【】本技术属于单晶炉换热器领域,具体的说是一种分体可拆换的水冷热屏。
背景技术
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背景技术:
1、水冷热屏具有快速冷却、高效散热、节能环保等优点,被广泛应用于单晶炉的制造和使用过程中,来保证炉体的正常运行和单晶硅生长的质量,水冷热屏长期处在高温环境下使用,会造成其使用寿命有限,需要定期更换,跟换时需要将在运行的单晶炉停下,再将水冷热屏整个拆下换新,整个过程耗时耗力。
2、通过对水冷热屏观察,但是水冷热屏各部分受热温度高低存在差异,对应的使用寿命也各有不同,上半部分温度没那么高,会比较耐用越接近热源处使用寿命越低,特别的以水冷热屏底部使用的寿命即代表了水冷热屏的使用寿命。
技术实现思路
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技术实现要素:
1、为解决上述的问题,本实用新型提出了一种分体可拆换的水冷热屏,通过将水冷热屏一分为二,可拆卸连接,使最接近热源的替换件便于拆卸和安装,每次对单晶炉内水冷热屏进行更换或者维护时,仅需更换更近接热源的替换件即可完成,极其有效的降低维护时间和节省成本,提高生产效率。
2、本实用新型由以下技术方案实现的:
3、一种分体可拆换的水冷热屏,包括设于单晶炉中的水冷热屏本体,所述水冷热屏本体包括有固定件和与所述固定可拆卸连接的替换,所述替换件顶端开口处设有与固定件匹配并用于拆卸连接的第一连接结构,所述替换件还设有用于供单晶穿过的容腔,所述替换件与固定件匹配连接后,所述容腔的下端开口位于坩埚上方接近硅液液面。
4、如上所述的一种分体可拆换的水冷热屏,所述第一连接结构为内壁带螺纹的环形凹槽,其位于替换件顶端上,所述固定件底端开口处设有与第一连接结构匹配连接的第二连接结构,所述第二连接结构为外壁带螺纹的环形凸起,该凸起可嵌入至环形凹槽内并通过螺纹连接使所述第一连接结构和第二连接结构连接。
5、如上所述的一种分体可拆换的水冷热屏,所述固定件和替换件螺纹连接接口处包括有起密封作用的第一密封圈和第二密封圈。
6、如上所述的一种分体可拆换的水冷热屏,所述替换件由连接成一体且上端开口的第一内壳和第一外壳组成,所述替换件还包括位于所述第一内壳和第一外壳之间的第一换热空间。
7、如上所述的一种分体可拆换的水冷热屏,所述固定件底部还包括与第一内壳和第一外壳分别对应的连接为一体且底端开口的第二内壳和第二外壳,所述固定件还包括有位与第二内壳和第二外壳之间的第二换热空间。
8、如上所述的一种分体可拆换的水冷热屏,所述固定件和替换件螺纹连接时,所述第一换热空间和第二换热空间连通。
9、如上所述的一种分体可拆换的水冷热屏,所述第一密封圈位于螺纹连接水冷热屏第一外壳和第二外壳连接处,所述第二密封圈位于螺纹连接水冷热屏第一内壳和第二内壳连接处。
10、如上所述的一种分体可拆换的水冷热屏,所述固定件包括有位于上端用于接入和排出冷却水的进水管和出水管。
11、如上所述的一种分体可拆换的水冷热屏,所述固定件还设有用于与进水管或出水管之间连接的冷却水管套管。
12、如上所述的一种分体可拆换的水冷热屏,所述固定件和替换件后构成的整体为空心的倒圆锥体。
13、如上所述一种分体可拆换的水冷热屏,
14、与现有技术相比,本实用新型有如下优点:
15、通过将水冷热屏分成可拆卸连接的固定件和替换件,使水冷热屏一分为二,让最接近热源的替换件便于拆卸和安装,在对单晶炉内水冷热屏定期维护和异常修理时仅需拆卸和更换替换件,即可完成养护操作,极其有效的降低维护时间和节省成本,提高生产效率。
1.一种分体可拆换的水冷热屏,包括设于单晶炉(200)中的水冷热屏本体(100),其特征在于,所述水冷热屏本体(100)包括有固定件(1)和与所述固定件(1)可拆卸连接的替换件(2),所述替换件(2)顶端开口处设有与固定件匹配并用于拆卸连接的第一连接结构(20),所述替换件(2)还设有用于供单晶(400)穿过的容腔(23),所述替换件(2)与固定件(1)匹配连接后,所述容腔(23)的下端开口位于坩埚(300)上方接近硅液(301)液面。
2.根据权利要求1所述的一种分体可拆换的水冷热屏,其特征在于,所述第一连接结构(20)为内壁带螺纹的环形凹槽,其位于替换件(2)顶端上,所述固定件(1)底端开口处设有与第一连接结构(20)匹配连接的第二连接结构(10),所述第二连接结构(10)为外壁带螺纹的环形凸起,该凸起可嵌入至环形凹槽内并通过螺纹连接使所述第一连接结构(20)和第二连接结构(10)连接。
3.根据权利要求1所述的一种分体可拆换的水冷热屏,其特征在于,所述固定件(1)和替换件(2)螺纹连接接口处包括有起密封作用的第一密封圈(6)和第二密封圈(7)。
4.根据权利要求1所述的一种分体可拆换的水冷热屏,其特征在于,所述替换件(2)由连接成一体且上端开口的第一内壳(21)和第一外壳(22)组成,所述替换件(2)还包括位于所述第一内壳(21)和第一外壳(22)之间的第一换热空间(3)。
5.根据权利要求1所述的一种分体可拆换的水冷热屏,其特征在于,所述固定件(1)底部还包括与第一内壳(21)和第一外壳(22)分别对应的连接为一体且底端开口的第二内壳(14)和第二外壳(15),所述固定件(1)还包括有位与第二内壳(14)和第二外壳(15)之间的第二换热空间(4)。
6.根据权利要求4所述的一种分体可拆换的水冷热屏,其特征在于,所述固定件(1)和替换件(2)螺纹连接时,所述第一换热空间(3)和第二换热空间(4)连通。
7.根据权利要求3所述的一种分体可拆换的水冷热屏,其特征在于,所述第一密封圈(6)位于螺纹连接水冷热屏第一外壳(22)和第二外壳(15)连接处,所述第二密封圈(7)位于螺纹连接水冷热屏第一内壳(21)和第二内壳(14)连接处。
8.根据权利要求1所述的一种分体可拆换的水冷热屏,其特征在于,所述固定件(1)包括有位于上端用于接入和排出冷却水的进水管(11)和出水管(12)。
9.根据权利要求1所述的一种分体可拆换的水冷热屏,其特征在于,所述固定件(1)还设有用于与进水管(11)或出水管之间连接的冷却水管套管(13)。
10.根据权利要求1所述的一种分体可拆换的水冷热屏,其特征在于,所述固定件(1)和替换件(2)后构成的整体为空心的倒圆锥体。