一种磨床定心扶正工装的制作方法

专利2025-02-19  42


本发明涉及自动化领域,特别涉及一种磨床定心扶正工装。


背景技术:

1、晶舟是用来储存、运送以及加工晶片的装置。因为晶圆越来越薄,属于易碎品,晶舟就是要起到保护晶圆在运输转移过程中不受破坏的作用。通常,晶舟被设计成至少可以承装一片晶片的结构,更明确地说,晶舟主要含有多个晶片放置槽,而每一个晶片放置槽可供放置一片晶片。晶舟在生产加工的时候对精度要求较高,晶舟的两端需要加工平整,若生产的晶舟存在误差则晶圆无法插入晶舟内,或是晶圆插入晶舟后,因晶舟存在误差而导致晶圆出现裂痕而报废。晶舟在加工时需要进行定心扶正后再进行打磨,以免打磨出现误差,但是现在加工晶舟的打磨时,还是通过固定工装进行固定后再经过手工测量并扶正后进行打磨,这种传动的方式不仅费时费力,还容易出现误差,难以满足现在对晶舟的高精度的加工需求,因此需要一种能够对晶舟进行定心扶正的工装。


技术实现思路

1、本发明要解决的技术问题是克服现有技术的缺陷,提供一种磨床定心扶正工装。

2、为了解决上述技术问题,本发明提供了如下的技术方案:

3、本发明一种磨床定心扶正工装,包括机架,所述机架的底部设有放置组件,所述放置组件用于放置晶舟,所述机架的后侧上设有定心组件,所述定心组件位于所述机架的中部,并位于所述放置组件的上方,所述机架左右两侧壁和后侧壁的顶端分别设有调节组件,所述调节组件用于对晶舟进行扶正。

4、作为本发明的一种优选技术方案,所述机架的左侧壁和右侧壁上均设有两个第一夹持组件,同一侧的两个所述第一夹持组件上下间隔设置,所述机架的后侧壁上设有两个第二夹持组件,两个所述第二夹持组件上下间隔设置,通过所述第一夹持组件和所述第二夹持组件对晶舟进行固定。

5、作为本发明的一种优选技术方案,所述机架内的上部设有柔性夹具,所述柔性夹具位于所述定心组件上方,且其支撑端朝上设置,用于在打磨时支撑晶舟的顶部。

6、作为本发明的一种优选技术方案,所述放置组件包括底座,所述底座设于所述机架内的底壁的中心处,所述底座上开有多个安装孔,每个所述安装孔内均设有支撑球头,所述支撑球头的底端通过弹簧与所述安装孔的底壁连接。

7、作为本发明的一种优选技术方案,所述安装孔有五个,并呈x型排列。

8、作为本发明的一种优选技术方案,所述调节组件包括活动板和两个定位螺丝,所述活动板滑动的设于所述机架的顶端,两个所述定位螺丝与所述机架的顶端的连接件螺纹连接,且两者的尾端与活动板的侧壁相接触,从而微调活动板的位置以对晶舟进行扶正。

9、所述第一夹持组件包括第一气缸和第一气动夹爪,所述机架的左侧壁和右侧壁上均设有所述第一气缸,所述第一气缸的活塞杆水平朝向所述机架内设置,并在其活塞杆的端部设置第一气动夹爪。

10、所述第二夹持组件包括第二气动夹爪,所述机架的后侧壁上设有所述第二气动夹爪。

11、所述定心组件包括第二气缸和定心球头,所述第二气缸设于所述底座的上方,且其活塞杆竖直朝向设置,并与所述底座中心线上的所述安装孔同轴,所述第二气缸通过连接架与所述机架的后侧壁连接,所述定心球头设于所述第二气缸的活塞杆的端部,所述定心球头和位于所述底座中心线上的所述支撑球头同轴。

12、与现有技术相比,本发明的有益效果如下:

13、该工装能够通过机架上的第一夹持组件和第二夹持组件改变晶舟在底座上的位置,以实现晶舟的定位,再通过定心组件为晶舟确定中心线,并根据该中心线进行定心,最后通过调节组件对晶舟进行微调固定,以便于对晶舟的端面进行打磨,通过该装置能快速的对晶舟进行定心扶正,从而解决了纯手工对晶舟进行,定心扶正速度慢误差大的问题,提高了晶舟加工的效率、精度和良品率。



技术特征:

1.一种磨床定心扶正工装,其特征在于,包括机架(1),所述机架(1)的底部设有放置组件(2),所述放置组件(2)用于放置晶舟(8),所述机架(1)的后侧上设有定心组件(3),所述定心组件(3)位于所述机架(1)的中部,并位于所述放置组件(2)的上方,所述机架(1)左右两侧壁和后侧壁的顶端分别设有调节组件(4),所述调节组件(4)用于对晶舟(8)进行扶正。

2.根据权利要求1所述的一种磨床定心扶正工装,其特征在于,所述机架(1)的左侧壁和右侧壁上均设有两个第一夹持组件(5),同一侧的两个所述第一夹持组件(5)上下间隔设置,所述机架(1)的后侧壁上设有两个第二夹持组件(6),两个所述第二夹持组件(6)上下间隔设置,通过所述第一夹持组件(5)和所述第二夹持组件(6)对晶舟(8)进行固定。

3.根据权利要求2所述的一种磨床定心扶正工装,其特征在于,所述机架(1)内的上部设有柔性夹具(7),所述柔性夹具(7)位于所述定心组件(3)上方,且其支撑端朝上设置,用于在打磨时支撑晶舟(8)的顶部。

4.根据权利要求3所述的一种磨床定心扶正工装,其特征在于,所述放置组件(2)包括底座(21),所述底座(21)设于所述机架(1)内的底壁的中心处,所述底座(21)上开有多个安装孔(22),每个所述安装孔(22)内均设有支撑球头(23),所述支撑球头(23)的底端通过弹簧与所述安装孔(22)的底壁连接。

5.根据权利要求4所述的一种磨床定心扶正工装,其特征在于,所述安装孔(22)有五个,并呈x型排列。

6.根据权利要求1-5任一项所述的一种磨床定心扶正工装,其特征在于,所述调节组件(4)包括活动板(41)和两个定位螺丝(42),所述活动板(41)滑动的设于所述机架(1)的顶端,两个所述定位螺丝(42)与所述机架(1)的顶端的连接件螺纹连接,且两者的尾端与活动板(41)的侧壁相接触,从而微调活动板(41)的位置以对晶舟(8)进行扶正。

7.根据权利要求6所述的一种磨床定心扶正工装,其特征在于,所述第一夹持组件(5)包括第一气缸(51)和第一气动夹爪(52),所述机架(1)的左侧壁和右侧壁上均设有所述第一气缸(51),所述第一气缸(51)的活塞杆水平朝向所述机架(1)内设置,并在其活塞杆的端部设置第一气动夹爪(52)。

8.根据权利要求6所述的一种磨床定心扶正工装,其特征在于,所述第二夹持组件(6)包括第二气动夹爪(61),所述机架(1)的后侧壁上设有所述第二气动夹爪(61)。

9.根据权利要求6所述的一种磨床定心扶正工装,其特征在于,所述定心组件(3)包括第二气缸(31)和定心球头(32),所述第二气缸(31)设于所述底座(21)的上方,且其活塞杆竖直朝向设置,并与所述底座(21)中心线上的所述安装孔(22)同轴,所述第二气缸(31)通过连接架与所述机架(1)的后侧壁连接,所述定心球头(32)设于所述第二气缸(31)的活塞杆的端部,所述定心球头(32)和位于所述底座(21)中心线上的所述支撑球头(23)同轴。


技术总结
本发明公开了一种磨床定心扶正工装,包括机架,机架的底部设有放置组件,放置组件用于放置晶舟,机架的后侧上设有定心组件,定心组件位于机架的中部,并位于放置组件的上方,机架左右两侧壁和后侧壁的顶端分别设有调节组件,调节组件用于对晶舟进行扶正。本发明是一种磨床定心扶正工装,该工装能够通过机架上的第一夹持组件和第二夹持组件改变晶舟在底座上的位置,以实现晶舟的定位,再通过定心组件为晶舟确定中心线,并根据该中心线进行定心,最后通过调节组件对晶舟进行微调固定,以便于对晶舟的端面进行打磨,通过该装置能快速的对晶舟进行定心扶正,从而解决了纯手工对晶舟进行,定心扶正速度慢误差大的问题。

技术研发人员:罗世江
受保护的技术使用者:罗世江
技术研发日:
技术公布日:2024/6/26
转载请注明原文地址:https://doc.8miu.com/read-1816489.html

最新回复(0)