本申请涉及晶圆检测，尤其涉及一种晶圆图像的聚类方法、装置、电子设备及计算机可读存储介质。
背景技术：
1、半导体芯片行业是全球范围内的重要经济支柱，为各种领域提供了新的解决方案，在现代社会中扮演着不可或缺的重要角色。晶圆是半导体器件的基础性原材料，随着制造技术尺寸不断缩小，其制造工艺越来越复杂，极易产生缺陷。晶圆上的缺陷尤其容易受到聚集缺陷的影响，而这种缺陷可能会导致芯片完全失效。
2、晶圆图像是在晶圆的检测及测试阶段，通过探针测试、电性测试或缺陷检测等方法，将测试结果在晶圆的空间位置上进行记录而形成的图像。将晶圆图上观察到的缺陷类簇转化为有意义的信息或知识，对于半导体行业工艺的改进和良率的提升由重要意义。
3、然而，现有传统的晶圆图像的聚类方法需要花费较多时间成本完成缺陷晶粒的聚类。因此，如何降低传统聚类算法所需的时间成本，达到快速且准确地聚类已成为目前研究热点。
技术实现思路
1、本申请提供一种晶圆图像的聚类方法、装置、电子设备及计算机可读存储介质，可以在不进行任何预先设置的情况下达到对晶圆图像快速聚类的效果，并且降低聚类算法所需的时间成本，提高聚类效率。
2、根据本申请的第一方面，提供一种晶圆图像的聚类方法，该方法包括：基于包含缺陷晶粒的晶圆图像，生成晶圆图像对应的二值图像；基于二值图像中缺陷晶粒的像素信息，生成缺陷晶粒的拓扑结构信息；基于拓扑结构信息，生成二值图像对应的轮廓图像；基于轮廓图像中的轮廓曲线对应的轮廓列表，对轮廓图像中的轮廓区域进行像素填充，以生成填充图像；将填充图像中每个轮廓区域标记为一个聚类结果。
3、根据本申请的第二方面，提供一种晶圆图像的聚类装置，该装置包括：二值图像生成模块，用于基于包含缺陷晶粒的晶圆图像，生成晶圆图像对应的二值图像；结构信息生成模块，用于基于二值图像中缺陷晶粒的像素信息，生成缺陷晶粒的拓扑结构信息；轮廓图像生成模块，用于基于所述拓扑结构信息，生成二值图像对应的轮廓图像；填充图像生成模块，用于基于轮廓图像中的轮廓曲线对应的轮廓列表，对轮廓图像中的轮廓区域进行像素填充，以生成填充图像；标记模块，用于将填充图像中每个轮廓区域标记为一个聚类结果。
4、根据本申请的第三方面，提供一种电子设备，电子设备包括：处理器以及存储有计算机程序指令的存储器；处理器执行计算机程序指令时实现上述的任一种晶圆图像的聚类方法。
5、根据本申请的第四方面，提供一种计算机可读存储介质，其特征在于，计算机可读存储介质上存储有计算机程序指令，计算机程序指令被处理器执行时实现上述的任一种晶圆图像的聚类方法。
6、综上所述，本申请提供的晶圆图像的聚类方法、装置、电子设备及计算机可读存储介质至少具有以下有益效果：通过生成晶圆图像对应的二值图像，从而可以将晶圆图像中的晶粒和缺陷清晰地区分开来，助于更准确地识别和定位缺陷晶粒。通过基于二值图像中缺陷晶粒的像素信息，生成缺陷晶粒的拓扑结构信息，从而可以将具有相似特征的缺陷晶粒连接在一起，便于后续聚类。基于拓扑结构信息，生成二值图像对应的轮廓图像，如此，可以提供更清晰、直观的晶圆表面缺陷的分别，并且有利于后续聚类操作。基于轮廓图像中的轮廓曲线对应的轮廓列表，对轮廓图像中的轮廓区域进行像素填充，以生成填充图像，并将填充图像中每个轮廓区域标记为一个聚类结果。如此，将轮廓内部填充，形成图像的聚类结果，从而可以在不进行任何预先设置的情况下达到对晶圆图像快速聚类的效果，并且降低聚类算法所需的时间成本，提高聚类效率。
1.一种晶圆图像的聚类方法，其特征在于，包括:
2.根据权利要求1所述的晶圆图像的聚类方法，其特征在于，在所述将所述填充图像中每个轮廓区域标记为一个聚类结果之后，还包括：
3.根据权利要求1所述的晶圆图像的聚类方法，其特征在于，所述拓扑信息包括至少一个拓扑结构，所述基于所述拓扑结构信息，生成所述二值图像对应的轮廓图像，包括：
4.根据权利要1所述的晶圆图像的聚类方法，其特征在于，所述拓扑结构信息包括第一拓扑结构和第二拓扑结构，在基于所述轮廓图像中的轮廓曲线对应的轮廓列表，对所述轮廓图像中的轮廓区域进行像素填充，以生成填充图像之前，还包括：
5.根据权利要求1至4任一所述的晶圆图像的聚类方法，其特征在于，在所述基于所述轮廓图像中的轮廓曲线对应的轮廓列表，对所述轮廓图像中的轮廓区域进行像素填充，以生成填充图像之前，还包括：
6.根据权利要求5所述的晶圆图像的聚类方法，其特征在于，所述基于所述轮廓图像中的轮廓曲线对应的轮廓列表，对所述轮廓图像中的轮廓区域进行像素填充，以生成填充图像，包括：
7.根据权利要求6所述的晶圆图像的聚类方法，其特征在于，所述按照从少到多的顺序，依次对每个所述轮廓列表对应的轮廓区域进行像素填充，以生成填充图像，包括：
8.根据权利要求1所述的晶圆图像的聚类方法，其特征在于，所述基于包含缺陷晶粒的晶圆图像，生成所述晶圆图像对应的二值图像，包括：
9.一种晶圆图像的聚类装置，其特征在于，包括：
10.一种电子设备，其特征在于，所述电子设备包括处理器、存储有计算机程序指令的存储器，其中，处理器执行计算机程序指令时，实现如权利要求1至8中任一项所述的晶圆图像的聚类方法的步骤。
11.一种计算机可读存储介质，其特征在于，所述计算机可读存储介质上存储有晶圆图像的聚类程序，其中，所述晶圆图像的聚类程序被处理器执行时，实现如权利要求1至8中任一项所述的晶圆图像的聚类方法的步骤。
