济性。
6.原有的干式真空泵，例如螺杆泵和多级泵等，都是内置气体连通管道，在抽吸带有粉尘、可凝性介质、粘液以及会碳化、凝固、聚合等的工艺介质时，这些介质必然会在设备的低点处累积，即使采用溶剂洗涤和氮气吹扫都很难清除，而这些物质会加剧对干式真空泵的伤害，例如粉尘和会碳化、凝固、聚合等的介质会对螺杆转子进行研磨，很快会把螺杆转子的密封面磨损，导致螺杆泵的性能大幅下降；而对于多级泵来说，虽然这些物质对罗茨转子的磨损影响比对螺杆小的多，但及其结构上必然会存在低点，而在低点处这些介质的累
积，最终会导致通道的堵塞，和螺杆泵一样，也必然会出现转子卡死现象，只有肢解拆开整个泵，抽出转子，才能彻底清理内部的粘附物和其它残留的工艺介质，对现场使用者来说非常不方便，不仅要求使用者具有生产厂家那样的维修工具和经验，还需要必要的检修空间和维修时间。


技术实现要素：

7.针对现有技术中的缺陷，本发明提供一种悬臂混合式干式真空泵，既能结合不同类型的泵的优势，又便于部件的拆卸、清理、检修、维修以及更换，达到优化目的。
8.一种悬臂混合式干式真空泵，包括悬臂腔与非悬臂体，其中：
9.所述非悬臂体是由若干个泵腔串联而成的泵腔组，所述悬臂腔与非悬臂体之间、非悬臂体中相邻的泵腔之间均采用嵌入式定位；
10.所述非悬臂体内的各泵腔以及悬臂腔通过气路串联，所述费悬臂体的下方设置有底部连接件，位于各泵腔和悬臂腔下方的气路均设于底部连接件内，所述底部连接件与悬臂腔和非悬臂体均为可拆卸连接；
11.所述悬臂腔中设置有转子一，所述非悬臂体的各泵腔中均设置有转子二，且各泵腔共享泵轴，所述悬臂腔的相邻泵腔中的转子二与转子一的结构不同，非相邻泵腔中的转子二与转子一的结构可以相同，也可以不同，所述非悬臂体远离悬臂腔的一端设置有用于驱动泵轴的驱动装置，在所述非悬臂体与悬臂腔相邻的泵腔中，泵轴和与转子一之间通过锁紧机构实现悬臂式连接。
12.优选地，所述锁紧机构包括定位套、双向紧固胀套和锁紧轴套，所述定位套与转子一固定连接，所述锁紧轴套与泵轴固定连接，所述定位套与锁紧轴套之间通过双向紧固胀套固定。
13.优选地，所述转子一的材质为轻型合金。
14.优选地，所述底部连接件内的气路均为圆弧形管道。
15.优选地，所述底部连接件与悬臂腔和非悬臂体的连接处均设置有密封垫片。
16.优选地，所述悬臂腔与非悬臂体之间、所述非悬臂体的相邻泵腔之间均为嵌入式固定拼接，所述嵌入式固定拼接通过定位台阶实现定位，所述非悬臂体的两端均设置有轴承座，所述轴承座中设置有密封元件。
17.优选地，所述转子一具体为多级扭叶转子或多级螺杆转子；所述转子二具体为罗茨转子或者其他可啮合式转子。
18.优选地，所述悬臂混合式干式真空泵还包括消音装置，所述消音装置内置于悬臂腔中；所述消音装置与悬臂腔连通；所述悬臂腔下方设置有低点排液阀，所述低点排液阀用于排出凝结液。
19.优选地，所述驱动装置具体为电机，所述电机设于密封电机连接座中，所述密封电机连接座内设置有循环油进油通道、密封油腔、齿轮油腔、循环油溢出孔、密封油位视镜及齿轮油位视镜；
20.初始状态时，所述齿轮油腔内置有润滑油，所述齿轮本体的齿尖恰好浸没到润滑油里；
21.运行状态时，所述齿轮本体转动将齿轮油腔内的润滑油带动溅起，通过设于齿轮
本体上方，并通过集油围堰进行收集回收，收集到的润滑油通过循环油进油通道进入密封油腔中，并逐步填满密封油腔，当密封油腔内的油位高于循环油溢出孔时，润滑油又从循环油溢出孔溢出回到齿轮油腔中，从而形成循环。
22.优选地，所述密封油腔内设置有两个唇形密封及一个机械密封，以形成油填充密封，完全阻隔空气的泄露。
23.本发明的有益效果体现在：
24.(1)本发明设计合理、结构紧凑，非悬臂体和悬臂腔的下方设置有底部连接件作为独立的气体连接部件，可以给沉积物预留足够的堆积空间，同时可以自由拆卸、清理、检修、维修以及更换，而不会堵塞气流通道；
25.(2)本发明通过设置底部连接件，相邻部件之间不再需要在侧面配打定位销孔来定位，而可以在相邻部件之间采用嵌入式拼接，利用定位台阶实现定位；通过设置底部连接件可以给沉积物预留足够的堆积空间，而不会出现堵塞气流通道，进而克服了传统的干式真空泵内置在泵腔的气流通道狭小，无法预留足够空间而导致故障的缺陷；相邻部件之间仅仅只需要密封真空腔室就可以，并且也有足够的的空间配置密封圈，不再需要使用一次性的密封胶，还有足够的空间可以设置多个螺栓丝孔和螺栓安装孔洞，用于确保相邻部件可以独立紧固锁死；
26.(3)本发明采用悬臂结构进行布置，由于转子一远离泵轴的一端没有轴承等任何紧固件，因此正压工艺气体不会对各部件造成伤害隐患，完全优胜于传统泵必须采用氮气气封、机械密封等方式对轴承、齿轮油腔进行保护。而且在抽吸一些粉尘颗粒物或易聚合、易粘附、易凝固的工艺介质后，可以在不拆卸任何轴承、端盖及齿轮的情况下，打开悬臂腔，对其内部的转子一进行在线清理，而不再需要拆解整个真空泵；
27.(4)本发明在密封电机连接座中采用了循环自溢混合密封方法，密封效果更好，使用寿命更长，并且具有可视化，即可以通过密封油位视镜来观察，当密封油位视镜中油位低于正常线，则说明唇形密封以及驱动轴套磨损严重，需要更换。
附图说明
28.为了更清楚地说明本发明具体实施方式或现有技术中的技术方案，下面将对具体实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍。在所有附图中，类似的元件或部分一般由类似的附图标记标识。附图中，各元件或部分并不一定按照实际的比例绘制。
29.图1为本发明提供的悬臂混合式干式真空泵的剖视图；
30.图2为本发明提供的悬臂混合式干式真空泵的正视图；
31.图3为图2所示的悬臂混合式干式真空泵的剖视图；
32.图4为本发明提供的悬臂混合式干式真空泵的悬臂壳的剖视图；
33.图5为本发明提供的悬臂混合式干式真空泵的转子一的连接示意图；
34.图6为本发明提供的悬臂混合式干式真空泵的循环自溢混合密封示意图。
35.附图中，1
‑
悬臂壳，11
‑
悬臂腔，12
‑
转子一，13
‑
消音装置，14
‑
低点排液阀，15
‑
排气口，16
‑
夹套冷却水层，2
‑
悬臂转子压盖，3
‑
悬臂端盖，41
‑
二级泵腔，42
‑
二级罗茨转子，43
‑
三级泵腔，44
‑
三级罗茨转子，51
‑
一级泵腔，52
‑
一级罗茨转子，6
‑
齿轮端盖，7
‑
密封电机连接座，71
‑
循环油进油通道，72
‑
密封油腔，73
‑
齿轮油腔，74
‑
循环油溢出孔，75
‑
密封油位视
镜，76
‑
齿轮油位视镜，77
‑
驱动轴，78
‑
机械密封，79
‑
唇形密封，8
‑
泵轴，9
‑
轴承座，91
‑
轴承，92
‑
密封元件，100
‑
底部连接件，101
‑
连通管道一，102
‑
连通管道二，1101
‑
转子定位套，1102
‑
双向紧固胀套，1103
‑
锁紧轴套。
具体实施方式
36.下面将结合附图对本发明技术方案的实施例进行详细的描述。以下实施例仅用于更加清楚地说明本发明的技术方案，因此只作为示例，而不能以此来限制本发明的保护范围。
37.需要注意的是，除非另有说明，本申请使用的技术术语或者科学术语应当为本发明所属领域技术人员所理解的通常意义。
38.本实施例提供一种悬臂混合式干式真空泵，如图1至图3所示，包括水平向排布并且依次连接的悬臂壳1、悬臂转子压盖2、悬臂端盖3、非悬臂体、齿轮端盖6及密封电机连接座7，在本实施例中，非悬臂体包括依次串联的三个泵腔，还包括多个相互平行、设于悬臂端盖3与齿轮端盖6之间并且贯穿各泵腔的泵轴8，其中，中间位置的泵轴为主动泵轴，由驱动装置驱动旋转，其余位置的泵轴为从动泵轴。
39.如图1和图3所示，悬臂端盖3和齿轮端盖6内均设有轴承座9，轴承座9与各泵轴8均转动连接，轴承座9中均设置有密封元件92，密封元件92均采用免维护的活塞环或者唇形密封79；其中，设于齿轮端盖6内的密封元件92用于确保齿轮油腔73中的润滑油不会被吸入到真空泵腔中，采用轴承座9还具有便于维修的好处，当此处轴承91出现故障时，仅仅需要从齿轮端盖6上取下轴承座9，更换密封元件92或轴承91即可，不需要拆卸整个齿轮端盖6，减少了维护工作的量；设于悬臂端盖3内的密封元件92用于确保轴承91上包裹的真空脂不会被吸入到真空泵腔中，同时也避免了抽吸的工艺气体与轴承91接触，起到保护作用。
40.如图1和图3所示，一级泵腔51内设有一级罗茨转子52，且一级泵腔51的顶部开设进气口，二级泵腔41内设有二级罗茨转子42，三级泵腔43中设置有三级罗茨转子44。
41.如图1至图3所示，悬臂壳1与悬臂转子压盖2围成悬臂腔11，悬臂腔11中设置有若干级转子一12，优选为4
‑
8级，更优选为4
‑
6级，悬臂转子压盖2起的作用就是分割悬臂腔11和悬臂端盖3轴承91，确保悬臂腔11的气体或杂质不会进入轴承91中；悬臂壳1内设置有排气口15，悬臂腔11与排气口15连通。
42.如图2至图3所示，非悬臂体及悬臂壳1的底部共同连接有一个底部连接件100，底部连接件100内设置有连通管道一101和连通管道二102，连通管道一101用于连通一级泵腔51排气面和二级泵腔41的进气面，连通管道二102用于连通三级泵腔43的排气面和悬臂腔11的进气面，二级泵体4顶部设置有用于连通二级泵腔41的排气面和三级泵腔43的进气面的连通管道三。
43.在本实施例中，气体由一级泵腔51的顶部进入，通过一级罗茨转子52压缩后由一级泵腔51底部的排气面经过底部连接件100内的连通管道一101进入二级泵腔41的底部进气面，通过二级罗茨转子42压缩后由二级泵腔41的顶部排气面经过连接通道三进入三级泵腔43，再通过三级罗茨转子44压缩后由三级泵腔43底部排气面经过连接通道二进入悬臂腔11，气体经转子一12向末级螺旋压缩后，最终从末级螺旋的下方排出。
44.在抽吸的过程中，产生的粉尘，可凝，凝固，聚合，带有粘性的的非气态介质，必然
都会进入到底部的底部连接件100中，这个也是罗茨转子气流的特性，垂直于轴的运动方向，因此在本实施例中，优选地，如图3所示，连通管道一101和连通管道二102均采用圆弧形管道，降低流通阻力，同时采用大通道截面积空间，可以给沉积物预留足够的堆积空间，而不会出现堵塞气流通道，进而克服了传统的干式真空泵内置在泵腔的气流通道狭小，无法预留足够空间而导致故障的缺陷。
45.原有的三轴多级泵、双轴多级罗茨泵都是从泵腔侧面设置有连通管道，导致相邻泵腔侧面连接时，不仅需要密封泵腔，还需要额外密封气流通道面，进而导致泵腔侧面没有足够的空间设置密封圈，只能采用一次性的密封胶来密封，并且由于侧面空间不足，也无法将相邻的两个部件侧面直接通过螺栓紧固，而需要把几个泵部件串在一起后，采用长螺栓两端压紧把几个密封面贴紧，因此，当需要拆卸其中某一个中间部件时，会导致其它密封面因为密封胶脱开而产生泄露隐患。而在本实施例中，底部连接件100与非悬臂体及悬臂壳1之间设置有密封垫片，相邻部件之间仅仅只需要密封真空腔室就可以，并且也有足够的的空间配置密封圈，不再需要使用一次性的密封胶，还有足够的空间可以设置多个螺栓丝孔和螺栓安装孔洞，用于确保相邻部件可以独立紧固锁死。
46.由于底部连接件100的设置，相邻部件之间不再需要在侧面配打定位销孔来定位，而可以在各相邻部件之间均采用嵌入式拼接，利用定位台阶实现定位，通过密封圈密封；这样做相比采用定位销的优势在于：第一，减少了加工工作量，由于各部件的侧面都需要加工椭圆形面，进而可以一次成型直接加工出台阶，而打定位销孔则需要换刀操作，不但多了一道工序，还可能造成更多的加工误差；第二，减少了定位销的零件，因为即使保证了定位销孔的精准，但是所配套的定位销若是出现精度、材质与要求不一致，依然会出现误差。
47.如图1和图3所示，相邻部件之间为带有定位台阶的凹凸嵌入式拼接，并通过独立的螺栓紧固连接，确保了安装时的固化，不会出现反复的调整；悬臂转子压盖2的两侧均为凸面，以实现双双嵌入定位，这样就把悬臂转子压盖2包裹在悬臂壳1和悬臂端盖3里，使得泵的整体看上去更加简洁，结构清晰。
48.在本实施例中，进一步地，如图1至图3所示，悬臂壳1内设置有消音装置13，悬臂腔11的末级螺杆下方与消音装置13的入口连通，消音装置13的出口与排气口15连通，消音装置13可通过法兰固定在悬臂壳1中，便于拆卸清洗和更换，气体通过消音装置13后，可到到减轻噪音的目的。
49.在本实施例中，进一步地，如图4所示，悬臂壳1内设置有夹套冷却水层16，悬臂壳1底部设置有低点排液阀14，低点排液阀14用于排出凝结液；抽吸来的气体属于过饱和的可凝性介质，当通过多级压缩后，其饱和沸点大幅上升，配合悬臂壳1内设置的夹套冷却水层16，在悬臂腔11的转子一12中会产生大量的凝结液，可通过低点排液阀14将其排出；特别是一些特殊应用项目中，转子一12可以增加足够的螺旋环数，以产生足够的压力使得饱和介质的沸点温度更进一步提高，液化效果更加的明显，这种情况下可以在原有安装消音装置13的地方安装一个汽水分离装置，以有效的分离水汽，在悬臂壳1的底部通过低点排液阀14排出冷凝液，而在侧面排出气体，从而起到分离回收的作用。
50.本实施例采用罗茨转子和螺杆(扭叶)转子混合配置的方式，其中前三级采用罗茨转子，利用多轴方式进行串联布置，后几级则是转子一12以悬臂结构进行布置。且在本实施例中，如图5所示，转子一12本身没有轴，转子一12与泵轴8之间还设置有转子定位套1101、
双向紧固胀套1102和锁紧轴套1103，转子定位套1101与转子一12固定连接，锁紧轴套1103与泵轴8固定连接，转子定位套1101与锁紧轴套1103之间通过双向紧固胀套1102固定。具体地，转子一12靠近三级罗茨转子44的一端面设置有螺栓孔，转子定位套1101通过螺栓与转子一12固定连接，锁紧轴套1103通过螺栓与泵轴8固定连接。具体实施的方式是：先将一级泵腔51，二级泵腔41，三级泵腔43的罗茨转子安装完毕，并把各级泵腔安装在一起形成非悬臂体，把悬臂端盖3嵌入安装在非悬臂体上，然后把轴承座9装在悬臂端盖3上，把锁紧轴套1103安装在泵轴8上，通过工装把锁紧轴套1103与泵轴8贴合，使得锁紧轴套1103的一端面顶到三级罗茨转子44上，然后通过多个螺栓，穿过锁紧轴套1103的螺栓孔，使得锁紧轴套1103与驱动轴77在轴向锁紧，为了确保在高速运转时螺栓不会因为震动、旋转而脱落，可以在锁紧轴套1103与泵轴8之间安装一个波形弹簧，通过波形弹簧的反作用力，使得螺栓锁紧，起到类似于弹簧垫圈的作用；再安装轴承91，轴承91内径过盈配合在锁紧轴套1103上，外径则与轴承座9内圆紧配合，通过工装安装到位后，安装轴承91压盖把整个轴承91固定锁死，确保该中间轴承91为一个固定点，后续热膨胀时以该点往两边膨胀。
51.锁紧轴套1103靠转子一12的一端是一个斜面，其作用是配套双向紧固胀套1102，该双向紧固胀套1102是一个内外圆都是斜面，并开有一个轴向开口槽的胀套，通过其开口槽胀开放置在锁紧轴套1103上，因为靠转子一12一端面直径大，靠近泵轴8一端面直径小，所以双向紧固胀套1102无法从靠转子一12一端面的锁紧轴套1103滑动。然后把转子定位套1101插入双向紧固胀套1102中，转子定位套1101的内圆亦是一个斜面，它是靠转子一12一端面内圆直径大，靠泵轴8一端面内圆直径小，因此随着推插深入，双向紧固胀套1102会与锁紧轴套1103和转子定位套1101都形成紧配合。因为双向紧固胀套1102不能沿着向转子一12一端面滑动，所以转子定位套1101一旦和双向紧固胀套1102紧锁抱死后除非使用巨大的作用力(也就是拆卸时需要用液压推力退出)，否则是无法发生轴向位移的。因此泵轴8与轴承91内圆与转子定位套1101形成同步旋转，而转子定位套1101又与转子一12端面采用螺栓紧固，因此无轴的转子一12就可以与罗茨转子的泵轴8同步旋转，两个相互啮合的转子一12只需要连接安装在主动泵轴8和任一从动泵轴8上就可以实现传动运行。
52.在本实施例中，转子一12的材质优选为轻型合金，例如钛合金、镁合金及铝合金等，且长度短，以依托三级罗茨转子44和泵轴8，从而确保悬臂的平衡，泵轴8带动三个泵腔的罗茨转子，以固定的轴承91为支点，延伸出去连接轻质量且较短的转子一12，从而可以保持非常稳定的旋转动平衡，不会出现转子一12远端在径向的位移量。由于转子一12属于真空泵的后几级转子，因此间隙可以放大，以克服因为累积误差或者变形造成的间隙偏移，但不会影响真空度的性能。
53.本实施例采用的这种悬臂结构，由于末端没有轴承等任何紧固件，因此排气端的正压工艺气体不会对各部件造成伤害隐患，完全优胜于传统的螺杆泵必须采用氮气气封、机械密封78等方式对轴承、齿轮油腔73进行保护。而且在抽吸一些粉尘颗粒物或易聚合、易粘附、易凝固的工艺介质后，可以在不拆卸任何轴承、端盖及齿轮的情况下，打开悬臂壳1，对其内部的转子一12进行在线清理，而不再需要拆解整个真空泵。
54.在本实施例中，密封电机连接座7采用了循环自溢混合密封方法，如图3和图6所示，具体的，密封电机连接座7内设置有驱动轴77、驱动轴77套、循环油进油通道71、密封油腔72、齿轮油腔73、循环油溢出孔74、密封油位视镜75及齿轮油位视镜76，驱动轴77与中间
泵轴8的端部通过驱动轴77套固定连接；
55.初始状态时，齿轮油腔73内置有润滑油，齿轮本体的齿尖恰好浸没到润滑油里；
56.运行状态时，齿轮本体转动将齿轮油腔73内的润滑油带动溅起，通过设于齿轮本体上方，并通过集油围堰进行收集回收，收集到的润滑油通过循环油进油通道71进入密封油腔72中，并逐步填满密封油腔72，当密封油腔72内的油位高于循环油溢出孔74时，润滑油又从循环油溢出孔74溢出回到齿轮油腔73中，从而形成循环。
57.优选地，密封油腔72内设置有两个唇形密封79及一个机械密封78，以形成油填充密封，完全阻隔空气的泄露，需要说明的是，其中一个唇形密封79可作为集油围堰，让循环的润滑油溢流回到齿轮油腔73中。若仅仅靠机械密封78的两个密封面镜面贴合摩擦，密封效果并不是最好，因为机械密封78在安装的过程中可能因为加工精度的偏差导致两个密封面没有完全贴合平行，进而造成微量的漏气，而且仅靠飞溅附着，机械密封78的镜面磨损非常快，而且发热量高，使用寿命并不长，在本实施例中，机械密封78的密封面完全浸没在油中，可以起到最大程度的润滑和散热作用，极大的延长了使用寿命。齿轮端盖6可内置夹套水冷装置，因此循环的油经过并回到齿轮油腔73时会被散热降温。唇形密封79的唇口是浸没在油中的，因此能起到一个很好的密封作用，即使在唇口出现泄漏，因为进油的速度远大于唇口漏油速度，因此依然可以保证油位线在机械密封78的密封面上，可以通过密封油位视镜75来观察。当密封油位视镜75中长期油位低于正常线，则说明唇形密封79磨损严重，需要更换。
58.最后应说明的是：以上各实施例仅用以说明本发明的技术方案，而非对其限制；尽管参照前述各实施例对本发明进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分或者全部技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本发明各实施例技术方案的范围，其均应涵盖在本发明的权利要求和说明书的范围当中。

技术特征：
1.一种悬臂混合式干式真空泵，其特征在于：包括悬臂腔与非悬臂体，其中：所述非悬臂体是由若干个泵腔串联而成的泵腔组，所述悬臂腔与非悬臂体之间、非悬臂体中相邻的泵腔之间均采用嵌入式定位；所述非悬臂体内的各泵腔以及悬臂腔通过气路串联，所述非悬臂体的下方设置有底部连接件，位于各泵腔和悬臂腔下方的气路均设于底部连接件内，所述底部连接件与悬臂腔和非悬臂体均为可拆卸连接；所述悬臂腔中设置有转子一，所述非悬臂体的各泵腔中均设置有转子二，且各泵腔共享泵轴，所述悬臂腔的相邻泵腔中的转子二与转子一的结构不同，所述非悬臂体远离悬臂腔的一端设置有用于驱动泵轴的驱动装置，在所述非悬臂体与悬臂腔相邻的泵腔中，泵轴和与转子一之间通过锁紧机构实现悬臂式连接。2.根据权利要求1所述的一种悬臂混合式干式真空泵，其特征在于：所述锁紧机构包括定位套、双向紧固胀套和锁紧轴套，所述定位套与转子一固定连接，所述锁紧轴套与泵轴固定连接，所述定位套与锁紧轴套之间通过双向紧固胀套固定。3.根据权利要求2所述的一种悬臂混合式干式真空泵，其特征在于：所述转子一的材质为轻型合金。4.根据权利要求1所述的一种悬臂混合式干式真空泵，其特征在于：所述底部连接件内的气路均为圆弧形管道。5.根据权利要求4所述的一种悬臂混合式干式真空泵，其特征在于：所述底部连接件与悬臂腔和非悬臂体的连接处均设置有密封垫片。6.根据权利要求1所述的一种悬臂混合式干式真空泵，其特征在于：所述悬臂腔与非悬臂体之间、所述非悬臂体的相邻泵腔之间均为嵌入式固定拼接，所述嵌入式固定拼接通过定位台阶实现定位，所述非悬臂体的两端均设置有轴承座，所述轴承座中设置有密封元件。7.根据权利要求1所述的一种悬臂混合式干式真空泵，其特征在于：所述转子一具体为多级扭叶转子或多级螺杆转子；所述转子二具体为可啮合式转子。8.根据权利要求1所述的一种悬臂混合式干式真空泵，其特征在于：所述悬臂混合式干式真空泵还包括消音装置，所述消音装置内置于悬臂腔中；所述悬臂腔在排气口的下方设置有低点排液阀，所述低点排液阀用于排出凝结液。9.根据权利要求1
‑
8任一项所述的一种悬臂混合式干式真空泵，其特征在于：所述驱动装置具体为电机，所述电机设于密封电机连接座中，所述密封电机连接座内设置有循环油进油通道、密封油腔、齿轮油腔、循环油溢出孔、密封油位视镜及齿轮油位视镜；初始状态时，所述齿轮油腔内置有润滑油，所述齿轮本体的齿尖恰好浸没到润滑油里；运行状态时，所述齿轮本体转动将齿轮油腔内的润滑油带动溅起，通过设于齿轮本体上方，并通过集油围堰进行收集回收，收集到的润滑油通过循环油进油通道进入密封油腔中，并逐步填满密封油腔，当密封油腔内的油位高于循环油溢出孔时，润滑油又从循环油溢出孔溢出回到齿轮油腔中，从而形成循环。10.根据权利要求9所述的一种悬臂混合式干式真空泵，其特征在于：所述密封油腔内设置有两个唇形密封及一个机械密封，以形成油填充密封，完全阻隔空气的泄露。
技术总结
本发明公开了一种悬臂混合式干式真空泵，包括悬臂腔与非悬臂体，其中：非悬臂泵体是由若干个泵腔串联而成的泵腔组，悬臂腔与非悬臂体的任意相邻部件之间采用嵌入式定位；非悬臂体内的各泵腔以及悬臂腔通过气路串联，非悬臂体和悬臂腔的下方设置有底部连接件作为独立的气体连接部件，底部连接件与悬臂腔和非悬臂体均为可拆卸连接，本发明设计合理、结构紧凑，底部连接件可以给沉积物预留足够的堆积空间，同时可以自由拆卸、清理、检修、维修以及更换，而不会出现堵塞气流通道；相邻部件之间不再需要在侧面配打定位销孔来定位，进而克服了传统的干式真空泵内置在泵腔的气流通道狭小，且无法进行洗涤维护而导致故障的缺陷。法进行洗涤维护而导致故障的缺陷。法进行洗涤维护而导致故障的缺陷。


技术研发人员：林峰跃
受保护的技术使用者：上海樊容工业技术中心
技术研发日：2021.03.18
技术公布日：2021/6/29