一种压力控制装置及系统的制作方法

专利2022-05-10  3



1.本发明涉及压力控制技术领域,具体涉及一种压力控制装置及系统。


背景技术:

2.在对晶圆进行抛光工艺过程中,需要对晶圆背面施加压力,使晶圆正面与抛光垫充分接触进行抛光或者是工艺完毕后将正压力切换为负压力,使晶圆吸附在承载台上进行传输。完成上述过程的压力控制装置通常由电磁阀、电气比例阀和气压压力传感器等多个电子元器件组成,如图1所示的压力控制装置由4个通道的阀体模组组成,每个通道的阀体模组包括4个电磁阀、1个电气比例阀和1个气压压力传感器。
3.由于现有的压力控制装置需要将每个通道的电子元器件连接到外部i/o采集模块,这种连接方式接线繁多、不易维护,且在更换i/o采集模块后需要重新布线,兼容性差。


技术实现要素:

4.因此,本发明要解决的技术问题在于克服现有技术中接线繁多、不易维护的缺陷,从而提供一种压力控制装置及系统。
5.根据第一方面,本发明实施例公开了一种压力控制装置,该系统包括:汇流板和至少一组阀体模组,其中,所述阀体模组中的每一个电子元器件与所述汇流板连接,所述汇流板上设置有信号接口,用于与外部i/o采集模块连接。
6.可选地,所述汇流板还设置有电源接口,用于通过接入的电源驱动汇流板和阀体模组中电子元器件。
7.可选地,所述压力控制装置还包括显示模块,用于显示每一组阀体模组所在通道的运行状态信息。
8.可选地,所述每一组阀体模组所在通道的运行状态信息包括通道的运行模式,所述运行模式包括压力控制模式、真空控制模式,大气控制模式以及保压控制模块中的任意一种。
9.可选地,所述显示模块为led显示模块。
10.可选地,所述压力控制装置包括4组阀体模组。
11.可选地,每一组阀体模组包括4个电磁阀、1个电气比例阀和1个气压压力传感器。
12.可选地,所述汇流板沿高度方向设置在所述阀体模组上方。
13.根据第二方面,本发明实施例还公开了一种压力控制系统,该系统包括:如第一方面及第一方面任一可选实施例所述的压力控制装置;i/o采集模块,与所述压力控制装置连接,用于向外部设备传输压力控制装置的当前工作状态信息,以及接收外部设备传输的工作指令信息。
14.可选地,所述系统还包括:控制器,与所述i/o采集模块,用于向所述压力控制装置下发工作指令信息。
15.本发明技术方案,具有如下优点:
16.本发明提供的压力控制装置及系统,包括:汇流板和至少一组阀体模组,其中,所述阀体模组中的每一个电子元器件与所述汇流板连接,所述汇流板上设置有信号接口,用于与外部i/o采集模块连接。通过实施本发明,将阀体模组的电子元器件与汇流板连接,通过汇流板直接与外部i/o采集模块连接实现信号传输,相比于现有技术中直接将电子元器件与外部i/o采集模块连接,减少了阀体模组在进行信号传输的布线难度,在更换外部i/o采集模块时,不需要重新布线、易维护、兼容性高。
附图说明
17.为了更清楚地说明本发明具体实施方式或现有技术中的技术方案,下面将对具体实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍,显而易见地,下面描述中的附图是本发明的一些实施方式,对于本领域普通技术人员来讲,在不付出创造性劳动的前提下,还可以根据这些附图获得其他的附图。
18.图1为本发明现有技术中一个具体实施例的连接框图;
19.图2为本发明实施例中压力控制装置的一个具体示例的原理框图;
20.图3为本发明实施例中压力控制系统的一个具体示例的原理框图。
具体实施方式
21.下面将结合附图对本发明的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例是本发明一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本发明保护的范围。
22.在本发明的描述中,需要说明的是,术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系,仅是为了便于描述本发明和简化描述,而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作,因此不能理解为对本发明的限制。此外,术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的,而不能理解为指示或暗示相对重要性。
23.在本发明的描述中,需要说明的是,除非另有明确的规定和限定,术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解,例如,可以是固定连接,也可以是可拆卸连接,或一体地连接;可以是机械连接,也可以是电连接;可以是直接相连,也可以通过中间媒介间接相连,还可以是两个元件内部的连通,可以是无线连接,也可以是有线连接。对于本领域的普通技术人员而言,可以具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。
24.此外,下面所描述的本发明不同实施方式中所涉及的技术特征只要彼此之间未构成冲突就可以相互结合。
25.本发明实施例公开了一种压力控制装置,如图2所示,该装置包括:汇流板201和至少一组阀体模组202,其中,所述阀体模组202中的每一个电子元器件与所述汇流板201连接,所述汇流板上设置有信号接口2021,用于与外部i/o采集模块连接。
26.示例性地,阀体模组202为压力控制装置中具体实现相应压力控制的单元,具体的可以包括例如电磁阀、电气比例阀和气压压力传感器组成的压力控制单元,每个压力控制单元可以实现例如压力控制、真空控制、大气控制和保压控制等功能,本技术实施例中对压力控制单元可实现的功能不做限制,本领域技术人员可以根据实际需要确定;位于汇流板
201的信号接口2011用于阀体模组的工作信号的输入和输出,包括和阀体模组工作信号的输出和需要控制阀体模组进行相应工作的信号输入,对应的信号可以是数字信号或者是模拟信号,本技术实施例中对信号输出和输入类型不做限制,本领域技术人员可以根据实际需要确定。
27.作为本发明一个可选实施方式,所述汇流板201还设置有电源接口2012,用于通过接入的电源驱动汇流板和阀体模组中电子元器件。示例性地,汇流板201外设有电源接口2012,通过电源接口2012连接外部电源,为汇流板201的工作提供电能,同时为与汇流板201连接的阀体模组202的工作提供电能,以驱动汇流板和阀体模组中电子元器件工作。本技术实施例中对电源类型不做限制,本领域技术人员可以根据实际需要确定。
28.作为本发明一个可选实施方式,所述压力控制装置还包括显示模块2013,用于显示每一组阀体模组所在通道的运行状态信息。示例性地,汇流板内置有显示模块2013,显示模块2013可以显示阀体模组202的工作状态,例如,显示模块2013可以根据设定显示灯的颜色为绿色为正常工作状态,红灯闪烁为出现故障,以及黄色灯亮显示为接通电源状态等,本技术实施例中对显示模块2013的显示方法及显示形式不做限制,本领域技术人员可以根据实际需要确定。
29.作为本发明一个可选实施方式,所述每一组阀体模组202所在通道的运行状态信息包括通道的运行模式,所述运行模式包括压力控制模式、真空控制模式,大气控制模式以及保压控制模块中的任意一种。
30.示例性地,阀体模组202的运行模式可以根据具体的工作运行需要进行相应的运行模式的选择,例如,需要进行减压或者增压等的情况下选择运行压力控制模式,当需要负压时使用真空控制模式,当需要零压状态的需求时选择大气控制模式,需要在一定的恒压条件下进行相应操作的选择保压控制模式,多种运行模式相互配合,可以更加精准的实现压力控制,本技术实施例中对运行模式的选择及运行方式不做限制,本领域技术人员可以根据实际需要确定。
31.作为本发明一个可选实施方式,所述显示模块2013为led显示模块。示例性地,显示模块2013的显示方式为以led灯进行显示,例如,显示模块2013可以为设定每个阀体模组设定一组led进行对应阀体模组工作状态的显示,每个阀体模组设定四个工作模式的对应的显示灯、用于显示阀体模组当前正在运行的是哪种模式,本技术实施例中对led显示模块的显示方法及显示形式的不做限制,本领域技术人员可以根据实际需要确定。
32.作为本发明一个可选实施方式,所述压力控制装置包括4组阀体模组。示例性地,压力控制装置包含4个阀体模组,4个阀体模组相互配合可以精确地施加压力和释放压力。
33.作为本发明一个可选实施方式,所述汇流板沿高度方向设置在所述阀体模组上方。示例性地,沿汇流板201高度的方向和阀体模组202进行连接,汇流板201和阀体模组202为一个紧密连接的整体,可以更好节省空间且易于维护。
34.本发明实施例还公开了一种压力控制系统,如图3所示,包括:
35.如上述实施例所述的任一项压力控制装置301;示例性地,详情请见对上述实施例中对压力控制装置的描述,此处不再赘述。
36.i/o采集模块302,与所述压力控制装置连接,用于向外部设备传输压力控制装置的当前工作状态信息,以及接收外部设备传输的工作指令信息。示例性地,i/o采集模块302
对应于信号端口2011连接,采集压力控制装置401中的工作信号和向压力控制装置401输出控制信号,压力控制装置301和i/o采集模块302可以是分布式安装,适用于空间紧张的设备。
37.作为本发明一个可选实施方式,所述系统还包括:控制器,与所述i/o采集模块,用于向所述压力控制装置301下发工作指令信息。示例性地,压力控制装置301的工作指令由控制器与i/o采集模块302连接,将控制指令通过i/o采集模块302发送至压力控制装置301。
38.虽然结合附图描述了本发明的实施例,但是本领域技术人员可以在不脱离本发明的精神和范围的情况下作出各种修改和变型,这样的修改和变型均落入由所附权利要求所限定的范围之内。
转载请注明原文地址: https://doc.8miu.com/read-1550255.html

最新回复(0)