本技术涉及蓝宝石晶片的加工领域，具体是一种notch晶片a向偏分测量装置。
背景技术：
1、蓝宝石单晶材料作为现代工业重要的基础材料，其在化学、机械、光学、电学、表面特性、热力学以及耐久性等方面，均具有优越特性。由于蓝宝石具有生产技术成熟、器件质量较好；化学稳定性好，能够运用于高温生长过程中；并且机械强度高，易于处理和清洗的特点。同时，在紫外、红外、可见光、微波波段均有良好的透过率，所以蓝宝石晶体材料被广泛应用于led衬底材料、各类消费类电子产品、高强度激光、智能穿戴设备、航空航天及大规模集成电路等领域。
2、近几年来，由于oled、qled、mini led及micro led等显示技术的陆续出现，使得集成电路芯片封装技术向更小型化、更高密度、更高性能、更多功能的方向发展，对应的晶圆片质量要求也随之提高。因此，开展蓝宝石晶片的高质量加工技术的研发成为目前发展的必要任务。
3、蓝宝石晶片的切割技术主要是针对由蓝宝石晶棒到蓝宝石晶片的转化。高质量的蓝宝石衬底片，不仅需要其平坦度各项数值符合一定的要求，对于晶向标准也有严格的条件限制。下料晶片晶向的集中性，也是一个重要的衡量晶片质量的参考项目。由此，切割下料的蓝宝石晶片，各项晶片晶向测量结果显得尤为重要。目前的切割下料晶片晶向测量设备仅能够测量平边晶片a向偏差角度，无法便捷、简单地测量notch晶片a向角度，它特有的外观形状无法使用现有的测量设备完成a向定位边测量角度确认，需要增加位置固定装置，便于精准测量和真实反馈待测量晶片角度。
技术实现思路
1、本实用新型为了实现蓝宝石notch晶片切割下料后a向偏差角度的精准测量和结果反馈，提高下料蓝宝石晶片质量水平，提高产品竞争力，提供了一种能够真实反馈蓝宝石的notch晶片a向偏分测量装置。
2、本实用新型的目的是这样实现的：它包括设置在x射线定向仪上的射线发射装置、射线接收装置和蓝宝石晶片测量托盘，蓝宝石晶片测量托盘包括测量托盘、蓝宝石notch晶片缺口定位装置和可折叠收缩晶片测量托盘手臂；射线发射装置包括设置在一个固定的射线发射角度上的可以控制发射和关闭的开关；射线接收装置包括射线接收装置和可调整不同角度的角度调节模块；蓝宝石notch晶片缺口定位装置的边缘大小适配待测量晶片，底部设计有与notch晶片缺口相匹配的用来给待测量notch晶片定位的“角状”凸起；射线发射装置与待测量晶片豁口对面的a向形成直线位置设置；待测量晶片通过角度调节模块摆放在能够接收到射线的位置和角度上；可折叠收缩晶片测量托盘手臂包括可控制的折叠收缩结构和托盘手臂，托盘手臂通过折叠收缩结构连接测量托盘和蓝宝石notch晶片缺口定位装置。
3、本实用新型还有这样一些技术特征：
4、1、所述的测量托盘上设置有用于定位蓝宝石晶片的贴合孔槽，待测量的蓝宝石notch晶片固定在定位孔槽上；
5、2、所述的蓝宝石notch晶片缺口定位装置的“角状”凸起与测量托盘上的贴合孔槽匹配设置；
6、3、所述的开关是发射装置上的一个挡板，将挡板打开光线射出，将挡板闭合光线被阻隔发射，起到打开和关闭射线作用。打开开关，控制射线照射到待测量蓝宝石晶片的固定位置上；
7、4、所述的角度调节模块位于整体装置下部，包括标有不同位置刻度的圆盘和用来测量蓝宝石晶片不同晶向标准的偏差角度的手动旋转装置；本项目主要使用其测量蓝宝石晶片a向偏分；
8、5、所述的折叠收缩结构包括相互连接的锁铰结构、自锁结构和节点预压弹簧结构、控制按钮，折叠收缩结构通过控制按钮完成收缩回收模式和伸缩复位模式切换。
9、本实用新型改进现有晶向测量定向仪上晶片测量托盘结构，按照待测量蓝宝石notch晶片外观尺寸和形状，重新设计改进测量工具。将定位器设计成可灵活更换的、大小不同尺寸的、匹配不同规格的切割加工产品。本实用新型改进现有的晶片测量设备，新增待测量晶片角度调节模块。改造后的设备能够精准定位待测量蓝宝石notch晶片摆放角度。将发射出的射线光精准地照射在待测量蓝宝石notch晶片的圆弧a向定点上，利用x射线定向仪微安表读数，将蓝宝石notch晶片的a向偏差角真实地反馈出来。
10、本实用新型与现有技术相比的优点在于：
11、(1)利用操作者熟悉的晶片晶向测量定向仪测量蓝宝石notch晶片晶向。改变原有设备由于待测量蓝宝石notch晶片外观形状变化而无法定位测量位置的既有现状，通过重新设计的蓝宝石晶片测量托盘，实现精准定位，真实反馈蓝宝石notch晶片晶向偏差角度。
12、(2)利用加装改进的可折叠收缩晶片测量托盘手臂，连接晶片托盘和蓝宝石notch晶片缺口定位装置。可以在测量蓝宝石notch晶片需要定位的时候方便快捷悬停在理想的位置，定位蓝宝石notch晶片测量角度和位置。同时，在测量蓝宝石平边晶片需要改动时，通过控制开关将其回收到一旁角落位置，不影响蓝宝石平边晶片测量。实现不同外观蓝宝石晶片无差别切换测量，方便操作。
13、(3)利用蓝宝石notch晶片缺口定位装置，在已经确认测量位置的条件下，上述装置能够确认待测量蓝宝石notch晶片的测量角度。在蓝宝石notch晶片豁口对面的圆弧位置确认一个点，实现待测量蓝宝石notch晶片的a向a轴精准确认，使测量结果更加真实可信。
1.一种notch晶片a向偏分测量装置，包括设置在x射线定向仪上的射线发射装置、射线接收装置和蓝宝石晶片测量托盘，其特征在于蓝宝石晶片测量托盘包括设置在x射线定向仪上的射线发射装置、射线接收装置和蓝宝石晶片测量托盘，蓝宝石晶片测量托盘包括测量托盘、蓝宝石notch晶片缺口定位装置和可折叠收缩晶片测量托盘手臂；射线发射装置包括设置在一个固定的射线发射角度上的可以控制发射和关闭的开关；射线接收装置包括射线接收装置和可调整不同角度的角度调节模块；蓝宝石notch晶片缺口定位装置的边缘大小适配待测量晶片，底部设计有与notch晶片缺口相匹配的用来给待测量notch晶片定位的“角状”凸起；射线发射装置与待测量晶片豁口对面的a向形成直线位置设置；待测量晶片通过角度调节模块摆放在能够接收到射线的位置和角度上；可折叠收缩晶片测量托盘手臂包括可控制的折叠收缩结构和托盘手臂，托盘手臂通过折叠收缩结构连接测量托盘和蓝宝石notch晶片缺口定位装置。
2.根据权利要求1所述的notch晶片a向偏分测量装置，其特征在于：所述的测量托盘上设置有用于定位蓝宝石晶片的贴合孔槽，待测量的蓝宝石notch晶片固定在定位孔槽上。
3.根据权利要求2所述的一种notch晶片a向偏分测量装置，其特征在于：所述的蓝宝石notch晶片缺口定位装置的“角状”凸起与测量托盘上的贴合孔槽匹配设置。
4.根据权利要求3所述的一种notch晶片a向偏分测量装置，其特征在于：所述的开关是发射装置上的一个挡板，将挡板打开光线射出，将挡板闭合光线被阻隔发射，起到打开和关闭射线作用；打开开关，控制射线照射到待测量蓝宝石晶片的固定位置上。
5.根据权利要求4所述的一种notch晶片a向偏分测量装置，其特征在于：所述的角度调节模块位于整体装置下部，包括标有不同位置刻度的圆盘和用来测量蓝宝石晶片不同晶向标准的偏差角度的手动旋转装置；本项目主要使用其测量蓝宝石晶片a向偏分。
6.根据权利要求5所述的一种notch晶片a向偏分测量装置，其特征在于：所述的折叠收缩结构包括相互连接的锁铰结构、自锁结构和节点预压弹簧结构、控制按钮，折叠收缩结构通过控制按钮完成收缩回收模式和伸缩复位模式切换。
