集合配管单元的制作方法

1.本发明涉及用于将冷却水等流体从多个分支流路向一个主流路集中排出、或者将流体从一个主流路向多个分支流路供给的集合配管单元。


背景技术：

2.以往，有时在各种装置、设备中冷却水、清洗液等流体向多个流路分支而供给。在各流路设置有流量计、温度计、压力计、阀等。这样的流体计测器、阀能够设置于各流路的各种部位，但结构容易变得繁琐。与此相对，已知有主流路、与主流路连结的多个分支流路、以及针对多个分支流路中的每一个分支流路设置的多个流体计测器单元化而成的集合配管单元(例如，参照专利文献1)。通过使用集合配管单元，能够使配管更简单且紧凑。
3.现有技术文献
4.专利文献
5.专利文献1：日本特许第6250580号公报


技术实现要素：

6.发明要解决的课题
7.然而，通过使用集合配管单元，从而有时在维护作业中产生问题。例如，有时若为了维护而取下集合配管单元中的任一个分支流路的流体计测器，则流体从取下流体计测器后的部位流出从而流体溅到其他流体计测器、及周边部分。需要说明的是，维护是在停止了流体向设置有作为维护的对象的流体计测器的分支流路的供给的状态下进行，但残存于分支流路的流体流出。
8.并且，有时不仅残存于维护的对象的分支流路的流体流出，在主流路流动的流体也持续地流出。例如，在主流路是用于排出流体的出口主流路的情况下，与出口主流路的上游侧连结的多个出口分支流路经由出口主流路而相互连通。因此，有时在其他出口分支流路流动的流体经由出口主流路而向维护的对象的分支流路逆流，且流体持续地流出。在维护的对象部位与集合配管单元分离的情况下也是同样的。例如，有时若取下与维护的对象的分支流路连通的配管同冷却对象的装置、设备连接的连接部，则流体从取下后的部位持续地流出。另外，在主流路是用于接收流体的入口主流路的情况下，入口主流路所接收的流体向入口主流路的下游的各入口分支流路流入。因此，若取下在入口分支流路设置的流体计测器，则液体从取下流体计测器后的部位持续地流出。本发明是鉴于以上的问题点而完成的，其课题在于提供维护作业容易的集合配管单元。
9.用于解决课题的方案
10.本发明通过一种集合配管单元来解决上述课题，该集合配管单元具备：主流路；多个分支流路，它们与主流路连结；以及多个放泄阀，它们针对多个分支流路中的每一个分支流路设置。
11.该集合配管单元具备针对多个分支流路中的每一个分支流路设置的多个放泄阀，
因此能够将维护的对象的分支流路的流体从放泄阀向外部排出。因此，例如，即使为了维护而从集合配管单元取下流体计测器，也能够防止或者抑制流体从取下流体计测器后的部位流出从而流体溅到其他流体计测器、周边部分的情况。
12.优选的是，放泄阀具有第一端口、第二端口以及放泄端口，第一端口和第二端口配置于分支流路，第二端口配置于第一端口与主流路之间，放泄阀能够切换为：工作模式，在该工作模式中，第一端口与第二端口连通，并且放泄端口不与第一端口以及第二端口这两方连通；以及维护模式，在该维护模式中，第一端口与放泄端口连通，并且第二端口不与第一端口以及放泄端口这两方连通。
13.在维护模式中第一端口与放泄端口连通，因此能够将维护的对象的分支流路的流体经由第一端口以及放泄端口而向外部排出。并且，在维护模式中第二端口不与第一端口以及放泄端口这两方连通，因此放泄阀阻止流体从主流路向维护的对象的分支流路的流入。因此，能够防止流体从维护的对象的分支流路持续地流出。
14.也可以是，放泄端口以在与分支流路的方向正交、并且与多个分支流路排列的方向正交的方向上从分支流路排出流体的方式配置。
15.放泄端口在与分支流路的方向正交、并且与多个分支流路排列的方向正交的方向上从分支流路排出流体，因此该集合配管单元在分支流路的方向以及多个分支流路排列的方向上紧凑。
16.也可以是，集合配管单元具备与多个放泄阀的放泄端口连通的共通放泄流路，该共通放泄流路在与分支流路的方向正交、并且与多个分支流路排列的方向正交的方向上从分支流路偏置而配置。
17.从多个放泄阀的放泄端口经由共通放泄流路而排出流体，因此放泄的结构简单且紧凑。
18.也可以是，还具备针对多个分支流路中的每一个分支流路设置的多个流体计测器，放泄阀配置于流体计测器与主流路之间。
19.若从这样配置的放泄阀排出流体，则维护对象的分支流路中的、包含流体计测器的部位在内的比放泄阀远离主流路的部位的流体被排出。因此，能够防止流体从取下流体计测器后的部位流出。另外，能够阻止流体从主流路向取下流体计测器后的部位的流入。
20.也可以是，主流路是用于排出液体的出口主流路，分支流路是与出口主流路的上游侧连结的出口分支流路。
21.若放泄阀配置于流体计测器与出口主流路之间，则能够防止在其他出口分支流路流动的流体经由出口主流路而向维护对象的出口分支流路逆流。
22.另外，也可以是，主流路是用于接收流体的入口主流路，分支流路是与入口主流路的下游侧连结的入口分支流路。
23.通过将在维护对象的入口分支流路设置的放泄阀切换为维护模式，能够阻止液体从入口主流路向维护对象的分支流路流入。
24.发明效果
25.根据本发明，能够实现维护作业容易的集合配管单元。
附图说明
26.图1是示出本发明的第一实施方式的集合配管单元的整体结构的立体图。
27.图2是示意性地示出该集合配管单元的结构的框图。
28.图3是该集合配管单元的主视图。
29.图4是图3的沿着iv
‑
iv的剖视图。
30.图5是图3的沿着v
‑
v的剖视图。
31.图6是图3的沿着vi
‑
mi的剖视图。
32.图7是将图4的放泄阀的部分放大而示出的剖视图。
33.图8是将该放泄阀的阀芯进一步放大而示出的立体图。
34.图9是示出维护模式的状态下的该放泄阀的剖视图。
35.图10是示意性地示出本发明的第二实施方式的集合配管单元的结构的框图。
36.图11是示意性地示出本发明的第三实施方式的集合配管单元的结构的框图。
37.图12是示意性地示出本发明的第四实施方式的集合配管单元的结构的框图。
38.图13是示意性地示出本发明的第五实施方式的集合配管单元的结构的框图。
39.图14是示意性地示出本发明的第六实施方式的集合配管单元的结构的框图。
40.图15是示意性地示出本发明的第七实施方式的集合配管单元的结构的框图。
具体实施方式
41.如图1～6所示，第一实施方式的集合配管单元10具备入口主流路12、与入口主流路12的下游侧连结的多个入口分支流路14、出口主流路16、以及与出口主流路16的上游侧连结的多个出口分支流路18。入口分支流路14的数量与出口分支流路18的数量相同，各入口分支流路14经由配管20而与一个出口分支流路18连通。需要说明的是，在第一实施方式中，入口分支流路14的数量与出口分支流路18的数量为四个。入口主流路12所接收的冷却水(流体)经由多个入口分支流路14而向冷却对象22供给。冷却对象22例如是用于制造半导体的干蚀刻装置、成膜装置。对冷却对象22进行冷却而温度上升了的冷却水经由多个出口分支流路18从出口主流路16排出。从出口主流路16排出的冷却水在由冷机24进行了温度调节后，再次向入口主流路12供给。
42.入口主流路12沿着上下方向配置，入口分支流路14沿着水平方向配置。如图5所示，入口主流路12形成于四个管要素在上下方向上连结而成的结构的管的内侧。入口分支流路14在从正面(图3所示的面)观察时从入口主流路12向左侧延伸。多个入口分支流路14在上下方向上以规定的间隔排列。入口主流路12在与入口分支流路14正交、并且与多个入口分支流路14排列的方向正交的方向上从入口分支流路14偏置而配置。具体而言，从正面观察时入口主流路12配置于比入口分支流路14靠里侧的位置。
43.集合配管单元10具备针对每个入口分支流路14设置的多个开闭阀26。开闭阀26是球阀，且具备入口端口26a和出口端口26b。入口端口26a从正面观察时配置于里侧且向入口主流路12开口。出口端口26b从正面观察时配置于左侧且向入口分支流路14开口。开闭阀26具备球状的阀芯26c、从阀芯26c(从正面观察时)向前侧延伸的轴部26d、以及安装于轴部26d的前端的旋钮部26e。在阀芯26c形成有沿着与轴部26d同轴的方向以及与轴部26d垂直的方向的l形的孔。l形的孔的一方的端部始终向入口端口26a开口。l形的孔的另一方的端
部伴随着阀芯26c的旋转而向出口端口26b开口、或者以与出口端口26b分离的相位被外壳的内表面闭塞。开闭阀26构成入口分支流路14的一部分。
44.出口主流路16沿着上下方向配置，出口分支流路18沿着水平方向配置。出口主流路16与入口主流路12平行地配置。出口主流路16也与入口主流路12同样地形成于四个管要素在上下方向上连结而成的结构的管的内侧。出口分支流路18从正面观察时从出口主流路16向右侧延伸。多个出口分支流路18在上下方向上以规定的间隔排列。出口主流路16在与出口分支流路18正交、并且与多个出口分支流路18排列的方向正交的方向上从出口分支流路18偏置而配置。具体而言，从正面观察时出口主流路16配置于比出口分支流路18靠里侧的位置。
45.集合配管单元10具备针对每个出口分支流路18设置的多个流量调整阀28和流量计30。流量调整阀28是针型阀，且具备入口端口28a和出口端口28b。入口端口28a从正面观察时配置于右侧且向出口分支流路18开口。出口端口28b从正面观察时配置于里侧且向出口主流路16开口。流量调整阀28具有切头圆锥台形状的阀芯28c、从阀芯28c向前侧延伸的轴部28d、以及安装于轴部28d的前端的旋钮部28e。阀芯28c配置于出口端口28b。阀芯28c伴随着轴部28d的旋转而与出口端口28b的阀座接近、或者从阀座分离，由此调整流量调整阀28的开度。流量计30是阻流式(flapper type)，且配置于流量调整阀28的上游侧。流量调整阀28和流量计30构成出口分支流路18的一部分。
46.集合配管单元10还具备针对多个出口分支流路18中的每一个出口分支流路设置的多个放泄阀32。放泄阀32设置于流量计(流体计测器)30与出口主流路16之间。放泄阀32也构成出口分支流路18的一部分。如图7～9所示，放泄阀32是球阀，且具有第一端口32a、第二端口32b以及放泄端口32c。第一端口32a与第二端口32b配置于出口分支流路18，且第二端口32b配置于第一端口32a与出口主流路16之间。具体而言，第一端口32a从正面观察时配置于右侧且向出口分支流路18开口。第二端口32b从正面观察时配置于左侧且向出口分支流路18开口。放泄端口32c以在与出口分支流路18的方向正交、并且与多个出口分支流路18排列的方向正交的方向上从出口分支流路18排出流体的方式配置。具体而言，放泄端口32c从正面观察时配置于里侧且向后述的共通放泄流路34开口。放泄阀32具有球状的阀芯32d、从阀芯32d向(从正面观察时)前侧延伸的轴部32e、以及安装于轴部32e的前端的旋钮部32f。在阀芯32d形成有沿着与轴部32e垂直的方向的贯通孔。贯通孔的两端部伴随着阀芯32d的旋转而向第一端口32a以及第二端口32b开口、或者以与第一端口32a以及第二端口32b分离的相位被外壳的内表面闭塞。并且，如图8以及9所示，在阀芯32d的外表面形成有沿着包含轴部32e在内的面的圆弧形状的槽部。槽部的一方的端部始终向放泄端口32c开口。槽部的另一方的端部伴随着阀芯32d的旋转而向第一端口32a开口、或者以与第一端口32a分离的相位被外壳的内表面闭塞。放泄阀32能够切换为：工作模式(图7)，在该工作模式中，第一端口32a经由阀芯32d的贯通孔与第二端口32b连通并且放泄端口32c不与第一端口32a以及第二端口32b这两方连通；以及维护模式(图9)，在该维护模式中，第一端口32a经由阀芯32d的槽部与放泄端口32c连通并且第二端口32b不与第一端口32a以及放泄端口32c这两方连通。
47.集合配管单元10具备与多个放泄阀32的放泄端口32c连通的共通放泄流路34。共通放泄流路34沿着上下方向配置。共通放泄流路34在接近出口主流路16的位置与出口主流
路16平行地配置。如图6所示，共通放泄流路34也与出口主流路16以及入口主流路12同样地形成于四个管要素在上下方向上连结而成的结构的管的内侧。共通放泄流路34在与出口分支流路18的方向正交、并且与多个出口分支流路18排列的方向正交的方向上从出口分支流路18偏置而配置。具体而言，从正面观察时共通放泄流路34配置于比出口分支流路18靠里侧的位置。
48.接下来，对集合配管单元10的作用进行说明。在进行冷却对象22的冷却的通常的使用的情况下，操作员对在入口分支流路14设置的开闭阀26的旋钮部26e进行操作，将全部开闭阀26设定为阀芯26c的l形的孔的端部向出口端口26b开口的状态。另外，操作员对在出口分支流路18设置的放泄阀32的旋钮部32f进行操作，将全部放泄阀32设定为第一端口32a经由阀芯32d的贯通孔与第二端口32b连通、并且放泄端口32c不与第一端口32a以及第二端口32b这两方连通的工作模式。当在该状态下泵(省略图示)输送冷却水时，冷却水在入口主流路12、各入口分支流路14、冷却对象22、各出口分支流路18、出口主流路16以及冷机24循环，并在全部流路中进行冷却对象22的冷却。
49.另一方面，在进行任一流路的维护的情况下，操作员对作为维护的对象的流路的开闭阀26的旋钮部26e进行操作，切换为阀芯26c的l形的孔的一方的端部以与出口端口26b分离的相位被外壳的内表面闭塞的状态。另外，操作员对在作为维护的对象的流路设置的放泄阀32的旋钮部32f进行操作，将放泄阀32切换为第一端口32a经由阀芯32d的槽部而与放泄端口32c连通、并且第二端口32b不与第一端口32a以及放泄端口32c这两方连通的维护模式。当在该状态下泵输送冷却水时，冷却水向维护对象的流路的入口分支流路14的浸入被开闭阀26阻止。冷却水在入口主流路12、不是维护的对象的流路的入口分支流路14、配管20、冷却对象22、配管20、出口分支流路18、出口主流路16以及冷机24循环，冷却对象22在除了维护对象的流路以外的流路中被冷却。
50.在维护的对象的流路中存在的冷却水从放泄阀32的放泄端口32c向共通放泄流路34排出。因此，例如，即使为了维护而从集合配管单元10取下流量计30，也能够防止或者抑制冷却水从取下流量计30后的部位流出从而冷却水溅到其他流量计30、周边部分的情况。特别是，放泄阀32配置于流量计30与出口主流路16之间，因此维护对象的流路中的、包含流量计30的部位在内的比放泄阀32远离出口主流路16的部位的冷却水被排出。因此，能够防止冷却水从取下流量计30后的部位流出。并且，在维护模式下放泄阀32的第二端口32b不与第一端口32a以及放泄端口32c这两方连通，因此放泄阀32阻止冷却水从出口主流路16向维护的对象的出口分支流路18的流入。因此，能够防止在其他出口分支流路18流动的流体经由出口主流路16向维护对象的出口分支流路18逆流。由此，能够防止冷却水从维护的对象的出口分支流路18持续地流出。
51.另外，放泄端口32c在与出口分支流路18的方向正交、并且与多个出口分支流路18排列的方向正交的方向上从出口分支流路18排出冷却水，因此集合配管单元10在出口分支流路18的方向(从正面观察时为左右方向)以及多个出口分支流路18排列的方向(上下方向)上紧凑。并且，从多个放泄阀32的放泄端口32c经由共通放泄流路34而排出冷却水，因此放泄的结构简单且紧凑。
52.接下来，对第二实施方式进行说明。如图10所示，第二实施方式的集合配管单元50具备针对每个入口分支流路14设置的多个放泄阀52、以及与这些放泄阀52连结的共通放泄
流路54。需要说明的是，不具备第一实施方式的开闭阀26。其他结构与第一实施方式的集合配管单元10相同，因此对相同的结构标注与图1～9相同的附图标记并省略说明。
53.放泄阀52是与设置于出口分支流路18的放泄阀32相同的结构。需要说明的是，放泄阀52的第一端口52a与第二端口52b的位置关系从正面观察时和放泄阀32的第一端口32a与第二端口32b的位置关系为左右对称。具体而言，第一端口52a与第二端口52b配置于入口分支流路14，且第二端口52b配置于第一端口52a与入口主流路12之间。第一端口52a从正面观察时配置于左侧。第二端口52b从正面观察时配置于右侧。放泄端口52c从正面观察时配置于里侧且向共通放泄流路54开口。放泄端口52c以在与入口分支流路14的方向正交、并且与多个入口分支流路14排列的方向正交的方向上从入口分支流路14排出流体的方式配置。放泄阀52具备与放泄阀32的阀芯及轴部相同的阀芯及轴部。放泄阀52能够切换为：工作模式，在该工作模式中，第一端口52a经由阀芯的贯通孔与第二端口52b连通并且放泄端口52c不与第一端口52a以及第二端口52b这两方连通；以及维护模式，在该维护模式中，第一端口52a经由阀芯的槽部与放泄端口52c连通并且第二端口52b不与第一端口52a以及放泄端口52c这两方连通。
54.共通放泄流路54沿着上下方向配置。共通放泄流路54在接近入口主流路12的位置与入口主流路12平行地配置。共通放泄流路54在与入口分支流路14的方向正交、并且与多个入口分支流路14排列的方向正交的方向上从入口分支流路14偏置而配置。具体而言，从正面观察时共通放泄流路54配置于比入口分支流路14靠里侧的位置。
55.接下来，对集合配管单元50的作用进行说明。在进行冷却对象22的冷却的通常的使用的情况下，操作员对在入口主流路12设置的放泄阀52的旋钮部进行操作，将全部放泄阀52设定为第一端口52a经由阀芯的贯通孔与第二端口52b连通、并且放泄端口52c不与第一端口52a以及第二端口52b这两方连通的工作模式。另外，操作员与第一实施方式同样地，将在出口分支流路18设置的全部放泄阀32也设定为工作模式。当在该状态下泵(省略图示)输送冷却水时，冷却水在入口主流路12、各入口分支流路14、冷却对象22、各出口分支流路18、出口主流路16以及冷机24循环，并在全部流路中进行冷却对象22的冷却。
56.另一方面，在进行任一流路的维护的情况下，操作员对在作为维护的对象的流路设置的放泄阀52的旋钮部进行操作，将放泄阀52切换为第一端口52a经由阀芯的槽部与放泄端口52c连通、并且第二端口52b不与第一端口52a以及放泄端口52c这两方连通的维护模式。另外，操作员与第一实施方式同样地，将在作为维护的对象的流路设置的放泄阀32也切换为维护模式。当在该状态下泵输送冷却水时，冷却水向维护对象的入口分支流路14的浸入被放泄阀52阻止。与第一实施方式同样地冷却水在入口主流路12、不是维护的对象的流路的入口分支流路14、配管20、冷却对象22、不是维护的对象的流路的配管20、出口分支流路18、出口主流路16以及冷机24循环，并在除了维护对象的流路以外的流路中进行冷却对象22的冷却。
57.在维护的对象的流路中存在的冷却水从放泄阀32的放泄端口32c向共通放泄流路34排出，并且也从放泄阀52的放泄端口52c向共通放泄流路54排出。即，不仅在出口分支流路18侧，在入口分支流路14侧也排出冷却水，因此例如在取下入口分支流路14与冷却对象22之间的配管20同冷却对象22连接的连接部的情况下，能够防止或者抑制冷却水从取下后的部位流出。另外，第二实施方式的集合配管单元50由于放泄阀52兼作第一实施方式的开
闭阀26的作用，因此结构简单且紧凑。
58.接下来，对第三实施方式进行说明。如图11所示，第三实施方式的集合配管单元60具备针对每个入口分支流路14设置的多个流量计30。需要说明的是，在出口分支流路18不具备流量计30。另外，集合配管单元60与第二实施方式同样地，具备针对每个入口分支流路14设置的多个放泄阀52、以及与这些放泄阀52连结的共通放泄流路54。放泄阀52配置于流量计30与入口主流路12之间。其他结构与第一以及第二实施方式的集合配管单元10、50相同，因此对相同的结构标注与图1～10相同的附图标记并省略说明。
59.对集合配管单元60的作用进行说明。放泄阀52配置于流量计30与入口主流路12之间。因此，通过操作员与第二实施方式同样地，将在作为维护的对象的流路设置的放泄阀52切换为维护模式，从而维护对象的流路中的、包含流量计30的部位在内的比放泄阀52远离入口主流路12的部位的冷却水被排出。因此，能够防止冷却水从取下流量计30后的部位流出。另外，通过操作员与第一以及第二实施方式同样地，将在作为维护的对象的流路设置的放泄阀32也切换为维护模式，从而不仅在入口分支流路14侧，也能够在出口分支流路18侧从放泄阀32排出冷却水，因此能够防止或者抑制例如在取下出口分支流路18与冷却对象22之间的配管20同冷却对象22连接的连接部的情况下，冷却水从取下后的部位流出。
60.接下来，对第四实施方式进行说明。如图12所示，第四实施方式的集合配管单元70相对于第三实施方式的集合配管单元60，代替针对每个出口分支流路18设置的多个流量调整阀28，具备针对每个入口分支流路14设置的多个流量调整阀72。在出口分支流路18不具备流量调整阀。其他结构与第三实施方式的集合配管单元60相同，因此对相同的结构标注与图1～11相同的附图标记并省略说明。流量调整阀72是与在出口分支流路18设置的流量调整阀28相同的结构。需要说明的是，流量调整阀72的入口端口72a与出口端口72b的位置关系从正面观察时和流量调整阀28的入口端口28a与出口端口28b的位置关系为左右对称。具体而言，入口端口72a从正面观察时配置于里侧且向入口主流路12开口。出口端口72b从正面观察时配置于左侧且向入口分支流路14开口。集合配管单元70起到与第三实施方式的集合配管单元60相同的作用效果。
61.接下来，对第五实施方式进行说明。如图13所示，第五实施方式的集合配管单元80相对于第四实施方式的集合配管单元70，代替针对每个入口分支流路18设置的多个流量计30，具备针对每个出口分支流路18设置的多个流量计30。在入口分支流路14不具备流量计。其他结构与第四实施方式的集合配管单元70相同，因此对相同的结构标注与图1～12相同的附图标记并省略说明。集合配管单元80起到与第二实施方式的集合配管单元50相同的作用效果。
62.接下来，对第六实施方式进行说明。如图14所示，第六实施方式的集合配管单元90相对于第四实施方式的集合配管单元70，代替针对每个出口分支流路18设置的多个放泄阀32，具备针对每个出口分支流路18设置的多个开闭阀92。在出口分支流路18不具备放泄阀以及共通放泄流路。其他结构与第四实施方式的集合配管单元70相同，因此对相同的结构标注与图1～12相同的附图标记并省略说明。开闭阀92是与第一实施方式的在入口分支流路18设置的开闭阀26相同的结构。需要说明的是，开闭阀92的入口端口92a与出口端口92b的位置关系从正面观察时和开闭阀26的入口端口26a与出口端口26b的位置关系为左右对称。具体而言，入口端口92a从正面观察时配置于右侧且向出口分支流路18开口。出口端口
92b从正面观察时配置于里侧且向出口主流路16开口。
63.对集合配管单元90的作用进行说明。在第六实施方式中，开闭阀92阻止冷却水从出口主流路16向维护的对象的出口分支流路18的流入。因此，能够防止在其他出口分支流路18流动的流体经由出口主流路16而向维护对象的出口分支流路18逆流。由此，能够防止冷却水从维护的对象的出口分支流路18持续地流出。需要说明的是，在维护的对象的流路中存在的冷却水与第二～第五实施方式同样地，从放泄阀52的放泄端口52c向共通放泄流路54排出。
64.接下来，对第七实施方式进行说明。如图15所示，第七实施方式的集合配管单元100相对于第六实施方式的集合配管单元90，代替针对每个入口分支流路18设置的多个流量计30，具备针对每个出口分支流路18设置的多个流量计30。在入口分支流路14不具备流量计。其他结构与第六实施方式的集合配管单元90相同，因此对相同的结构标注与图1～14相同的附图标记并省略说明。集合配管单元100起到与第六实施方式的集合配管单元90相同的作用效果。
65.需要说明的是，在第一～第七实施方式中，集合配管单元10、50、60、70、80、90、100具备共通放泄流路34和/或共通放泄流路54，但也可以是，针对每个各放泄阀32、52连结单独的放泄流路。
66.另外，在第一～第七实施方式中，流量计30是阻流式，但也可以是，集合配管单元10、50、60、70、80、90、100具备其他类型的流量计。另外，也可以是，集合配管单元10、50、60、70、80、90、100代替流量计、或者与流量计一起，具备温度计、压力计等其他流体计测器。在该情况下，也优选为，放泄阀配置于流体计测器与入口主流路或者出口主流路之间。
67.另外，在第二以及第三实施方式中，集合配管单元50、60具备流量调整阀28以及放泄阀32，放泄阀32担负阻止冷却水从出口主流路16向维护的对象的出口分支流路18的流入的作用，但也可以设为流量调整阀28担负阻止冷却水从出口主流路16向维护的对象的出口分支流路18的流入的作用的结构。在该情况下，也可以设为在出口分支流路18不具备放泄阀32的结构。
68.另外，在第一～第七实施方式中，放泄阀32、52、开闭阀26、92、流量调整阀28、72均为手动式，但也可以是，这些阀的全部或者一部分为电动式。
69.另外，在第一～第七实施方式中，具备流量调整阀28，但也可以是，集合配管单元10、50、60、70、80、90、100不具备流量调整阀。
70.另外，在第一～第七实施方式中，示出入口分支流路14与出口分支流路18的数量为四个的例子，但也可以是，入口分支流路与出口分支流路的数量为两个或者三个。另外，也可以是，入口分支流路与出口分支流路的数量为五个以上。
71.另外，在第一～第七实施方式中，作为冷却对象22的例子而示出用于制造半导体的干蚀刻装置、成膜装置，但只要是利用多个流路供给流体的装置、设备，则冷却对象的种类没有特别限定。冷却对象也可以是具备多个流路的一个装置。另外，冷却对象也可以是由具有一个或者多个流路的多个装置构成的装置或者设备。
72.另外，在第一～第七实施方式中，集合配管单元10、50、60、70、80、90、100具备入口主流路12以及入口分支流路14、和出口主流路16以及出口分支流路18，但本发明也能够应用于具备出口主流路以及出口分支流路而不具备入口主流路以及入口分支流路的集合配
管单元。另外，本发明也能够应用于具备入口主流路以及入口分支流路而不具备出口主流路以及出口分支流路的集合配管单元。
73.另外，在第一～第七实施方式中，示出流体为冷却水的例子，但流体也可以是清洗液、润滑油等其他液体。另外，本发明也能够应用于液相与气相混合存在的流体。
74.工业实用性
75.本发明能够用于在各种装置、设备中将冷却水等流体从多个分支流路向一个主流路集中排出、或者将流体从一个主流路向多个分支流路供给。
76.附图标记说明：
77.10、50、60、70、80、90、100 集合配管单元
78.12 入口主流路
79.14 入口分支流路
80.16 出口主流路
81.18 出口分支流路
82.20 配管
83.22 冷却对象
84.24 冷机
85.26、92 开闭阀
86.26a、28a、72a、92a 入口端口
87.26b、28b、72b、92b 出口端口
88.26c、28c、32d 阀芯
89.26d、28d、32e 轴部
90.26e、28e、32f 旋钮部
91.28、72 流量调整阀
92.30 流量计
93.32、52 放泄阀
94.32a、52a 第一端口
95.32b、52b 第二端口
96.32c、52c 放泄端口
97.34、54 共通放泄流路。

技术特征：
1.一种集合配管单元，其中，所述集合配管单元具备：主流路；多个分支流路，它们与所述主流路连结；以及多个放泄阀，它们针对所述多个分支流路中的每一个分支流路设置。2.根据权利要求1所述的集合配管单元，其中，所述放泄阀具有第一端口、第二端口以及放泄端口，所述第一端口和所述第二端口配置于所述分支流路，所述第二端口配置于所述第一端口与所述主流路之间，所述放泄阀能够切换为：工作模式，在所述工作模式中，所述第一端口与所述第二端口连通，并且所述放泄端口不与所述第一端口以及所述第二端口这两方连通；以及维护模式，在所述维护模式中，所述第一端口与所述放泄端口连通，并且所述第二端口不与所述第一端口以及所述放泄端口这两方连通。3.根据权利要求2所述的集合配管单元，其中，所述放泄端口以在与所述分支流路的方向正交、并且与所述多个分支流路排列的方向正交的方向上从所述分支流路排出流体的方式配置。4.根据权利要求3所述的集合配管单元，其中，所述集合配管单元具备与所述多个放泄阀的放泄端口连通的共通放泄流路，该共通放泄流路在与所述分支流路的方向正交、并且与所述多个分支流路排列的方向正交的方向上从所述分支流路偏置而配置。5.根据权利要求2所述的集合配管单元，其中，所述集合配管单元还具备针对所述多个分支流路中的每一个分支流路设置的多个流体计测器，所述放泄阀配置于所述流体计测器与所述主流路之间。6.根据权利要求5所述的集合配管单元，其中，所述主流路是用于排出流体的出口主流路，所述分支流路是与所述出口主流路的上游侧连结的出口分支流路。7.根据权利要求2所述的集合配管单元，其中，所述主流路是用于接收流体的入口主流路，所述分支流路是与所述入口主流路的下游侧连结的入口分支流路。
技术总结
本发明提供维护作业容易的集合配管单元。集合配管单元(10)具备：出口主流路(16)；多个出口分支流路(18)，它们与出口主流路(16)连结；以及多个放泄阀(32)，它们针对多个出口分支流路(18)中的每一个出口分支流路(18)设置。支流路(18)中的每一个出口分支流路(18)设置。支流路(18)中的每一个出口分支流路(18)设置。


技术研发人员：重田创 中山谕 筱原利彦
受保护的技术使用者：昭和机器计装株式会社
技术研发日：2020.09.08
技术公布日：2021/6/29