一种全自动芯片撕膜机的制作方法

专利2025-03-20  10


本技术涉及撕膜机,特别涉及一种全自动芯片撕膜机。


背景技术:

1、现有的半导体领域的撕膜机,例如晶圆撕膜机,用来去除晶圆表面的贴膜,撕膜机的夹送辊组可以对粘贴贴膜后的胶带产生一个辅助回收辊回收的拉力,避免回收辊单独作用胶带时的拉力过大使胶带断裂。半导体芯片:在半导体片材上进行浸蚀,布线,制成的能实现某种功能的半导体器件。不只是硅芯片,常见的还包括砷化镓(砷化镓有毒,所以一些劣质电路板不要好奇分解它),锗等半导体材料。

2、现有采用的方式一般为人工撕膜的方式,这种加工方式不仅效率低,不利于大批量生产,而且对于尺寸较大的芯片,人工撕膜过程会较为麻烦,同时人工撕膜时容易因用力过大而使芯片变形,甚至损坏芯片,增大加工成本,且影响后续工艺产品的质量;还容易伤手,撕膜过程安全性难以保证,因此,有必要一种新的技术方案来解决上述问题。

3、经检索现有中国专利:自动芯片撕膜机(公告号为:cn217376406u),包括有机架、控制柜、上料架、送料装置、上料装置、撕膜装置以及撕边框装置;该送料装置可横向来回活动地设置在机架上并与控制柜连接;该上料装置设置在机架上并与控制柜连接,上料装置来回活动于上料架和送料装置之间。使得可以实现自动上料、自动撕膜以及自动撕边框的工作过程,不仅提高了加工效率,更利于大批量产品的加工,而且自动化的撕膜方式可以适应各种尺寸的芯片,并且撕膜时不会因为用力过大而损坏芯片,进一步保证了后续工艺产品的加工质量,降低了加工成本,同时自动化的加工方式安全性更好,不会在撕膜过程中出现芯片割伤人的情况。

4、上述专利虽然通过设置送料装置、上料装置、撕膜装置以及撕边框装置,使得可以实现自动上料、自动撕膜以及自动撕边框,但是该装置存在不足之处在于四组限位块固定在放料板上,当尺寸大小不同的芯片进行放置时,四组限位块无法根据不同尺寸的芯片进行位置调节,从而无法保证芯片放置的位置居中,当芯片出现倾斜时,可能会影响到吸盘吸附芯片的位置出现偏差,进而影响到撕膜效果。

5、因此,发明一种全自动芯片撕膜机来解决上述问题很有必要。


技术实现思路

1、本实用新型的目的在于提供一种全自动芯片撕膜机,以解决上述背景技术中提出的无法根据尺寸不同的芯片对限位块进行调节使得芯片位置偏移从而造成吸盘吸附位置出现偏差的问题。

2、为实现上述目的,本实用新型提供如下技术方案:一种全自动芯片撕膜机,包括全自动芯片撕膜机主体,所述全自动芯片撕膜机主体的一侧设置有门形支撑板,所述门形支撑板的内侧安装有第一驱动电机,所述第一驱动电机的一侧连接有第一左右丝杆,所述第一左右丝杆的外壁连接有第一丝杆螺母,所述第一丝杆螺母的外部连接有门形活动块,所述门形活动块的内侧安装有第二驱动电机,所述第二驱动电机的一侧连接有第二左右丝杆,所述第二左右丝杆的外壁连接有第二丝杆螺母,所述第二丝杆螺母的外部连接有安装块,所述安装块的侧面固定有l形限位板。

3、优选地,所述全自动芯片撕膜机主体的一侧设置有基座,所述基座的顶部安装有电动推杆。

4、优选地,所述电动推杆的一侧设置有导向柱,所述导向柱的顶端固定有限位块。

5、优选地,所述第一驱动电机的一侧连接有第一联轴器,所述第一左右丝杆的一侧连接有第一轴承。

6、优选地,所述门形活动块的内部连接有第一限位杆。

7、优选地,所述第二驱动电机的一侧连接有第二联轴器,所述第二左右丝杆的一端连接有第二轴承。

8、优选地,所述安装块的内部连接有第二限位杆。

9、本实用新型的技术效果和优点:

10、1、通过设置限位调节机构,使得第一驱动电机驱动第一左右丝杆转动,第一左右丝杆外壁连接有第一丝杆螺母,第一丝杆螺母安装在门形活动块内部,门形活动块内部又连接有第一限位杆,在第一限位杆的限位导向作用下,使得第一左右丝杆带动两组门形活动块作相向运动,门形活动块内部安装有第二驱动电机,启动第二驱动电机,使得第二驱动电机驱动第二左右丝杆转动,第二左右丝杆外壁连接有第二丝杆螺母,第二丝杆螺母安装在安装块内部,安装块侧面固定有l形限位板,而安装块内部又连接有第二限位杆,这样在第二限位杆的限位导向作用下,使得第二左右丝杆带动两组l形限位板相向运动,从而对门形支撑板上放置的不同尺寸大小的芯片进行限位,从而保障了吸盘吸附芯片的位置不会错位,这样便于开展下一步的撕膜工序;

11、2、通过设置电动推杆,使得电动推杆带动门形支撑板作升降运动,这样可以调节门形支撑板的高度,从而达到调节芯片放置高度的效果。



技术特征:

1.一种全自动芯片撕膜机,包括全自动芯片撕膜机主体(1),其特征在于:所述全自动芯片撕膜机主体(1)的一侧设置有门形支撑板(4),所述门形支撑板(4)的内侧安装有第一驱动电机(7),所述第一驱动电机(7)的一侧连接有第一左右丝杆(9),所述第一左右丝杆(9)的外壁连接有第一丝杆螺母(11),所述第一丝杆螺母(11)的外部连接有门形活动块(12),所述门形活动块(12)的内侧安装有第二驱动电机(14),所述第二驱动电机(14)的一侧连接有第二左右丝杆(16),所述第二左右丝杆(16)的外壁连接有第二丝杆螺母(18),所述第二丝杆螺母(18)的外部连接有安装块(19),所述安装块(19)的侧面固定有l形限位板(21)。

2.根据权利要求1所述的一种全自动芯片撕膜机,其特征在于:所述全自动芯片撕膜机主体(1)的一侧设置有基座(2),所述基座(2)的顶部安装有电动推杆(3)。

3.根据权利要求2所述的一种全自动芯片撕膜机,其特征在于:所述电动推杆(3)的一侧设置有导向柱(5),所述导向柱(5)的顶端固定有限位块(6)。

4.根据权利要求1所述的一种全自动芯片撕膜机,其特征在于:所述第一驱动电机(7)的一侧连接有第一联轴器(8),所述第一左右丝杆(9)的一侧连接有第一轴承(10)。

5.根据权利要求1所述的一种全自动芯片撕膜机,其特征在于:所述门形活动块(12)的内部连接有第一限位杆(13)。

6.根据权利要求1所述的一种全自动芯片撕膜机,其特征在于:所述第二驱动电机(14)的一侧连接有第二联轴器(15)。

7.根据权利要求1所述的一种全自动芯片撕膜机,其特征在于:所述第二左右丝杆(16)的一端连接有第二轴承(17)。

8.根据权利要求1所述的一种全自动芯片撕膜机,其特征在于:所述安装块(19)的内部连接有第二限位杆(20)。


技术总结
本技术公开了一种全自动芯片撕膜机,涉及到撕膜机技术领域,包括全自动芯片撕膜机主体,全自动芯片撕膜机主体的一侧设置有门形支撑板,门形支撑板的内侧安装有第一驱动电机,第一驱动电机的一侧连接有第一左右丝杆,第一左右丝杆的外壁连接有第一丝杆螺母,第一丝杆螺母的外部连接有门形活动块,门形活动块的内侧安装有第二驱动电机,第二驱动电机的一侧连接有第二左右丝杆,第二左右丝杆的外壁连接有第二丝杆螺母,第二丝杆螺母的外部连接有安装块,安装块的侧面固定有L形限位板。本技术通过操作两组驱动电机,使得不同尺寸大小的芯片被调节限位,保障了吸盘吸附芯片的位置不会错位,从而便于开展下一步的撕膜工序。

技术研发人员:宗渭钧,华益星,钱虎,顾洋
受保护的技术使用者:无锡钧源达电子科技有限公司
技术研发日:20230920
技术公布日:2024/6/26
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