本申请涉及光伏，具体而言，涉及一种石墨舟片、石墨舟及镀膜设备。
背景技术：
1、镀膜工序是生产太阳能电池中的重要工序。在镀膜工序中，需要将硅片插放入石墨舟的舟片的间隙内，并通过舟片上的多个卡点同时将硅片固定于舟片的表面，然后将石墨舟放置于镀膜设备的镀膜腔内，对镀膜腔内进行抽真空处理，然后借助微波或射频等使气体电离，形成等离子体，采用等离子体增强化学的气相沉积(pecvd)方式在硅片表面上形成沉积薄膜层。
2、在镀膜过程中，硅片始终与卡点接触，易导致硅片与卡点接触的区域的薄膜层的厚度相对于硅片其余位置的薄膜层的厚度较薄，在硅片表面的与卡点接触的区域形成卡点印，会引起el不良，影响电池片的品质。
技术实现思路
1、本申请的目的在于提供一种石墨舟片、石墨舟及镀膜设备，其旨在改善现有的石墨舟的舟片上存在卡点而导致的硅片表面形成的薄膜层厚度不一致的技术问题。
2、第一方面，本申请提供了一种石墨舟片，石墨舟片包括舟片本体；沿舟片本体的长度方向，舟片本体的表面具有多个间隔设置的放置区域，放置区域用于放置硅片；放置区域设置有吸附孔，舟片本体的内部具有通道，通道与吸附孔连通，通道用于与负压装置或吹气装置连通，以使吸附孔能够对位于放置区域的硅片产生吸力或吹力。
3、本申请提供的石墨舟片中，舟片本体内部的通道与硅片放置区域处的吸附孔连通；在石墨舟进入镀膜腔内之前，将舟片本体内部的通道与外界负压装置连通，可以使得硅片放置区域内的吸附孔处产生吸力，当使用机械手等机构将硅片移动至放置区域处时，吸附孔产生的吸力可以吸附硅片，进而使得硅片固定于舟片本体的表面；当镀膜结束之后，将舟片本体内部的通道与外界吹气装置连通，可以使得吸附孔对位于放置区域的硅片产生吹力，进而便于机械手等机构将硅片从舟片本体上卸取。
4、因此，本申请提供的石墨舟片无需借助卡点实现硅片固定于舟片本体的表面，可解决硅片与卡点接触而导致的“硅片与卡点接触的区域的薄膜层的厚度相对于硅片其余位置的薄膜层的厚度较薄”的技术问题，可减少el不良，提供电池片的品质。
5、结合第一方面，在本申请可选的实施方式中，放置区域设置有凹槽，凹槽的槽底壁设置有多个贯穿槽底壁的通孔，槽底壁的内部具有与通道连通的腔室，吸附孔设置于槽底壁的朝向槽口的一侧且与腔室连通。
6、上述技术方案中，凹槽的槽底壁设置有多个贯穿槽底壁的通孔，不仅可以使得石墨舟在镀膜腔内的真空环境下可以通过通孔对硅片产生吸力，进一步提高硅片在舟片本体上的固定效果；且凹槽的设置，可减少硅片与舟片本体的接触面积，有利于避免硅片与舟片本体的接触面积较大、硅片受热较多而引起硅片的翘曲或破裂等。
7、结合第一方面，在本申请可选的实施方式中，舟片本体的舟耳处设置有用于与负压装置或吹气装置连接的连接孔，连接孔与通道连通。
8、上述技术方案中，石墨舟片可与“具有卡接槽，且卡接槽的壁体上设置有贯穿壁体的对接孔”的石墨块配合以组装成石墨舟，舟耳卡设于石墨块的卡接槽内，且舟片本体内部的通道与对接孔连通，将对接孔与外界负压装置或吹气装置连通，便于实现石墨舟片上的吸附孔能够对位于放置区域的硅片产生吸力或吹力，便于装卸硅片于舟片本体的表面。
9、结合第一方面，在本申请可选的实施方式中，连接孔位于舟片本体的长度方向的端部。
10、结合第一方面，在本申请可选的实施方式中，连接孔和通道的数量均为多个，一个连接孔通过一个通道与一个放置区域处的腔室连通。
11、上述技术方案中，可实现分别控制每个放置区域处的吸附孔产生吹力或吸力，提高操作的灵活性。
12、结合第一方面，在本申请可选的实施方式中，每个放置区域内的吸附孔的数量均为多个。
13、上述技术方案中，多个吸附孔可同时对硅片吸附，可进一步提高硅片在舟片本体上的固定效果。
14、结合第一方面，在本申请可选的实施方式中，每个放置区域内，一个吸附孔设置于放置区域的中心，其余吸附孔绕放置区域的中心间隔设置。
15、上述技术方案中，多个吸附孔可同时对硅片吸附，且硅片所受的吸附力的分布较为均衡，有利于避免硅片所受的吸附力分布不均衡而导致硅片的破损。
16、第二方面，本申请提供一种石墨舟，石墨舟包括连接杆、多个石墨块和多个如上述第一方面任一项提供的石墨舟片；石墨块上具有卡接槽，一个石墨舟片的舟耳卡设于一个卡接槽内；连接杆同时穿过多个石墨块以及多个舟耳，以将多个石墨舟片依次连接。
17、本申请提供的石墨舟由于采用上述第一方面提供的不具有卡点的石墨舟片，可解决硅片与卡点接触而导致的“硅片与卡点接触的区域的薄膜层的厚度相对于硅片其余位置的薄膜层的厚度较薄”的技术问题，可减少el不良，提供电池片的品质。
18、结合第二方面，在本申请可选的实施方式中，卡接槽的壁体上设置有贯穿壁体的对接孔，对接孔用于与负压装置或吹气装置连通；舟耳处设置有连接孔，连接孔与通道连通，且连接孔与对接孔连通。
19、上述技术方案中，舟耳卡设于石墨块的卡接槽内，且贯穿卡接槽的壁体的对接孔与连接孔连通，将对接孔与外界负压装置或吹气装置连通后，便于实现吸附孔能够对位于放置区域的硅片产生吸力或吹力。
20、第三方面，本申请提供一种镀膜设备，镀膜设备包括镀膜腔和用于放置于镀膜腔内的如上述第二方面任一项提供的石墨舟。
1.一种石墨舟片，其特征在于，包括舟片本体；
2.根据权利要求1所述的石墨舟片，其特征在于，所述放置区域设置有凹槽，所述凹槽的槽底壁设置有多个贯穿所述槽底壁的通孔，所述槽底壁的内部具有与所述通道连通的腔室，所述吸附孔设置于所述槽底壁的朝向槽口的一侧且与所述腔室连通。
3.根据权利要求2所述的石墨舟片，其特征在于，所述舟片本体的舟耳处设置有用于与所述负压装置或所述吹气装置连接的连接孔，所述连接孔与所述通道连通。
4.根据权利要求3所述的石墨舟片，其特征在于，所述连接孔位于所述舟片本体的长度方向的端部。
5.根据权利要求3所述的石墨舟片，其特征在于，所述连接孔和所述通道的数量均为多个，一个所述连接孔通过一个所述通道与一个所述放置区域处的所述腔室连通。
6.根据权利要求1-5中任一项所述的石墨舟片，其特征在于，每个所述放置区域内的所述吸附孔的数量均为多个。
7.根据权利要求6所述的石墨舟片，其特征在于，每个所述放置区域内，一个所述吸附孔设置于所述放置区域的中心，其余所述吸附孔绕所述放置区域的中心间隔设置。
8.一种石墨舟，其特征在于，所述石墨舟包括连接杆、多个石墨块和多个如权利要求1-7中任一项所述的石墨舟片；
9.根据权利要求8所述的石墨舟，其特征在于，所述卡接槽的壁体上设置有贯穿所述壁体的对接孔，所述对接孔用于与所述负压装置或所述吹气装置连通；
10.一种镀膜设备，其特征在于，包括镀膜腔和用于放置于所述镀膜腔内的如权利要求8或9所述的石墨舟。
