本技术涉及晶圆加工，特别是涉及一种晶圆镜检治具及晶圆镜检工作台。
背景技术：
1、晶圆镜检是晶圆生产过程中的必要环节，现有的晶圆镜检包括人工目视检测和机器视觉图像检测等检测方式，其中人工目视检测需要检测人员手持晶圆查看其上的可视缺陷，随着半导体产量的增加，晶圆镜检的工作量也会增加，检测人员在进行镜检时采用手动取放晶圆频率增高，作业时间长会产生疲劳进而增加晶圆从检测人员手中掉落的几率，造成晶圆的良品率下降，同时检测人员的工作效率也会随着疲劳的积累而下降，而在镜检时采用治具承载晶圆的方式代替检测人员手持晶圆的方式能有效降低检测人员的疲劳，但现有技术中晶圆镜检治具多为自动化设备，其工作依托于大型的自动化晶圆检测系统，不适合人工镜检，而手动的晶圆镜检治具普遍存在稳定性差容易造成晶圆跌落和碰撞、挤压晶圆导致晶圆损坏等问题，导致晶圆良品率下降。
2、因此亟须一种适用于人工镜检的晶圆镜检治具，提高晶圆镜检治具的稳定性、避免晶圆遭到挤压。
技术实现思路
1、本发明的目的是提供一种晶圆镜检的治具，以解决上述现有技术存在的问题，使晶圆能安全、稳定地放置在治具上，避免晶圆跌落，降低检测人员在晶圆镜检过程中的疲劳，保证检测人员的工作效率。
2、为实现上述目的，本发明提供了如下方案：
3、本实用新型提供一种晶圆镜检治具，包括底座、支架和卡夹，所述支架为两个，所述卡夹安装在两个所述支架之间，其特征在于：所述卡夹为短u型，所述卡夹内侧设置有容纳晶圆的凹槽，所述凹槽的尺寸与所述晶圆相匹配，所述卡夹与所述支架间设置具有悬停功能的旋转装置，至少一个所述支架的外侧设置螺丝旋钮，所述螺丝旋钮具有锁死卡夹的功能。
4、优选的，所述旋转装置可以包括橡胶垫和转轴，所述橡胶垫设置在所述卡夹与所述支架之间，并且分别与所述卡夹和所述支架接触，所述卡夹的两端通过转轴安装在所述支架上，至少一个所述转轴的一端伸出所述支架，所述螺丝旋钮安装在所述转轴伸出的一端上。
5、优选的，所述旋转装置还可以为铰链，所述卡夹的两端通过所述铰链安装在所述支架上，至少一个所述铰链的一端伸出所述支架，所述螺丝旋钮安装在所述铰链伸出的一端上。
6、优选的，所述旋转装置还可以包括阻尼轴承和转轴，所述阻尼轴承安装在所述支架上，所述卡夹的两端分别通过转轴安装在所述阻尼轴承上，至少一个所述转轴的一端伸出支架，所述螺丝旋钮安装在所述转轴伸出的一端上。
7、优选的，所述卡夹为pp材质。
8、优选的，所述卡夹与支架间的夹角范围为0°-90°。
9、本实用新型号公开了一种包含晶圆镜检治具的晶圆镜检工作台，所述晶圆镜检工作台还包括工作台面和灯具，所述灯具的一端固定在所述晶圆镜检工作台的所述工作台面上。
10、优选的，所述晶圆检测治具放置在工作台面上，且所述灯具放正对所述卡夹。
11、优选的，所述灯具为伸缩式灯具，所述伸缩式灯具包括伸缩杆和安装在所述伸缩杆一端的电筒，所述伸缩杆的另一端与所述工作台面固定连接。
12、优选的，所述工作台面呈矩形，所述伸缩杆的另一端固定于所述工作台面的一角上。
13、本实用新型相对于现有技术取得了以下技术效果：
14、1、本实用新型提出的一种晶圆镜检治具的卡夹尺寸与晶圆尺寸匹配，卡夹内侧的凹槽对晶圆形成有效限位，不对晶圆施加外力也能承载晶圆，不会造成晶圆边缘的损坏；
15、2、本实用新型中卡夹与支架间设置具有悬停功能的旋转装置，使得卡夹在没有被锁定时也能稳定地停滞在固定位置，不会自由旋转，保证放置晶圆过程中卡夹的稳定，避免卡夹自由转动产生振动损坏晶圆；
16、3、本实用新型中晶圆放置在卡夹后，只需转动卡夹至合适角度即可进行镜检，卡夹的转动角度有限制，不会出现晶圆从卡夹滑落的情况。
1.一种晶圆镜检治具，包括底座、支架和卡夹，所述支架设置在底座上，所述支架为两个，所述卡夹安装在两个所述支架之间，其特征在于：所述卡夹为短u型，所述卡夹内侧设置有容纳晶圆的凹槽，所述凹槽的尺寸与所述晶圆相匹配，所述卡夹与所述支架间设置具有悬停功能的旋转装置，至少一个所述支架的外侧设置螺丝旋钮，所述螺丝旋钮具有锁死卡夹的功能。
2.根据权利要求1所述的晶圆镜检治具，其特征在于：所述旋转装置包括橡胶垫和转轴，所述橡胶垫设置在所述卡夹与所述支架之间，并且分别与所述卡夹和所述支架接触，所述卡夹的两端通过转轴安装在所述支架上，至少一个所述转轴的一端伸出所述支架，所述螺丝旋钮安装在所述转轴伸出的一端上。
3.根据权利要求1所述的晶圆镜检治具，其特征在于：所述旋转装置为铰链，所述卡夹的两端通过所述铰链安装在所述支架上，至少一个所述铰链的一端伸出所述支架，所述螺丝旋钮安装在所述铰链伸出的一端上。
4.根据权利要求1所述的晶圆镜检治具，其特征在于：所述旋转装置包括阻尼轴承和转轴，所述阻尼轴承安装在所述支架上，所述卡夹的两端分别通过转轴安装在所述阻尼轴承上，至少一个所述转轴的一端伸出支架，所述螺丝旋钮安装在所述转轴伸出的一端上。
5.根据权利要求1所述的晶圆镜检治具，其特征在于：所述卡夹为pp材质。
6.根据权利要求1-5任一项所述的一种晶圆镜检治具，其特征在于：所述卡夹与所述支架间的夹角范围为0°-90°。
7.一种包含权利要求1-6任一项所述的晶圆镜检治具的晶圆镜检工作台，其特征在于：所述晶圆镜检工作台还包括工作台面和灯具，所述灯具的一端固定在所述晶圆镜检工作台的所述工作台面上。
8.根据权利要求7所述的晶圆镜检工作台，其特征在于：所述晶圆检测治具放置在工作台面上，且所述灯具正对所述卡夹。
9.根据权利要求7所述的晶圆镜检工作台，其特征在于：所述灯具为伸缩式灯具，所述伸缩式灯具包括伸缩杆和安装在所述伸缩杆一端的电筒，所述伸缩杆的另一端与所述工作台面固定连接。
10.根据权利要求9所述的晶圆镜检工作台，其特征在于：所述工作台面呈矩形，所述伸缩杆的另一端固定于所述工作台面的一角上。
