本申请属于晶圆清洗设备，尤其是涉及一种单片晶圆清洗装置进料口密封装置。
背景技术：
1、中国实用新型专利文献cn214624981u公开了单片晶圆清洗装置，由外框架和内部的单片清洗机构组成。
2、为了方便送入晶圆，在外框架上设置有进料口。在清洗时，则需要将进料口密封。密封进料口一是防止溅出的清洗液流到装置外，二是防止气体泄露。因此，需要一种能够很好实现封闭的封闭装置。以便于在需要时打开进料口，在工作时，封闭进料口。
技术实现思路
1、本实用新型要解决的技术问题是：为解决现有技术中的不足，从而提供一种结构简单的、能够很好地实现单片晶圆清洗装置进料口的密封的单片晶圆清洗装置进料口密封装置。
2、本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是：
3、一种单片晶圆清洗装置进料口密封装置，包括：
4、进料口，设置在单片晶圆清洗装置前端面板上；
5、密封板；
6、限位块，设置在进料口两侧，所述限位块上设置有限位槽，所述密封板的两端伸入所述限位槽内，并能在限位槽限制下，在遮挡住进料口时，使所述密封板靠近并盖住进料口；
7、滑块，设置在进料口两侧，所述滑块通过固定柱与密封板活动连接，使密封板能够沿固定柱做轴向运动；
8、滑轨，设置在进料口两侧；
9、驱动件，用于驱动滑块沿着所述滑轨运动，以使密封板封闭进料口或者放开对进料口的封闭。
10、优选地，本实用新型的单片晶圆清洗装置进料口密封装置，密封板上设置有直线轴承，所述固定柱伸入直线轴承内。
11、优选地，本实用新型的单片晶圆清洗装置进料口密封装置，所述密封板的两端设置有滚轮。
12、优选地，本实用新型的单片晶圆清洗装置进料口密封装置，密封板上设置有直线轴承，所述固定柱伸入直线轴承内。
13、优选地，本实用新型的单片晶圆清洗装置进料口密封装置，所述限位槽分为两段，每端的所述密封板上均有两个滚轮，两个滚轮分别位于不同段的限位槽。
14、优选地，本实用新型的单片晶圆清洗装置进料口密封装置，所述限位槽分为竖直段和向着靠近进料口倾斜的倾斜段，当滚轮运行到倾斜段时，使密封板靠近进料口。
15、优选地，本实用新型的单片晶圆清洗装置进料口密封装置，进料口的上下两端设置有对射传感器，所述对射传感器能够感应密封板的位置，滚轮在竖直段时，密封板无法遮挡对射传感器的光线，滚轮运行到倾斜段时，密封板遮挡对射传感器的光线。
16、优选地，本实用新型的单片晶圆清洗装置进料口密封装置，所述驱动件为气缸。
17、优选地，本实用新型的单片晶圆清洗装置进料口密封装置，所述前端面板上设置有至少一个抽气口。
18、优选地，本实用新型的单片晶圆清洗装置进料口密封装置，所述抽气口位于所述前端面板的顶面和底面。
19、本实用新型的有益效果是：
20、本实用新型的单片晶圆清洗装置进料口密封装置，驱动件能够驱动滑块沿着所述滑轨运动，密封板在滑轨上的限位槽的限制下，密封板在高度方向上靠近进料口的同时盖住进料口，以使密封板封闭进料口，当密封板在滑轨上反方向运动时，则放开对进料口的封闭。上述单片晶圆清洗装置进料口密封装置结构简单，能够很好地实现单片晶圆清洗装置进料口的密封。
1.一种单片晶圆清洗装置进料口密封装置，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的单片晶圆清洗装置进料口密封装置，其特征在于，密封板（2）上设置有直线轴承，所述固定柱（41）伸入直线轴承内。
3.根据权利要求1所述的单片晶圆清洗装置进料口密封装置，其特征在于，所述密封板（2）的两端设置有滚轮（21）。
4.根据权利要求1所述的单片晶圆清洗装置进料口密封装置，其特征在于，所述限位槽（31）分为两段，每端的所述密封板（2）上均有两个滚轮（21），两个滚轮（21）分别位于不同段的限位槽（31）。
5.根据权利要求4所述的单片晶圆清洗装置进料口密封装置，其特征在于，所述限位槽（31）分为竖直段（311）和向着靠近进料口（10）倾斜的倾斜段（312），当滚轮（21）运行到倾斜段（312）时，使密封板（2）靠近进料口（10）。
6.根据权利要求4所述的单片晶圆清洗装置进料口密封装置，其特征在于，进料口（10）的上下两端设置有对射传感器（7），所述对射传感器（7）能够感应密封板（2）的位置，滚轮（21）在竖直段（311）时，密封板（2）无法遮挡对射传感器（7）的光线，滚轮（21）运行到倾斜段（312）时，密封板（2）遮挡对射传感器（7）的光线。
7.根据权利要求1所述的单片晶圆清洗装置进料口密封装置，其特征在于，所述驱动件（6）为气缸。
8.根据权利要求1所述的单片晶圆清洗装置进料口密封装置，其特征在于，所述前端面板（1）上设置有至少一个抽气口（11）。
9.根据权利要求8所述的单片晶圆清洗装置进料口密封装置，其特征在于，所述抽气口（11）位于所述前端面板（1）的顶面和底面。
