本技术涉及一种生产设备，尤其涉及一种固态光阻生产设备。
背景技术：
1、基于现有光阻剂在未被使用之前都是以液态呈现，所以大都是采用涂布方式于一目标对象形成光阻层，但此涂布方式所形成的所述光阻层有其局限性存在，因而无形中导致本领域的相关技术研究产生停滞。于是，本实用新型人认为上述缺陷可改善，乃特潜心研究并配合科学原理的运用，终于提出一种设计合理且有效改善上述缺陷的本实用新型。
技术实现思路
1、本实用新型实施例在于提供一种固态光阻生产设备，其能有效地改善现有光阻剂所可能产生的缺陷。
2、本实用新型实施例公开一种固态光阻生产设备，所述固态光阻生产设备包括：一载体，具有一承载面；一光阻喷涂器，对应于所述承载面设置，用以于所述承载面喷涂形成有一光阻喷涂层；一烘烤机构，对应于所述载体设置，用以通过加热固化所述光阻喷涂层以使所述光阻喷涂层形成固态状且去除所述光阻喷涂层所包含的溶剂；以及一分离机构，对应于所述承载面设置，用以将形成固态状且未包含所述溶剂的所述光阻喷涂层自所述载体以物理性手段移除。
3、可选地，所述光阻喷涂器具有面向所述承载面的一钢喷嘴，并且所述钢喷嘴能相对于所述承载面移动，用以使自所述钢喷嘴喷洒而出的雾状光阻能于所述承载面形成厚度介于2.5微米至5微米的所述光阻喷涂层。
4、可选地，所述光阻喷涂器具有面向所述承载面且彼此间隔设置的多个钢喷嘴，并且多个所述钢喷嘴用于使自所述钢喷嘴喷洒而出的雾状光阻能于所述承载面形成厚度介于2.5微米至5微米的所述光阻喷涂层。
5、可选地，多个所述钢喷嘴排成一列且位置保持固定，并且多个所述钢喷嘴的喷洒范围覆盖整个所述承载面。
6、可选地，所述载体呈平坦板状。
7、可选地，所述载体的长度为1米至1.8米，并且所述载体的宽度为0.1米至0.5米。
8、可选地，所述固态光阻生产设备包含有一自转机构及安装于所述自转机构的一圆筒，并且所述圆筒能通过所述自转机构而自转，而所述载体覆盖于所述圆筒的外表面。
9、可选地，所述自转机构能用来使所述圆筒等速地自转。
10、可选地，所述圆筒的长度为1米至1.8米，并且所述圆筒的直径为15厘米至20厘米。
11、可选地，所述载体的两端彼此相邻且形成有一长形缝隙，以使所述圆筒的局部所述外表面自所述长形缝隙裸露于所述载体之外。
12、综上所述，本实用新型实施例所公开的固态光阻生产设备能运作取得呈固态状且未含所述溶剂的所述光阻喷涂层，并且所述光阻喷涂层能被以不同于以往的方式(如：蒸镀方式)进行应用(如：应用于蒸镀流程之中)，以有效地改变既有光阻剂仅能以液态状进行应用的局限。
13、为能更进一步了解本实用新型的特征及技术内容，请参阅以下有关本实用新型的详细说明与附图，但是此等说明与附图仅用来说明本实用新型，而非对本实用新型的保护范围作任何的限制。
1.一种固态光阻生产设备，其特征在于，所述固态光阻生产设备包括：
2.根据权利要求1所述的固态光阻生产设备，其特征在于，所述光阻喷涂器具有面向所述承载面的一钢喷嘴，并且所述钢喷嘴能相对于所述承载面移动，用以使自所述钢喷嘴喷洒而出的雾状光阻能于所述承载面形成厚度介于2.5微米至5微米的所述光阻喷涂层。
3.根据权利要求1所述的固态光阻生产设备，其特征在于，所述光阻喷涂器具有面向所述承载面且彼此间隔设置的多个钢喷嘴，并且多个所述钢喷嘴用于使自所述钢喷嘴喷洒而出的雾状光阻能于所述承载面形成厚度介于2.5微米至5微米的所述光阻喷涂层。
4.根据权利要求3所述的固态光阻生产设备，其特征在于，多个所述钢喷嘴排成一列且位置保持固定，并且多个所述钢喷嘴的喷洒范围覆盖整个所述承载面。
5.根据权利要求1所述的固态光阻生产设备，其特征在于，所述载体呈平坦板状。
6.根据权利要求5所述的固态光阻生产设备，其特征在于，所述载体的长度为1米至1.8米，并且所述载体的宽度为0.1米至0.5米。
7.根据权利要求1所述的固态光阻生产设备，其特征在于，所述固态光阻生产设备包含有一自转机构及安装于所述自转机构的一圆筒，并且所述圆筒能通过所述自转机构而自转，而所述载体覆盖于所述圆筒的外表面。
8.根据权利要求7所述的固态光阻生产设备，其特征在于，所述自转机构能用来使所述圆筒等速地自转。
9.根据权利要求7所述的固态光阻生产设备，其特征在于，所述圆筒的长度为1米至1.8米，并且所述圆筒的直径为15厘米至20厘米。
10.根据权利要求7所述的固态光阻生产设备，其特征在于，所述载体的两端彼此相邻且形成有一长形缝隙，以使所述圆筒的局部所述外表面自所述长形缝隙裸露于所述载体之外。
