一种用于熔射的旋转工作台的制作方法

专利2025-03-16  7


本技术属于半导体制造设备,特别是涉及一种用于熔射的旋转工作台。


背景技术:

1、熔射,又称热喷涂或喷焊,其基本原理是将粉末或线材等材料加热熔化,在气体带送高速下冲击附着于底材或工件表面,从而堆积、凝固形成膜厚或涂层,达到防腐蚀、防锈、耐磨、润滑、表面粗糙化、吸附、绝缘、绝热等目的。

2、根据公示的用于熔射的旋转工作台(公开号:cn210193993u),包括机架,以及至少一个夹紧座,夹紧座以可转动方式安装在所述机架上,所述夹紧座具有夹紧待熔射产品的夹紧结构;机架上设有用于驱动所述夹紧座转动驱动电机,上述申请文件中通过采用冷却喷嘴喷出强气流,对涂层进行快速降温,但是该装置在喷出气流降温的过程中,存在气流喷射不均匀导致降温效果不足的情况产生。


技术实现思路

1、本实用新型的目的在于提供一种用于熔射的旋转工作台,通过冷却组件,解决了现有的问题。

2、为解决上述技术问题,本实用新型是通过以下技术方案实现的:

3、本实用新型为一种用于熔射的旋转工作台,包括冷却喷嘴和轨道,所述冷却喷嘴的顶部固定连接有固定盘,所述固定盘的底部设置有冷却组件;

4、所述冷却组件包括齿盘和齿轮一,所述齿轮一的侧面固定连接有转动杆,所述转动杆的侧面固定连接有齿轮二,所述固定盘的底部转动连接有传动杆一,所述传动杆一的一端固定连接有齿轮三,所述传动杆一的另一端固定连接有锥齿轮一,所述齿轮三的内部设置有扭簧,所述固定盘的底部转动连接有传动杆二,所述传动杆二的底部固定连接有锥齿轮二,所述传动杆二的外侧通过设置有皮带传动连接有受力杆,所述受力杆的底部固定连接有导流板。

5、进一步地,所述齿轮一位于所述齿盘的顶部位置,所述齿轮一与所述齿盘之间呈啮合状态,当齿轮一可在齿盘上转动。

6、进一步地,所述齿轮二上只设置有一半的齿牙,所述齿轮二可通过该齿牙与所述齿轮三啮合,使得在啮合的状态下,齿轮二转动,齿轮三即可随之转动。

7、进一步地,所述锥齿轮二位于所述锥齿轮一的顶部位置,所述锥齿轮二与所述锥齿轮一之间呈啮合状态,使得当锥齿轮一转动,锥齿轮二即可随之转动。

8、进一步地,所述固定盘的底部设置有导流组件;

9、所述导流组件包括固定槽一,所述固定槽一的内壁转动连接有转轴一,所述转轴一的外侧固定连接有摆动叶。

10、进一步地,所述固定槽一位于所述导流板上。

11、进一步地,所述冷却喷嘴的内部设置有滚动组件;

12、所述滚动组件包括固定槽二,所述固定槽二的内壁转动连接有转轴二,所述转轴二的外侧固定连接有滚轮。

13、进一步地,所述滚轮位于所述轨道的顶部位置,所述滚轮与所述轨道之间相接触,使得滚轮可在轨道上转动。

14、本实用新型具有以下有益效果:

15、1、本实用新型,启动冷却喷嘴,进行喷气操作,同时使得冷却喷嘴在轨道上移动,配合齿轮一、齿盘、转动杆、齿轮二、齿轮三、传动杆一、锥齿轮一、锥齿轮二、传动杆二、皮带、受力杆和扭簧,即可使得导流板反复转动,将冷却喷嘴喷出的气流导流,使其均匀喷洒,提高了降温效果。

16、2、本实用新型,当导流板反复转动,配合固定槽一内的转轴一,即可使得与转轴一固定连接的摆动叶摆动,提高了气流的喷洒均匀程度,进一步提高了降温效果。

17、3、本实用新型,当冷却喷嘴在轨道上移动,配合固定槽二内的转轴二,即可使得与转轴二固定连接的滚轮转动,从而减小冷却喷嘴和轨道之间的摩擦,降低发热。

18、当然,实施本实用新型的任一产品并不一定需要同时达到以上所述的所有优点。



技术特征:

1.一种用于熔射的旋转工作台,包括冷却喷嘴(1)和轨道(2),其特征在于:所述冷却喷嘴(1)的顶部固定连接有固定盘(3),所述固定盘(3)的底部设置有冷却组件;

2.根据权利要求1所述的一种用于熔射的旋转工作台,其特征在于,所述齿轮一(5)位于所述齿盘(4)的顶部位置,所述齿轮一(5)与所述齿盘(4)之间呈啮合状态。

3.根据权利要求2所述的一种用于熔射的旋转工作台,其特征在于,所述齿轮二(7)上只设置有一半的齿牙,所述齿轮二(7)可通过该齿牙与所述齿轮三(9)啮合。

4.根据权利要求3所述的一种用于熔射的旋转工作台,其特征在于,所述锥齿轮二(13)位于所述锥齿轮一(11)的顶部位置,所述锥齿轮二(13)与所述锥齿轮一(11)之间呈啮合状态。

5.根据权利要求4所述的一种用于熔射的旋转工作台,其特征在于,所述固定盘(3)的底部设置有导流组件;

6.根据权利要求5所述的一种用于熔射的旋转工作台,其特征在于,所述固定槽一(17)位于所述导流板(16)上。

7.根据权利要求6所述的一种用于熔射的旋转工作台,其特征在于,所述冷却喷嘴(1)的内部设置有滚动组件;

8.根据权利要求7所述的一种用于熔射的旋转工作台,其特征在于,所述滚轮(22)位于所述轨道(2)的顶部位置,所述滚轮(22)与所述轨道(2)之间相接触。


技术总结
本技术公开了一种用于熔射的旋转工作台,涉及半导体制造设备技术领域。本技术包括冷却喷嘴和轨道,所述冷却喷嘴的顶部固定连接有固定盘,所述固定盘的底部设置有冷却组件;所述冷却组件包括齿盘和齿轮一,所述齿轮一的侧面固定连接有转动杆,所述转动杆的侧面固定连接有齿轮二,所述固定盘的底部转动连接有传动杆一。本技术,启动冷却喷嘴,进行喷气操作,同时使得冷却喷嘴在轨道上移动,配合齿轮一、齿盘、转动杆、齿轮二、齿轮三、传动杆一、锥齿轮一、锥齿轮二、传动杆二、皮带、受力杆和扭簧,即可使得导流板反复转动,将冷却喷嘴喷出的气流导流,使其均匀喷洒,提高了降温效果。

技术研发人员:唐宝彦,田宇,田谧,滑淑梅
受保护的技术使用者:沈阳维内尔工业设备有限公司
技术研发日:20230925
技术公布日:2024/6/26
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