一种电子级化学试剂纯化装置的制作方法

专利2025-02-02  47


本技术涉及化学试剂纯化设备,尤其涉及一种电子级化学试剂纯化装置。


背景技术:

1、电子级化学试剂,又称工艺化学品,是超大规模集成电路制作过程中的关键性基础化工材料之一。超纯电子级n-甲基甲酰胺,二甘醇胺、二甲基乙酰胺、二甲基亚砜等都是微电子化学试剂中很重要的品种,已广泛用于半导体元件的生产、超大龟毛集成电路装配以及加工过程中的清洗、腐蚀等方面。近年来由于it工业的迅速发展,对所用化学试剂纯度要求越来越高,特别是随着集成电路的尺寸向微小化和处理向高速化方向发展,对电子级化学品的纯度提出了更为苛刻的要求。

2、但是现有技术在制备过程中难免会混入一定的杂质,会影响到成品的纯度,同时现有技术在使用时,过滤网拆卸不便,使得在长时间的使用下过滤网孔易堵塞,从而导致分离效率低下的问题。因此,本领域技术人员提供了一种电子级化学试剂纯化装置,以解决上述背景技术中提出的问题。


技术实现思路

1、本实用新型的目的是为了解决现有技术中存在的缺点,而提出的一种电子级化学试剂纯化装置,通过设置的搅拌以及实时监测结构进而可以达到更好的纯化作用,从而提高纯化效率,同时通过设置的可便利装卸的过滤结构则可以达到高稳定的过滤作用,从而避免因过滤网孔堵塞而导致的分离效率低下的问题,具有更好的使用性。

2、为实现上述目的,本实用新型提供了如下技术方案:

3、一种电子级化学试剂纯化装置,包括分离箱和蒸馏箱,所述分离箱的内部上端面中心处转动连接有主动转动杆,所述分离箱的内部上端面两侧均转动连接有从动转动杆,所述主动转动杆的两侧外壁均固定连接有多个主打散杆,两个所述从动转动杆的两侧外壁均固定连接有多个辅助打散杆,所述分离箱的内壁中部处固定套设有分隔板,所述分隔板的内部固定套设有传导筒,所述分离箱的一侧内壁靠上处固定设置有ph值传感器,所述分离箱的前端面两侧靠上处分别固定设置有信号分析器和总控制器,所述分离箱的前端面固定设置有酸性指示灯、碱性指示灯和中性指示灯,所述ph值传感器、信号分析器、总控制器、酸性指示灯、碱性指示灯和中性指示灯之间电性连接;

4、所述分离箱的两侧内壁靠下处均开设有限位滑槽,两个所述限位滑槽内均固定套设有密封圈,两个所述限位滑槽内均滑动设置有限位滑块,两个所述限位滑块之间固定连接有过滤网架,所述过滤网架的内部靠上下处分别固定连接有初级过滤网和杂质高级过滤网,所述过滤网架的前端面固定连接有密封门,所述密封门的前端面中心处固定连接有把手,所述密封门的前端面两侧均固定连接有限位垫,所述分离箱的前端面两侧靠下处均固定连接有固定筒,两个所述固定筒的相对一侧均开设有活动槽,两个所述活动槽的一侧内壁均固定连接有复位弹簧,两个所述复位弹簧的相对一端均固定连接有限位头,两个所述限位头分别与对应的限位垫接触设置;

5、通过上述技术方案,在主打散杆和辅助打散杆同步工作的作用下,使得溶液与沉淀试剂进行快速接触,从而达到沉淀试剂中的成分与溶液中的杂质成分迅速的发生化学反应并形成絮状沉淀物的目的,同时通过在纯化内设置的ph值传感器进行实时监测,当ph值传感器检测到内部絮状沉淀物的ph值发生变化时,将信号发送至信号分析器中,信号分析器进行数据分析并将信号发送至总控制器中,使得总控制器根据数据分析的情况达到对酸性指示灯、碱性指示灯和中性指示灯控制亮灭的作用,即化学试剂存在硫酸根会呈现酸性,当碱性沉淀试剂加入时会对试剂进行酸碱中和反应,当混合试剂中和后,即试剂内的杂质均已完成化学反应变为絮状沉淀物,从而达到纯化的目的,通过设置的初级过滤网和杂质高级过滤网进而可以达到对杂质与纯净试剂分离的作用,进而提高产物的纯度产量和效率,同时通过限位滑块在限位滑槽内的滑动设置进而可以达到的对过滤网架更好的契合作用,从而达到稳定限制的作用,同时通过在限位滑槽内设置的密封圈则可以达到更好的密封作用,避免杂质的渗出,通过对限位头的按动使得限位头带复位弹簧压缩,进而使得限位头移动至活动槽内,通过使得过滤网架摆脱限位头的束缚,可通过对把手的控制实现对过滤网架抽出更换的目的,从而避免因网孔堵塞而导致的分离效率低下的问题,在安装时只需将过滤网架插入,并松开限位头的使得限位头受到复位弹簧复位移动而带动,进而达到限位头对过滤网架再次限制的作用,从而达到更好的更换性和便利性。

6、进一步地,所述分离箱的上端面中心处固定设置有驱动电机,所述主动转动杆的上端贯穿分离箱并与驱动电机的输出端固定连接,所述主动转动杆的外壁靠上处固定套设有主动齿轮,两个所述从动转动杆的外壁靠上处均固定套设有从动齿轮,所述主动齿轮与两个从动齿轮均啮合设置;

7、通过上述技术方案,通过驱动电机工作带动主动转动杆转动,使得主动齿轮转动带动从动齿轮转动,进而达到对主动转动杆和从动转动杆同步转动的目的,在主打散杆和辅助打散杆同步工作的作用下,使得溶液与沉淀试剂进行快速接触。

8、进一步地,两个所述活动槽的上下端内壁均开设有辅助滑槽,两个所述限位头的上下端面均固定连接有辅助滑块,多个所述辅助滑块分别滑动设置在对应的辅助滑槽内;

9、通过上述技术方案,通过辅助滑块在辅助滑槽内的滑动设置进而可以达到对限位头更好的限位作用,从而达到稳定移动的目的。

10、进一步地,所述分离箱的前端面一侧中部处铰链设置有维修门,所述维修门的前端面一侧中部处固定连接有把杆;

11、通过上述技术方案,通过对把杆的有效控制进而可以达到对维修门启闭使用的目的。

12、进一步地,所述分离箱和蒸馏箱之间固定设置有传输泵,所述蒸馏箱的内部上端面固定连接有加热环,所述蒸馏箱的上端面一侧固定设置有蒸汽流通阀,所述蒸馏箱一侧靠下处固定连接有输出管,所述蒸馏箱的前端面一侧铰链设置有使用门,所述使用门的前端面中部靠上处固定连接有拉手;

13、通过上述技术方案,通过设置的加热环则可以达到更好的蒸馏作用。

14、进一步地,所述分隔板的上端面固定连接有导向盘;

15、通过上述技术方案,通过设置的导向盘则可以达到更好的快速导向流通的目的。

16、进一步地,所述分离箱的上端面中部靠后处固定连接有试剂投放筒,所述分离箱的上端面一侧中部处固定连接有沉淀辅助筒;

17、通过上述技术方案,通过设置的试剂投放筒和沉淀辅助筒则可以达到更好的辅助投料作用。

18、进一步地,所述主打散杆与辅助打散杆交错设置;

19、通过上述技术方案,通过主打散杆和辅助打散杆的交错设置,则可以达到高效搅拌的目的。

20、本实用新型具有如下有益效果:

21、1、本实用新型提出的一种电子级化学试剂纯化装置,通过设置的搅拌结构,即通过驱动电机工作带动主动转动杆转动,使得主动齿轮转动带动从动齿轮转动,进而达到对主动转动杆和从动转动杆同步转动的目的,在主打散杆和辅助打散杆同步工作的作用下,使得溶液与沉淀试剂进行快速接触,从而达到沉淀试剂中的成分与溶液中的杂质成分迅速的发生化学反应并形成絮状沉淀物的目的,同时通过在纯化内设置的ph值传感器进行实时监测,当ph值传感器检测到内部絮状沉淀物的ph值发生变化时,将信号发送至信号分析器中,信号分析器进行数据分析并将信号发送至总控制器中,使得总控制器根据数据分析的情况达到对酸性指示灯、碱性指示灯和中性指示灯控制亮灭的作用,即化学试剂存在硫酸根会呈现酸性,当碱性沉淀试剂加入时会对试剂进行酸碱中和反应,当混合试剂中和后,即试剂内的杂质均已完成化学反应变为絮状沉淀物,从而达到纯化的目的,具有更好的高效性和直观性。

22、2、本实用新型提出的一种电子级化学试剂纯化装置,通过设置的初级过滤网和杂质高级过滤网进而可以达到对杂质与纯净试剂分离的作用,进而提高产物的纯度产量和效率,同时通过限位滑块在限位滑槽内的滑动设置进而可以达到的对过滤网架更好的契合作用,从而达到稳定限制的作用,同时通过在限位滑槽内设置的密封圈则可以达到更好的密封作用,避免杂质的渗出,通过对限位头的按动使得限位头带复位弹簧压缩,进而使得限位头移动至活动槽内,通过使得过滤网架摆脱限位头的束缚,可通过对把手的控制实现对过滤网架抽出更换的目的,从而避免因网孔堵塞而导致的分离效率低下的问题,在安装时只需将过滤网架插入,并松开限位头的使得限位头受到复位弹簧复位移动而带动,进而达到限位头对过滤网架再次限制的作用,从而达到更好的更换性和便利性。

23、3、本实用新型提出的一种电子级化学试剂纯化装置,通过设置的搅拌以及实时监测结构进而可以达到更好的纯化作用,从而提高纯化效率,同时通过设置的可便利装卸的过滤结构则可以达到高稳定的过滤作用,从而避免因过滤网孔堵塞而导致的分离效率低下的问题,具有更好的使用性。


技术特征:

1.一种电子级化学试剂纯化装置,包括分离箱(1)和蒸馏箱(2),其特征在于:所述分离箱(1)的内部上端面中心处转动连接有主动转动杆(4),所述分离箱(1)的内部上端面两侧均转动连接有从动转动杆(5),所述主动转动杆(4)的两侧外壁均固定连接有多个主打散杆(7),两个所述从动转动杆(5)的两侧外壁均固定连接有多个辅助打散杆(6),所述分离箱(1)的内壁中部处固定套设有分隔板(11),所述分隔板(11)的内部固定套设有传导筒(13),所述分离箱(1)的一侧内壁靠上处固定设置有ph值传感器(10),所述分离箱(1)的前端面两侧靠上处分别固定设置有信号分析器(26)和总控制器(27),所述分离箱(1)的前端面固定设置有酸性指示灯(28)、碱性指示灯(29)和中性指示灯(30),所述ph值传感器(10)、信号分析器(26)、总控制器(27)、酸性指示灯(28)、碱性指示灯(29)和中性指示灯(30)之间电性连接;

2.根据权利要求1所述的一种电子级化学试剂纯化装置,其特征在于:所述分离箱(1)的上端面中心处固定设置有驱动电机(3),所述主动转动杆(4)的上端贯穿分离箱(1)并与驱动电机(3)的输出端固定连接,所述主动转动杆(4)的外壁靠上处固定套设有主动齿轮(9),两个所述从动转动杆(5)的外壁靠上处均固定套设有从动齿轮(8),所述主动齿轮(9)与两个从动齿轮(8)均啮合设置。

3.根据权利要求1所述的一种电子级化学试剂纯化装置,其特征在于:两个所述活动槽(37)的上下端内壁均开设有辅助滑槽(41),两个所述限位头(39)的上下端面均固定连接有辅助滑块(40),多个所述辅助滑块(40)分别滑动设置在对应的辅助滑槽(41)内。

4.根据权利要求1所述的一种电子级化学试剂纯化装置,其特征在于:所述分离箱(1)的前端面一侧中部处铰链设置有维修门(31),所述维修门(31)的前端面一侧中部处固定连接有把杆(32)。

5.根据权利要求1所述的一种电子级化学试剂纯化装置,其特征在于:所述分离箱(1)和蒸馏箱(2)之间固定设置有传输泵(14),所述蒸馏箱(2)的内部上端面固定连接有加热环(16),所述蒸馏箱(2)的上端面一侧固定设置有蒸汽流通阀(15),所述蒸馏箱(2)一侧靠下处固定连接有输出管(17),所述蒸馏箱(2)的前端面一侧铰链设置有使用门(33),所述使用门(33)的前端面中部靠上处固定连接有拉手(34)。

6.根据权利要求1所述的一种电子级化学试剂纯化装置,其特征在于:所述分隔板(11)的上端面固定连接有导向盘(12)。

7.根据权利要求1所述的一种电子级化学试剂纯化装置,其特征在于:所述分离箱(1)的上端面中部靠后处固定连接有试剂投放筒(24),所述分离箱(1)的上端面一侧中部处固定连接有沉淀辅助筒(25)。

8.根据权利要求1所述的一种电子级化学试剂纯化装置,其特征在于:所述主打散杆(7)与辅助打散杆(6)交错设置。


技术总结
本技术涉及化学试剂纯化设备技术领域,公开了一种电子级化学试剂纯化装置,包括分离箱和蒸馏箱,所述分离箱的内部上端面中心处转动连接有主动转动杆,所述分离箱的内部上端面两侧均转动连接有从动转动杆,所述主动转动杆的两侧外壁均固定连接有多个主打散杆,两个所述从动转动杆的两侧外壁均固定连接有多个辅助打散杆,所述分离箱的内壁中部处固定套设有分隔板。本技术中,通过设置的搅拌以及实时监测结构进而可以达到更好的纯化作用,从而提高纯化效率,同时通过设置的可便利装卸的过滤结构则可以达到高稳定的过滤作用,从而避免因过滤网孔堵塞而导致的分离效率低下的问题,具有更好的使用性。

技术研发人员:蒋丽君,张雷
受保护的技术使用者:上海势润电子材料有限公司
技术研发日:20231123
技术公布日:2024/6/26
转载请注明原文地址:https://doc.8miu.com/read-1815670.html

最新回复(0)