一种半导体生产用夹装工作台的制作方法

专利2025-03-07  9


本技术涉及夹具,尤其涉及一种半导体生产用夹装工作台。


背景技术:

1、在常见的半导体机械加工时,需要使用固定夹具等固定半导体产品,用以夹稳加工半导体产品。

2、例如中国专利公开号cn216883567u公开了一种机械加工固定夹具,包括底板、固定板、驱动装置和联动夹持装置;中国专利公开号cn214560032u公开了一种机械加工件固定件夹.........达到了方便不同大小的加工件进行夹持,且方便对夹持中的加工件进行转动和定位的效果;

3、但上述方案中,在实际的对半导体元件进行夹持过程中,由于在使用夹具固定机械元件的过程中,夹持力过大可能造成半导体元件形变,半导体产品通常是脆性材料,如硅、硅基材料等。这些材料在受到不当的力或应力时容易破裂或损坏。发生功能损坏,导致零部件报废,使得加工废品率高。


技术实现思路

1、本实用新型提供了一种半导体生产用夹装工作台,以解决上述背景技术中提出机械元件容易被过大夹持力损伤的问题。

2、为了实现上述目的,本实用新型采用了如下技术方案:

3、一种半导体生产用夹装工作台,包括底板,所述底板的上侧固定连接有第一固定板和第二固定板,所述第一固定板和第二固定板之间转动连接有螺纹杆,所述螺纹杆的一端设有驱动装置,所述底板上侧通过滑动限位装置连接有夹持板,所述夹持板的侧壁上开设有螺纹孔,所述螺纹杆螺纹连接在螺纹孔内,所述夹持板靠近第一固定板的侧壁上设有多个压力传感器,所述第二固定板的侧壁上设有中央处理器,多个所述压力传感器的信号输出端均与中央处理器的信号输入端电连接。

4、作为本技术方案的进一步改进方案:所述驱动装置包括伺服电机,所述伺服电机固定连接在第二固定板的侧壁上,所述中央处理器的信号输出端与伺服电机的信号输入端电连接,所述伺服电机的输出轴固定连接有第一齿轮,所述第一齿轮啮合连接有第二齿轮,所述第二齿轮固定连接在螺纹杆上。

5、作为本技术方案的进一步改进方案:所述滑动限位装置包括两个滑轨槽和滑块,两个所述滑轨槽开设在底板的上侧,两个所述滑块分别固定连接在两个滑轨槽内。

6、作为本技术方案的进一步改进方案:所述第一固定板和夹持板相对的一侧分别固定连接有第一硅胶层和第二硅胶层,所述第二硅胶层抵在所有压力传感器的一侧。

7、作为本技术方案的进一步改进方案:多个所述压力传感器呈矩形阵列设置。

8、作为本技术方案的进一步改进方案:所述螺纹杆采用不锈钢材质。

9、与现有技术相比,本实用新型的有益效果是:

10、该装置设计合理,构思巧妙,能够在半导体产品被夹持到达受压临界值时,停止夹紧半导体产品,避免半导体产品过压损坏,避免零部件过压损坏。

11、上述说明仅是本实用新型技术方案的概述,为了能够更清楚了解本实用新型的技术手段,并可依照说明书的内容予以实施,以下以本实用新型的较佳实施例并配合附图详细说明如后。本实用新型的具体实施方式由以下实施例及其附图详细给出。



技术特征:

1.一种半导体生产用夹装工作台,包括底板(9),其特征在于,所述底板(9)的上侧固定连接有第一固定板(1)和第二固定板(8),所述第一固定板(1)和第二固定板(8)之间转动连接有螺纹杆(12),所述螺纹杆(12)的一端设有驱动装置,所述底板(9)上侧通过滑动限位装置连接有夹持板(5),所述夹持板(5)的侧壁上开设有螺纹孔(15),所述螺纹杆(12)螺纹连接在螺纹孔(15)内,所述夹持板(5)靠近第一固定板(1)的侧壁上设有多个压力传感器(4),所述第二固定板(8)的侧壁上设有中央处理器(14),多个所述压力传感器(4)的信号输出端均与中央处理器(14)的信号输入端电连接。

2.根据权利要求1所述的一种半导体生产用夹装工作台,其特征在于,所述驱动装置包括伺服电机(7),所述伺服电机(7)固定连接在第二固定板(8)的侧壁上,所述中央处理器(14)的信号输出端与伺服电机(7)的信号输入端电连接,所述伺服电机(7)的输出轴固定连接有第一齿轮(6),所述第一齿轮(6)啮合连接有第二齿轮(13),所述第二齿轮(13)固定连接在螺纹杆(12)上。

3.根据权利要求1所述的一种半导体生产用夹装工作台,其特征在于,所述滑动限位装置包括两个滑轨槽(10)和滑块(11),两个所述滑轨槽(10)开设在底板(9)的上侧,两个所述滑块(11)分别固定连接在两个滑轨槽(10)内。

4.根据权利要求1所述的一种半导体生产用夹装工作台,其特征在于,所述第一固定板(1)和夹持板(5)相对的一侧分别固定连接有第一硅胶层(2)和第二硅胶层(3),所述第二硅胶层(3)抵在所有压力传感器(4)的一侧。

5.根据权利要求1所述的一种半导体生产用夹装工作台,其特征在于,多个所述压力传感器(4)呈矩形阵列设置。

6.根据权利要求1所述的一种半导体生产用夹装工作台,其特征在于,所述螺纹杆(12)采用不锈钢材质。


技术总结
本技术公开了一种半导体生产用夹装工作台,包括底板,所述底板的上侧固定连接有第一固定板和第二固定板,所述第一固定板和第二固定板之间转动连接有螺纹杆,所述螺纹杆的一端设有驱动装置,所述底板上侧通过滑动限位装置连接有夹持板,所述夹持板的侧壁上开设有螺纹孔,所述螺纹杆螺纹连接在螺纹孔内,所述夹持板靠近第一固定板的侧壁上设有多个压力传感器,所述第二固定板的侧壁上设有中央处理器,多个所述压力传感器的信号输出端均与中央处理器的信号输入端电连接。本技术设计合理,构思巧妙,能够在半导体产品被夹持到达受压临界值时,停止夹紧半导体产品,避免半导体产品过压损坏,避免零部件过压损坏。

技术研发人员:杨挺,陈龙梅
受保护的技术使用者:江苏奥吉瑞机电科技有限公司
技术研发日:20231020
技术公布日:2024/6/26
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