一种适用于不同样品的扫描电镜样品台

专利2025-01-19  44


本技术涉及扫描电镜样品台的,尤其涉及一种适用于不同样品的扫描电镜样品台。


背景技术:

1、扫描电子显微镜因其制样简单、图像分辨率高、易操作等特点,近年来,深受广大科研工作者喜爱,并被广泛应用于化学化工、生物医药、环保、金属材料等学科领域中,促进了各有关学科的交叉与发展。

2、样品台是扫描电子显微镜不可或缺的重要部件之一,它可以承载样品,并通过扫描中的光学系统成像对样品的局部特征进行表征。目前,市面上现有的扫描样品台多为单一固定式样品台,对样品类型的专一性要求较高,不能同时满足样品不同形貌、不同尺寸、不同角度的检测需求。


技术实现思路

1、针对现有技术的上述不足,本实用新型所要解决的技术问题在于,提出一种适用于不同样品的扫描电镜样品台,可以适用于不同样品,增加其适用性。

2、本实用新型解决其技术问题采用的技术方案是一种适用于不同样品的扫描电镜样品台,包括:

3、支撑座,其顶面设为一支撑面;

4、外壳,其活动套设在所述支撑座的外侧,所述外壳的内壁与所述支撑面合围形成一用于放置待测样品的放置空间,所述外壳可沿所述支撑座上升或下降,以调节所述放置空间的高度;

5、夹持件,其活动设置在所述外壳上,所述夹持件可向所述外壳中心运动以夹持待测样品。

6、据上所述的一种适用于不同样品的扫描电镜样品台,所述支撑座的外侧设有外螺纹,所述外壳中部设有一通孔,所述通孔的内壁上设有内螺纹,所述内螺纹与所述外螺纹啮合。

7、据上所述的一种适用于不同样品的扫描电镜样品台,所述支撑座与所述外壳均呈圆柱状,所述通孔设为圆孔。

8、据上所述的一种适用于不同样品的扫描电镜样品台,还包括压紧件,所述压紧件包括固定圆环,所述固定圆环的底面可与所述夹持件的顶面抵接,以固定所述夹持件。

9、据上所述的一种适用于不同样品的扫描电镜样品台,所述压紧件还包括螺栓,所述螺栓的螺杆段可与所述外壳啮合;所述螺栓的螺帽位于所述固定圆环的上侧,并可与所述固定圆环的顶面抵接。

10、据上所述的一种适用于不同样品的扫描电镜样品台,所述外壳上设有螺纹孔,所述固定圆环上设有安装孔,所述安装孔与所述螺纹孔连通;

11、所述螺栓的螺杆段可穿过所述安装孔与所述螺纹孔啮合。

12、据上所述的一种适用于不同样品的扫描电镜样品台,所述夹持件包括至少两块夹持板,两块所述夹持板分别设置在所述外壳对称的两侧,且所述夹持板上设有呈狭长状的导向槽,所述螺栓穿过所述导向槽。

13、据上所述的一种适用于不同样品的扫描电镜样品台,所述导向槽的开口朝向所述外壳的中心。

14、据上所述的一种适用于不同样品的扫描电镜样品台,所述外壳上设有一连通所述放置空间的观察窗。

15、据上所述的一种适用于不同样品的扫描电镜样品台,所述支撑座底部设有一连接孔,所述连接孔用于将所述支撑座安装至所述电镜上。

16、与现有技术相比,本实用新型至少具有以下有益效果:

17、1、通过支撑座和外壳之间的螺纹啮合连接,可以调节外壳的高度,进而调节放置空间的高度,适用于不同尺寸以及形貌的样品;

18、2、利用两块夹持板能对位于支撑座上的样品进行进一步的夹持固定,可以提高其稳定性;

19、3、可通过观察窗观察位于放置空间内的样品,可以更清楚观察到待测样品,便于调节样品。



技术特征:

1.一种适用于不同样品的扫描电镜样品台,其特征在于,包括:

2.根据权利要求1所述的一种适用于不同样品的扫描电镜样品台,其特征在于,所述支撑座的外侧设有外螺纹,所述外壳中部设有一通孔,所述通孔的内壁上设有内螺纹,所述内螺纹与所述外螺纹啮合。

3.根据权利要求2所述的一种适用于不同样品的扫描电镜样品台,其特征在于,所述支撑座与所述外壳均呈圆柱状,所述通孔设为圆孔。

4.根据权利要求1所述的一种适用于不同样品的扫描电镜样品台,其特征在于,还包括压紧件,所述压紧件包括固定圆环,所述固定圆环的底面可与所述夹持件的顶面抵接,以固定所述夹持件。

5.根据权利要求4所述的一种适用于不同样品的扫描电镜样品台,其特征在于,所述压紧件还包括螺栓,所述螺栓的螺杆段可与所述外壳啮合;所述螺栓的螺帽位于所述固定圆环的上侧,并可与所述固定圆环的顶面抵接。

6.根据权利要求5所述的一种适用于不同样品的扫描电镜样品台,其特征在于,所述外壳上设有螺纹孔,所述固定圆环上设有安装孔,所述安装孔与所述螺纹孔连通;

7.根据权利要求6所述的一种适用于不同样品的扫描电镜样品台,其特征在于,所述夹持件包括至少两块夹持板,两块所述夹持板分别设置在所述外壳对称的两侧,且所述夹持板上设有呈狭长状的导向槽,所述螺栓穿过所述导向槽。

8.根据权利要求7所述的一种适用于不同样品的扫描电镜样品台,其特征在于,所述导向槽的开口朝向所述外壳的中心。

9.根据权利要求1所述的一种适用于不同样品的扫描电镜样品台,其特征在于,所述外壳上设有一连通所述放置空间的观察窗。

10.根据权利要求1所述的一种适用于不同样品的扫描电镜样品台,其特征在于,所述支撑座底部设有一连接孔,所述连接孔用于将所述支撑座安装至所述电镜上。


技术总结
本技术公开了一种适用于不同样品的扫描电镜样品台,包括:支撑座,其顶面设为一支撑面;外壳,其活动套设在所述支撑座的外侧,所述外壳的内壁与所述支撑面合围形成一用于放置待测样品的放置空间,所述外壳可沿所述支撑座上升或下降,以调节所述放置空间的高度;夹持件,其活动设置在所述外壳上,所述夹持件可向所述外壳中心运动以夹持待测样品;通过支撑座和外壳之间的螺纹啮合连接,可以调节外壳的高度,进而调节放置空间的高度,适用于不同尺寸以及形貌的样品;利用两块夹持板能对位于支撑座上的样品进行进一步的夹持固定,可以提高其稳定性。

技术研发人员:李子厚,吴爱国,李娟,李顺祥,姚俊列
受保护的技术使用者:中国科学院宁波材料技术与工程研究所
技术研发日:20220627
技术公布日:2024/6/26
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