本发明涉及超纯水制造领域，尤其涉及一种超纯水制造装置及方法。
背景技术：
1、在2020.06.09公开、公开号为cn 111252971 a的中国发明专利申请中，公开了一种超纯水制造系统及使用该系统的超纯水制造方法，其包括顺次连接的原水池、第一换热器、多介质过滤器、脱碳塔、活性炭过滤器、uv杀菌器、保安过滤器、反渗透系统、产水池、第一toc-uv装置、双层床树脂电再生除盐系统、除硼螯合树脂塔、第一脱气膜装置、超纯水箱、第二换热器、第二toc-uv装置、离子交换装置、脱气膜系统、终端超滤装置、超纯水使用点，然而在超纯水制造过程中，出现微量离子、极微量的离子、co2去除率、微粒子以及生菌去不高，无法保证超纯水的电阻率，影响超纯水的水质；且一些元器件耗材比较严重，更换时，整个纯水制造过程会停工，影响超纯水的生产效率。
技术实现思路
1、为克服上述缺点，本发明的目的在于提供一种保证超纯水的水质、超纯水生产效率的超纯水制造装置及方法。
2、为了达到以上目的，本发明采用的其中一种技术方案是：一种超纯水制造装置，包括依次连接的：原水槽，原水与所述原水槽的进水口连通；保安过滤器，所述保安过滤器的罩盖内安装有孔径为0.45μm(±0.05μm)的滤芯过滤器，通过原水泵与所述原水槽的出口连通；脱碳酸膜,所述脱碳酸膜的其中一个出口连接真空泵；多个并联的前除矿器,分别与脱碳酸膜的另一个出口连通；纯水槽，与所述前除矿器的出口连通；uv杀菌器,通过纯水泵与所述纯水槽的出口连通；多个并联的最终除矿器,分别与uv杀菌器的出口连通；多个并联的uf膜，分别与所述最终除矿器的出口连通，从多个所述uf膜的出口与超纯水槽连通。
3、优选地，所述纯水槽还通过管路与原水槽连通。将纯水槽内的未达到水质标准的水循环至原水槽，再依次经过保安过滤器、脱碳酸膜、前除矿器。
4、优选地，所述uf膜的出口还通过管路与所述纯水槽的入口连通；或/和所述纯水槽的入口还连通有回水。将经过uf膜未达水质标准的水和回水循环至纯水槽，再依次经过uv杀菌器、最终除矿器以及uf膜。
5、优选地，所述原水槽、纯水槽设置在机壳内的中部；多个所述前除矿器设置在机壳的左侧，多个所述最终除矿器设置在机壳内的右侧后方；多个所述uf膜、纯水泵设置在机壳内的右侧；所述原水泵、保安过滤器、脱碳酸膜以及真空泵设置在机壳内的前侧。合理布局，结构紧凑，减少整个装置的占地面积。
6、优选地，所述滤芯过滤器采用聚丙烯的过滤介质。聚丙烯的耐久性能优越、强度较高、无溶出物、适用范围广泛。
7、优选地，每个所述uf膜内部填充有双排的中空丝型uf模块。采用中空丝外压型、双排结构，以及提高渗透水侧膜面的清洁度，从而可以获得低微粒子的处理水。本膜的结构单纯，可以实现非常高的卫生性。
8、优选地，所述uf膜采用多磺酸类的膜。在酸、碱性的耐药品性、以及耐细菌性方面非常优秀。
9、优选地，所述原水槽、纯水槽上均设置有液位开关，所述纯水槽上安装有排气孔过滤器。液位开关的设置用以控制相应泵的开启与停止，排气孔过滤器是为了防止空气中的微粒子、菌类等混入纯水水箱而设置的。
10、优选地，每个所述前除矿器的出口、每个uf膜的出口均设置有水质计，每个所述水质计通过控制器连接警报器。水质计可以测量前除矿器处理水和通过uf膜后的uf处理水的水质，通过警报器提醒作业人员更换相应元器件。
11、一种超纯水制造方法，采用了上述的超纯水制造装置，包括如下步骤：
12、步骤一，原水经过所述保安过滤器，所述保安过滤器用以捕获已通过前段的细微的悬浊物质；
13、步骤二，经过所述保安过滤器的水通过原水泵打入脱碳酸膜，所述脱碳酸膜用以去除水中所含的co2，通过真空泵的配合去除水中的co2；
14、步骤三，经过脱碳酸膜的水分别经过至少一个所述前除矿器，通过所述前除矿器内部的离子树脂用以交换除去来自ro膜的脱盐水中的微量离子；
15、步骤四，经过至少一个所述前除矿器的水临时存储在纯水槽内，存储的纯水利用循环泵被送至后段的uv杀菌器；
16、步骤五，所述uv杀菌器采用紫外线杀除纯水中的生菌、细菌，并配以水银灯；
17、步骤六，经过所述uv杀菌器的水分别经过多个最终除矿器，利用内部填充的离子交换树脂，交换除去前除矿器无法除去的极微量的离子以及溶解于辅助槽的co2；
18、步骤七，经过最终除矿器的水分别进过多个uf膜，用以除去残存于超纯水中的微粒子以及生菌。
19、本发明超纯水制造装置、超纯水制造方法的有益效果是，其一，本申请采用了多个前除矿器、多个最终除矿器，每个前除矿器均用以除去来自ro膜的脱盐水中的微量离子，每个最终除矿器均用以除去交换除去前除矿器无法除去的极微量的离子以及溶解于辅助槽的co2，以保证微量离子的去除率；前除矿器、最终除矿器均设置有多个，可以选择性的选择前除矿器的数量，当经过该任意一个的前除矿器或是最终除矿器的水质有所降低，则可关闭对应的除矿器，对其进行清洗或是更换，以进一步保证微量离子的去除率以及溶解于辅助槽的co2；其二，本申请的脱碳酸膜的其中一个出口配以真空泵，能高效去除水中99％的二氧化碳，能充分的保证超纯水的电阻率；其三，利用uf膜用以除去残存于超纯水中的微粒子以及生菌，且采用并列的多个uf膜进行，当其中一个uf膜除去微粒子以及生菌率降低时，可以更换相应的uf膜，其余的uf膜正常进行，不影响uf膜的使用率，也可以根据水质，选择性的开启uf膜。
1.一种超纯水制造装置，其特征在于：包括依次连接的：
2.根据权利要求1所述的超纯水制造装置，其特征在于：所述纯水槽还通过管路与原水槽连通。
3.根据权利要求1所述的超纯水制造装置，其特征在于：
4.根据权利要求1所述的超纯水制造装置，其特征在于：
5.根据权利要求1所述的超纯水制造装置，其特征在于：所述滤芯过滤器采用聚丙烯的过滤介质。
6.根据权利要求1所述的超纯水制造装置，其特征在于：每个所述uf膜内部填充有双排的中空丝型uf模块。
7.根据权利要求1所述的超纯水制造装置，其特征在于：所述uf膜采用多磺酸类的膜。
8.根据权利要求1所述的超纯水制造装置，其特征在于：所述原水槽、纯水槽上均设置有液位开关，所述纯水槽上安装有排气孔过滤器。
9.根据权利要求1所述的超纯水制造装置，其特征在于：每个所述前除矿器的出口、每个uf膜的出口均设置有水质计，每个所述水质计通过控制器连接警报器。
10.一种超纯水制造方法，其特征在于：采用了所述权利要求1-9中任意一项所述的超纯水制造装置，包括如下步骤：
