本技术主要涉及电子束曝光机，具体涉及一种用于电子束曝光机的电源系统。
背景技术：
1、在电子束曝光机中，ad和da在信号转换过程中起着非常重要的作用。处理器检测的是数字量，所以都需要将各种模拟量转换为数字量给处理器进行分析，同时需要将处理器收集到的数字量转换为模拟量去驱动外部的模拟系统，而电源作为电路系统的核心，起着非常重要的作用。电源的稳定性往往直接决定了系统的稳定性，为此一套高稳定，能够具备多种保护功能，不易受到外界信号波动干扰的电源系统显得尤其重要。
技术实现思路
1、本实用新型要解决的技术问题就在于：针对现有技术存在的技术问题，本实用新型提供一种输出稳定可靠的用于电子束曝光机的电源系统。
2、为解决上述技术问题，本实用新型提出的技术方案为：
3、一种用于电子束曝光机的电源系统，包括输入电源保护电路、电压转换单元、隔离电源电路、降压转换单元和隔离基准电压电路；所述输入电源保护电路的输出端与所述电压转换单元的输入端相连；所述隔离电源电路的输入端与电压转换单元的输出端相连，所述隔离电源电路的输出端与降压转换单元的输入端相连，所述降压转换单元的输出端与ad电路或da电路相连，用于为ad电路或da电路提供隔离电源；所述隔离基准电压电路的输入端与隔离电源电路的输出端相连，所述隔离基准电压电路的输出端用于输出基准电压。
4、作为上述技术方案的进一步改进：
5、所述输入电源保护电路包括依次连接的雷击浪涌保护电路、共模抑制电路、防反接电路、过压保护电路和滤波电路。
6、所述共模抑制电路包括共模电感。
7、所述电压转换单元包括第一级电压转换电路和第二级电压转换电路，所述第一级电压转换电路的输入端与输入电源保护电路的输出端相连，所述第二级电压转换电路的输入端与所述第一级电压转换电路的输出端相连。
8、所述第一级电压转换电路和第二级电压转换电路均为dc-dc降压电路。
9、还包括电源监测电路，所述电源监测电路的输入端与输入电源保护电路的输出端相连，用于将输入电源保护电路输出的电压值进行缩小，并将缩小后的值直接给到采集系统进行检测。
10、所述电源监测电路为运算放大器。
11、所述降压转换单元包括隔离一级降压转换电路和隔离二级降压转换电路，所述隔离一级降压转换电路的输入端与隔离电源电路的输出端相连，所述隔离一级降压转换电路的输出端与隔离二级降压转换电路的输入端相连。
12、所述隔离一级降压转换电路和隔离二级降压转换电路均为线性稳压器。
13、所述隔离基准电压电路为基准电压器。
14、与现有技术相比，本实用新型的优点在于：
15、本实用新型适用于有高精度模数转换(ad)和数模转换(da)的需求场合，一部分为控制采集系统电路电源，一部分为专门用于ad和da采集电路的具有隔离功能的电源；该电路实现了采集电路和控制电路电源之间的隔离，不会受到彼此的干扰，同时输入电源具有多种保护：可以防反接、防浪涌雷击、脉冲群、过压保护；该电路系统具有能够自我保护，电源输出非常稳定，能够保证ad和da采集的时候不会因为外界电源的干扰而抖动。
1.一种用于电子束曝光机的电源系统，其特征在于，包括输入电源保护电路(1)、电压转换单元、隔离电源电路(5)、降压转换单元和隔离基准电压电路(8)；所述输入电源保护电路(1)的输出端与所述电压转换单元的输入端相连；所述隔离电源电路(5)的输入端与电压转换单元的输出端相连，所述隔离电源电路(5)的输出端与降压转换单元的输入端相连，所述降压转换单元的输出端与ad电路或da电路相连，用于为ad电路或da电路提供隔离电源；所述隔离基准电压电路(8)的输入端与隔离电源电路(5)的输出端相连，所述隔离基准电压电路(8)的输出端用于输出基准电压。
2.根据权利要求1所述的用于电子束曝光机的电源系统，其特征在于，所述输入电源保护电路(1)包括依次连接的雷击浪涌保护电路(11)、共模抑制电路(12)、防反接电路(13)、过压保护电路(14)和滤波电路(15)。
3.根据权利要求2所述的用于电子束曝光机的电源系统，其特征在于，所述共模抑制电路(12)包括共模电感。
4.根据权利要求1或2或3所述的用于电子束曝光机的电源系统，其特征在于，所述电压转换单元包括第一级电压转换电路(2)和第二级电压转换电路(3)，所述第一级电压转换电路(2)的输入端与输入电源保护电路(1)的输出端相连，所述第二级电压转换电路(3)的输入端与所述第一级电压转换电路(2)的输出端相连。
5.根据权利要求4所述的用于电子束曝光机的电源系统，其特征在于，所述第一级电压转换电路(2)和第二级电压转换电路(3)均为dc-dc降压电路。
6.根据权利要求1或2或3所述的用于电子束曝光机的电源系统，其特征在于，还包括电源监测电路(4)，所述电源监测电路(4)的输入端与输入电源保护电路(1)的输出端相连，用于将输入电源保护电路(1)输出的电压值进行缩小，并将缩小后的值直接给到采集系统进行检测。
7.根据权利要求6所述的用于电子束曝光机的电源系统，其特征在于，所述电源监测电路(4)为运算放大器。
8.根据权利要求1或2或3所述的用于电子束曝光机的电源系统，其特征在于，所述降压转换单元包括隔离一级降压转换电路(6)和隔离二级降压转换电路(7)，所述隔离一级降压转换电路(6)的输入端与隔离电源电路(5)的输出端相连，所述隔离一级降压转换电路(6)的输出端与隔离二级降压转换电路(7)的输入端相连。
9.根据权利要求8所述的用于电子束曝光机的电源系统，其特征在于，所述隔离一级降压转换电路(6)和隔离二级降压转换电路(7)均为线性稳压器。
10.根据权利要求1或2或3所述的用于电子束曝光机的电源系统，其特征在于，所述隔离基准电压电路(8)为基准电压器。
