一种有机复合靶材冷却装置的制作方法

1.本实用新型涉及溅射靶材生产设备技术领域，具体为一种有机复合靶材冷却装置。


背景技术：

2.有机靶材适用于平面显示、柔性显示器、汽车、纺织纤维、电子设备等领域，这就要求有机靶材具有高纯度、高密度、大尺寸一体化等优点，靶材通过镙文等方式与溅射设备相连接，在真空条件下溅射成膜层附着于基片上，再通过各种手段(刻蚀)对薄膜加工，以满足不同需要。
3.目前，主要使用预制粉末和热压缩成型来制备ptfe靶材。现有技术中存在一些具有冷藏室的冷却装置，通过冷媒的相态改变以及流转，带走冷藏室内的热量，从而达到冷却效果。但是，这种冷却装置的冷却作用过于强烈。如专利号为201922330056.4，名为“一种平面溅射靶材快速冷却装置”，通过开放式的冷却平台装置，工件转移方便，缩短了绑定靶材的冷却时间，提高靶材绑定的速率，但是在冷却时靶材置于多个水平间隔布置的托块上，导致吹风装置风冷时在托块处存在盲区，冷却效果相对较差且不够均匀。
4.为了解决上述问题，本案由此而生。


技术实现要素：

5.(一)解决的技术问题
6.针对现有技术的不足，本实用新型提供了一种有机复合靶材冷却装置，解决了上述背景技术中提出的问题。
7.(二)技术方案
8.为实现以上目的，本实用新型通过以下技术方案予以实现：一种有机复合靶材冷却装置，包括机架、设置在机架顶部的冷却平台以及吹风部件，吹风部件固定在冷却平台的下方，所述冷却平台上设有多组间隔布置的置物滚轴，置物滚轴沿冷却平台长度方向布置并枢接于冷却平台的内壁，每组置物滚轴设有两根，并间隔设置，所述置物滚轴通过驱动件驱动自转，所述吹风装置的风口朝向每组的两根置物滚轴的间隔处，所述机架上还设置有水冷部件。
9.优选的，所述吹风部件设有多个，每个吹风部件均包括风机、风座、通风板，所述风机通过支板设于机架下侧，风座将风机与通风板相连通，每组所述置物滚轴对应一个通风板，且通风板位于任意一组的两个置物滚轴下方，多个通风板的下端将风座连接处闭合，且将冷风向上传递。
10.优选的，所述通风板上端且沿其长度方向间隔开设有通风口，下端设有通口，每个通风口与通口连通。
11.优选的，所述水冷部件包括水箱、水泵、密闭的散热架体，所述水箱设于机架底部，水泵的输入端与水箱相通，输出端通过输水管与散热架体相通，所述散热架体位于置物滚
轴的正上方，其一侧通过导水管连通至水箱。
12.优选的，所述散热架体呈中空设置，且底部呈弧形，该弧形的底部采用金属材质。
13.(三)有益效果
14.采用上述技术方案后，本实用新型与现有技术相比，具备以下优点：本实用新型一种有机复合靶材冷却装置，每组的两个置物滚轴进行转动时，可带动靶材进行转动而克服冷却的盲区，进而使得靶材上的所有位置都能够与冷风直接接触，并在靶材正上方设置散热架，通过循环水冷的方式，不断将热风进行冷却，同时配合底部呈弧形的金属散热架，进一步促进热空气的循环，加速靶材上热量的散失。
附图说明
15.图1为本实用新型吹风部件结构拆解示意图；
16.图2为本实用新型中示意图。
17.图中：1机架、2冷却平台、3吹风部件、31风机、32风座、33通风板、4置物滚轴、5水冷部件、51水箱、52水泵、53散热架体、6通风口、7输水管、8导水管。
具体实施方式
18.下面通过附图和实施例对本实用新型作进一步详细阐述。
19.如图1
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2所示：一种有机复合靶材冷却装置，包括机架1、设置在机架1顶部的冷却平台2以及吹风部件3，吹风部件3固定在冷却平台2的下方，冷却平台2上设有多组间隔布置的置物滚轴4，置物滚轴4沿冷却平台2长度方向布置并枢接于冷却平台2的内壁，每组置物滚轴4设有两根，并间隔设置，置物滚轴4通过驱动件驱动自转，吹风装置的风口朝向每组的两根置物滚轴4的间隔处，机架1上还设置有水冷部件5。
20.吹风部件3设有多个，每个吹风部件3均包括风机31、风座32、通风板33，风机31通过支板设于机架1下侧，风座32将风机31与通风板33相连通，每组置物滚轴4对应一个通风板33，且通风板33位于任意一组的两个置物滚轴4下方，多个通风板33的下端将风座32连接处闭合，且将冷风向上传递。
21.本方案中置物滚轴4可采用在一端套接皮带轮，多个置物滚轴4之间采用皮带进行传动，并在其中一个置物滚轴4上连接电机，进而实现置物滚轴4的转动(转速需缓慢)，由于该驱动结构为常规设置，本方案不做详述。
22.每组的两个置物滚轴4进行转动时，可带动靶材进行转动而克服冷却的盲区，进而使得靶材上的所有位置都能够与冷风直接接触。
23.通风板33上端且沿其长度方向间隔开设有通风口6，下端设有通口，每个通风口6与通口连通。
24.水冷部件5包括水箱51、水泵52、密闭的散热架体53，水箱51设于机架1底部，水泵52的输入端与水箱51相通，输出端通过输水管7与散热架体53相通，散热架体53位于置物滚轴4的正上方，其一侧通过导水管8连通至水箱51。
25.散热架体53呈中空设置，且底部呈弧形，该弧形的底部采用金属材质。
26.冷风在经过靶材时，带走大部分热量，因而本方案在靶材正上方设置散热架，通过循环水冷的方式，不断将热风进行冷却，同时配合底部呈弧形的金属散热架，进一步促进热
空气的循环，加速靶材上热量的散失。
27.作为改进，还可在散热架上阵列多个上下贯通的微小通孔，以促进热空气循环。
28.以上所述依据实施例为启示，通过上述的说明内容，相关工作人员完全可以在不偏离本项发明思想的范围内，进行多样的变更以及修改。本项使用新型的技术性范围并不局限于说明书上的内容，必须要根据权利要求范围来确定其保护的范围。


技术特征：
1.一种有机复合靶材冷却装置，包括机架、设置在机架顶部的冷却平台以及吹风部件，吹风部件固定在冷却平台的下方，其特征在于：所述冷却平台上设有多组间隔布置的置物滚轴，置物滚轴沿冷却平台长度方向布置并枢接于冷却平台的内壁，每组置物滚轴设有两根，并间隔设置，所述置物滚轴通过驱动件驱动自转，所述吹风部件的风口朝向每组的两根置物滚轴的间隔处，所述机架上还设置有水冷部件。2.根据权利要求1所述的一种有机复合靶材冷却装置，其特征在于：所述吹风部件设有多个，每个吹风部件均包括风机、风座、通风板，所述风机通过支板设于机架下侧，风座将风机与通风板相连通，每组所述置物滚轴对应一个通风板，且通风板位于任意一组的两个置物滚轴下方，多个通风板的下端将风座连接处闭合，且将冷风向上传递。3.根据权利要求2所述的一种有机复合靶材冷却装置，其特征在于：所述通风板上端且沿其长度方向间隔开设有通风口，下端设有通口，每个通风口与通口连通。4.根据权利要求1所述的一种有机复合靶材冷却装置，其特征在于：所述水冷部件包括水箱、水泵、密闭的散热架体，所述水箱设于机架底部，水泵的输入端与水箱相通，输出端通过输水管与散热架体相通，所述散热架体位于置物滚轴的正上方，其一侧通过导水管连通至水箱。5.根据权利要求4所述的一种有机复合靶材冷却装置，其特征在于：所述散热架体呈中空设置，且底部呈弧形，该弧形的底部采用金属材质。

技术总结
本实用新型公开了一种有机复合靶材冷却装置，包括机架、设置在机架顶部的冷却平台以及吹风部件，吹风部件固定在冷却平台的下方，所述冷却平台上设有多组间隔布置的置物滚轴，置物滚轴沿冷却平台长度方向布置并枢接于冷却平台的内壁，每组置物滚轴设有两根，并间隔设置，所述置物滚轴通过驱动件驱动自转，吹风装置的风口朝向每组的两根置物滚轴的间隔处。本实用新型中每组的两个置物滚轴进行转动时，可带动靶材进行转动而克服冷却的盲区，进而使得靶材上的所有位置都能够与冷风直接接触，并在靶材正上方设置散热架，通过循环水冷的方式，不断将热风进行冷却，同时配合底部呈弧形的金属散热架，进一步促进热空气的循环，加速靶材上热量的散失。靶材上热量的散失。靶材上热量的散失。


技术研发人员：徐从康 马赛 周曼曼
受保护的技术使用者：浙江弘康半导体技术有限公司
技术研发日：2021.04.26
技术公布日：2021/11/2