一种长晶炉旋风过滤装置的制作方法

专利2024-11-17  3


本技术涉及除尘设备领域,尤其涉及到一种长晶炉旋风过滤装置。


背景技术:

1、在单晶炉生产过程中,通常会产生大量氧化物粉尘和废气,为了保持单晶炉的真空环境,使用真空泵对单晶炉抽真空。为避免真空泵吸入氧化物粉尘,通常会在单晶炉和真空泵之间连接一个过滤罐,过滤罐内安装有过滤布袋能吸附粉尘,过滤布袋的吸附能力有限,需要时常清理。

2、现有技术中,申请号为:cn202023263901.x的中国实用新型专利文件公开了一种过滤罐,进、出端分别与单晶炉和真空泵连接,维持单晶炉内真空度,保护真空泵,包括:罐体,具有进气口,出气口、过滤布袋框架和若干过滤布袋;所述进气口与单晶炉连接;所述出气口与真空泵连接;所述过滤布袋框架安装在所述罐体内;所述过滤布袋安装在所述过滤布袋框架上;在负压下,单晶炉内的废气进入所述罐体内,通过所述过滤布袋后,截留、分离氧化物粉体;吹扫装置,部分安装在所述罐体内,其向所述过滤布袋内侧吹入气体,清理所述过滤布袋;吸尘装置,和所述罐体的底部连接,用于吸出和收集所述罐体内掉落的氧化物粉尘。

3、通过上述内容可知,现有的过滤罐的罐体为一体结构,且无法打开,不便于对罐体的内部进行清理。因此,我们有必要对这样一种结构进行改善,以克服上述缺陷。


技术实现思路

1、本实用新型的目的是提供一种长晶炉旋风过滤装置,用于解决现有的过滤罐的罐体为一体结构,且无法打开,不便于对罐体的内部进行清理的问题。

2、本实用新型的上述技术目的是用过以下技术方案实现的:

3、一种长晶炉旋风过滤装置,包括:

4、罐体,罐体的内部具有过滤腔,罐体的顶部设置有开口,开口与过滤腔连通;

5、端盖,端盖位于罐体的顶端并与罐体可拆卸连接,其用于对开口进行密封;

6、冷却机构,冷却机构设置在罐体上,冷却机构的冷却端位于过滤腔内,其用于对进入过滤腔的单晶炉废气进行冷却。

7、本实用新型的进一步设置为:端盖的外端上设置有连接部一,连接部上开设有多个连接孔一,连接孔一贯穿连接部一的上下两端,罐体顶端的外壁上设置有连接部二,连接部二上开设有多个与连接孔一相匹配的连接孔二,固定螺栓穿过连接孔一延伸至连接孔二内,实现端盖和罐体之间的固定。

8、本实用新型的进一步设置为:冷却机构包括冷却管,冷却管的两端设置在罐体上,冷却管的冷却端螺旋设置在过滤腔内。

9、本实用新型的进一步设置为:罐体内部设置有导向罩,导向罩的顶端设置有滤网,导向罩的外侧与罐体的内侧壁连接,导向罩的底部出口朝向冷却管机构设置,废气从进气管进入导向罩并在导向罩的引导下流向冷却管。

10、本实用新型的进一步设置为:罐体的侧面设置有进气管,进气管的输入端与单晶炉的输出端连接,进气管的输出端穿过罐体延伸至导向罩内,废气能通过进气管通入导向罩内。

11、本实用新型的进一步设置为:罐体的底部设置有出渣管,出渣管的顶端与过滤腔连通,出渣管底端向罐体外部延伸,过滤腔内的杂质能通过出渣管向外排出。

12、本实用新型的进一步设置为:罐体的底部还设置有出气管,出气管的输入端位于罐体上端,出气管的输出端位于罐体外部并与外接泵机连通,废气能通过出气管向外排出。

13、本实用新型的进一步设置为:罐体的底部外壁上安装有多个立柱,立柱的底部设置有可锁定的万向轮。

14、综上所述,本实用新型具有以下有益效果:

15、1、采用可拆卸连接的端盖设计,方便对罐体进行清理和检修,节省时间和人力成本;

16、2、设有冷却机构,冷却机构中的冷却管能够对废气进行冷却,使得废气和杂质得以分离。这种设计可以提高废气的纯净度和净化效果。



技术特征:

1.一种长晶炉旋风过滤装置,其特征在于,包括:

2.根据权利要求1所述的一种长晶炉旋风过滤装置,其特征在于,所述端盖的外端上设置有连接部一,所述连接部一上开设有多个连接孔一,连接孔一贯穿连接部一的上下两端,所述罐体顶端的外壁上设置有连接部二,所述连接部二上开设有多个与连接孔一相匹配的连接孔二,固定螺栓穿过连接孔一延伸至连接孔二内,实现端盖和罐体之间的固定。

3.根据权利要求1所述的一种长晶炉旋风过滤装置,其特征在于,所述冷却机构包括冷却管,所述冷却管的两端设置在罐体上,所述冷却管的冷却端螺旋设置在过滤腔内。

4.根据权利要求1所述的一种长晶炉旋风过滤装置,其特征在于,所述罐体内部设置有导向罩,所述导向罩的顶端设置有滤网,所述导向罩的外侧与罐体的内侧壁连接,所述导向罩的底部出口朝向冷却管机构设置,废气从进气管进入导向罩并在导向罩的引导下流向冷却管。

5.根据权利要求1所述的一种长晶炉旋风过滤装置,其特征在于,所述罐体的侧面设置有进气管,所述进气管的输入端与单晶炉的输出端连接,所述进气管的输出端穿过罐体延伸至导向罩内,废气能通过进气管通入导向罩内。

6.根据权利要求1所述的一种长晶炉旋风过滤装置,其特征在于,所述罐体的底部设置有出渣管,所述出渣管的顶端与过滤腔连通,所述出渣管底端向罐体外部延伸,所述过滤腔内的杂质能通过出渣管向外排出。

7.根据权利要求1所述的一种长晶炉旋风过滤装置,其特征在于,所述罐体的底部还设置有出气管,所述出气管的输入端位于罐体上端,所述出气管的输出端位于罐体外部并与外接泵机连通,废气能通过出气管向外排出。

8.根据权利要求1所述的一种长晶炉旋风过滤装置,其特征在于,所述罐体的底部外壁上安装有多个立柱,所述立柱的底部设置有可锁定的万向轮。


技术总结
本技术公开了一种长晶炉旋风过滤装置,用于解决现有的过滤罐的罐体为一体结构,且无法打开,不便于对罐体的内部进行清理的问题,其技术方案要点是:包括罐体,罐体的内部具有过滤腔,罐体的顶部设置有开口,开口与过滤腔连通;端盖,端盖位于罐体的顶端并与罐体可拆卸连接,其用于对开口进行密封;冷却机构,冷却机构设置在罐体上,冷却机构的冷却端位于过滤腔内,其用于对进入过滤腔的单晶炉废气进行冷却。本技术采用可拆卸连接的端盖设计,方便对罐体进行清理和检修,节省时间和人力成本。

技术研发人员:胡宜春
受保护的技术使用者:浙江微滤环境科技有限公司
技术研发日:20231027
技术公布日:2024/6/26
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