一种半导体的视觉检测装置的制作方法

专利2025-05-01  7


本技术涉及半导体的视觉检测装置,具体是一种半导体的视觉检测装置。


背景技术:

1、在半导体生产加工的过程中,需要通过检测设备对半导体进行视觉检测,包括半导体表面凸凹点、划伤、污垢、裂纹等的缺陷检测;

2、公开号为cn218036485u的一项中国专利公开了一种基于视觉检测的半导体检测装置,包括工作板台和定位机构;工作板台:其底面设有支架,工作板台的上表面后端设有力臂,力臂的前侧底面设有方槽,方槽的内部滑动连接有方杆,方杆的下端设有摄像头,方槽内部顶壁设置的圆孔内转动连接有第一丝杆,第一丝杆的下端与方杆中部设置的螺孔螺纹连接,工作板台的底面设有调节机构,调节机构的上端与第一丝杆的上端均设有同步轮,两个同步轮之间通过同步带传动连接,力臂的后端设有与调节机构配合的避让孔,该基于视觉检测的半导体检测装置,方便半导体的快速进行定位夹持,方便工作人员快速对半导体的外观进行目检,大大提高检测的效率;

3、上述基于视觉检测的半导体检测装置在使用时,为了实现对半导体多个角度的检测,操作人员需要不断转动半导体的角度,而被转动后的半导体会发生位置的偏移,偏移后的半导体则无法较为清晰地被观测,则需要反复调整半导体的位置才能进行后续的视觉检测工作,使得检测作业耗时较长,导致了整个半导体的视觉检测效率不高;因此,针对上述问题提出一种半导体的视觉检测装置。


技术实现思路

1、为了弥补现有技术的不足,解决半导体的视觉检测装置现存的一些问题,本实用新型提出一种半导体的视觉检测装置。

2、本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是:本实用新型所述的一种半导体的视觉检测装置,包括检测机体;所述检测机体上安装有检测台;所述检测台的顶部一侧安装有显示屏;所述检测台上安装有调节装置;所述调节装置包括转动槽;所述检测台的顶部上开设有转动槽;所述转动槽的底部端面上开设有结构孔;所述检测台的底部开设有结构腔;所述结构腔的顶部与结构孔贯通;所述结构孔中安装有转动底座;所述转动底座上转动安装有转动轴;所述转动轴的底部穿过转动底座并插入结构腔;所述转动轴插入结构腔的底部安装有一号齿轮;

3、所述转动轴的顶部穿过转动底座并插入转动槽的内部;所述转动轴的顶部安装有转动底板;所述结构腔的内壁一侧面上贯穿开设有转动孔;所述转动孔的内部转动安装有转动杆;所述转动杆的一端穿过转动孔并插入结构腔;所述转动杆插入结构腔的端部安装有二号齿轮;所述二号齿轮与一号齿轮啮合;实现了在相同位置对半导体不同角度的观测作用。

4、优选的,所述转动杆的一端穿过转动孔伸出外界;所述转动杆伸出外界的一端安装有转钮;做到了为转动底板提供转动力的效果。

5、优选的,所述转动底板的高度大于转动槽的开设深度;所述转动底板顶部端面所在的水平面高于检测台顶部端面所在的水平面;保证了转动底板能够顺利作业。

6、优选的,所述转动底板上安装有升降装置;所述升降装置包括结构槽;所述转动底板的顶部开设有结构槽;所述结构槽的内壁底部端面上开设有升降孔;所述转动底板内部偏下的位置开设有安装腔;所述安装腔的顶部与升降孔贯通;使得升降装置能够顺利作业。

7、优选的,所述安装腔的内部安装有伸缩气缸;所述伸缩气缸的顶部安装有伸缩杆;所述伸缩杆的顶部穿过升降孔并插入结构槽;所述伸缩杆的顶部安装有托板;做到了对待观测半导体的高度调整。

8、优选的,所述托板的高度与结构槽的开设深度相等;所述伸缩杆收缩至最短距离时,托板顶部端面所在的水平面与转动底板顶部端面所在的水平面重合;使得托板能够顺利作业。

9、本实用新型的有益之处在于:

10、1.本实用新型通过调节装置的结构设计,将待检测的半导放置在转动底板上,并向转钮施加转动的作用力,转动孔内部的转动杆带动二号齿轮转动,在结构腔内部一号齿轮的配合下,转动轴带动转动底板在转动槽的内部转动,做到了在相同位置对半导体进行不同角度的观测作用,避免了反复调整半导体的放置位置,提高了整个视觉检测作业的效率。

11、2.本实用新型通过升降装置的结构设计,可打开安装腔内部的伸缩气缸,伸缩杆穿过升降孔向托板施加向上的推动力,使得结构槽内部的托板向上运动至合适的位置,做到了调整半导体的观测高度,使得调节装置能够充分发挥作用。



技术特征:

1.一种半导体的视觉检测装置,包括检测机体(1);所述检测机体(1)上安装有检测台(2);所述检测台(2)的顶部一侧安装有显示屏(3);所述检测台(2)上安装有调节装置;其特征在于:所述调节装置包括转动槽(401);所述检测台(2)的顶部上开设有转动槽(401);所述转动槽(401)的底部端面上开设有结构孔(402);所述检测台(2)的底部开设有结构腔(403);所述结构腔(403)的顶部与结构孔(402)贯通;所述结构孔(402)中安装有转动底座(404);所述转动底座(404)上转动安装有转动轴(405);所述转动轴(405)的底部穿过转动底座(404)并插入结构腔(403);所述转动轴(405)插入结构腔(403)的底部安装有一号齿轮(406);

2.根据权利要求1所述的一种半导体的视觉检测装置,其特征在于:所述转动杆(408)的一端穿过转动孔(407)伸出外界;所述转动杆(408)伸出外界的一端安装有转钮(411)。

3.根据权利要求2所述的一种半导体的视觉检测装置,其特征在于:所述转动底板(410)的高度大于转动槽(401)的开设深度;所述转动底板(410)顶部端面所在的水平面高于检测台(2)顶部端面所在的水平面。

4.根据权利要求3所述的一种半导体的视觉检测装置,其特征在于:所述转动底板(410)上安装有升降装置;所述升降装置包括结构槽(501);所述转动底板(410)的顶部开设有结构槽(501);所述结构槽(501)的内壁底部端面上开设有升降孔(502);所述转动底板(410)内部偏下的位置开设有安装腔(503);所述安装腔(503)的顶部与升降孔(502)贯通。

5.根据权利要求4所述的一种半导体的视觉检测装置,其特征在于:所述安装腔(503)的内部安装有伸缩气缸(504);所述伸缩气缸(504)的顶部安装有伸缩杆(505);所述伸缩杆(505)的顶部穿过升降孔(502)并插入结构槽(501);所述伸缩杆(505)的顶部安装有托板(506)。

6.根据权利要求5所述的一种半导体的视觉检测装置,其特征在于:所述托板(506)的高度与结构槽(501)的开设深度相等;所述伸缩杆(505)收缩至最短距离时,托板(506)顶部端面所在的水平面与转动底板(410)顶部端面所在的水平面重合。


技术总结
本技术属于半导体的视觉检测装置技术领域,具体的说是一种半导体的视觉检测装置,包括检测机体;所述检测台上安装有调节装置;所述转动槽的底部端面上开设有结构孔;所述结构孔中安装有转动底座;所述转动轴插入结构腔的底部安装有一号齿轮;所述转动轴的顶部安装有转动底板;所述转动孔的内部转动安装有转动杆;所述转动杆插入结构腔的端部安装有二号齿轮;所述二号齿轮与一号齿轮啮合;所述转动底板上安装有升降装置;所述安装腔的内部安装有伸缩气缸;所述伸缩杆的顶部安装有托板;通过调节装置与升降装置的作用,做到了在相同位置对半导体进行不同角度的观测作用,避免了反复调整半导体的放置位置,提高了整个视觉检测作业的效率。

技术研发人员:陈双军
受保护的技术使用者:阜宁睿锦电子有限公司
技术研发日:20231114
技术公布日:2024/6/26
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