本技术属于真空腔体气体流动喷淋,更具体地说,特别涉及一种气体流动增速装置。
背景技术:
1、目前,在真空腔体内进行气体喷淋作业,使得反应气体喷淋至待镀基体上,但是由于通入的气体流速过慢,导致反应气体无法完全附着在待镀基体上,导致喷淋效果差,不能均匀的镀膜,需要进行多次喷淋,喷淋时间长,使用外接设备增加气体流量对整体的气体流速并无太大影响,无法从根本解决流速问题,提高气体的流速手段较少,无法实现多角度提速,严重影响后续的喷淋作业。
技术实现思路
1、针对现有技术的不足,本实用新型提供了一种气体流动增速装置,以解决上述背景技术中提出的问题。
2、为实现以上目的,本实用新型通过以下技术方案予以实现:一种气体流动增速装置,包括增速箱,所述增速箱内部设置有底座,所述底座内安装有进气管,所述进气管一端安装有第一调节阀,所述第一调节阀一端安装有过渡管,所述过渡管一端装配密封有三通管,所述三通管另一端装配有提速管,所述提速管安装在增速箱内,所述提速管一端设置有变径管,所述变径管一端安装有第二调节阀,所述第二调节阀一端连接有排气管,所述底座上设置有增压机构,所述增压机构位于增速箱内,且一端通过第二增压管连接三通管,所述增速箱内还设置有冷却仓,所述冷却仓内设置有多个冷却机构。
3、优选的,所述变径管一端连接有提升弯管,所述提升弯管一端安装有第二调节阀。
4、优选的,所述排气管一端设置有拐角,且排气管的排气口方向与进气管的进气口方向一致。
5、优选的,所述排气管上固定有多个定位座,所述多个定位座固定在底座上。
6、优选的,所述增压机构包括充气泵,所述充气泵一端连接有第一增压管,所述第一增压管延伸出增压箱,连接第三调节阀,所述第三调节阀一端连接第二增压管,所述充气泵另一侧连通有空气过滤器,所述空气过滤器一端设置有过滤口。
7、优选的,所述多个冷却机构均包括冷却座,所述冷却座顶部设置有电动缸,所述电动缸推出端连接有金属压块,所述金属压块与提速管完全贴合,所述金属压块一侧设置有电子制冷器。
8、本实用新型提供了一种气体流动增速装置,具备以下有益效果:
9、该一种气体流动增速装置,通过设置提速管6以及一端连接的变径管可以加快气体流动速度,根据连续性方程,管道中的流速与管道的直径成反比,当管道的直径减小时,流速增加;当管道的直径增加时,流速减小;同时设置冷却仓,利用冷却后的金属压块对提速管进行冷却,从而降低管内温度,降低粘度,气体流动的速度进一步增加,通过设置充气泵可以对管内进行外接充气,增加管内压力,使得原先的气体速度再次提高,从而实现多层次加速流体,实现后续在真空腔体内的加速气体喷淋,整体的结构安全稳定性高。
1.一种气体流动增速装置,其特征在于:包括增速箱(1),所述增速箱(1)内部设置有底座(101),所述底座(101)内安装有进气管(2),所述进气管(2)一端安装有第一调节阀(3),所述第一调节阀(3)一端安装有过渡管(4),所述过渡管(4)一端装配密封有三通管(5),所述三通管(5)另一端装配有提速管(6),所述提速管(6)安装在增速箱(1)内,所述提速管(6)一端设置有变径管(601),所述变径管(601)一端安装有第二调节阀(8),所述第二调节阀(8)一端连接有排气管(9),所述底座(101)上设置有增压机构,所述增压机构位于增速箱(1)内,且一端通过第二增压管(111)连接三通管(5),所述增速箱(1)内还设置有冷却仓(15),所述冷却仓(15)内设置有多个冷却机构。
2.根据权利要求1所述的一种气体流动增速装置,其特征在于:所述变径管(601)一端连接有提升弯管(7),所述提升弯管(7)一端安装有第二调节阀(8)。
3.根据权利要求1所述的一种气体流动增速装置,其特征在于:所述排气管(9)一端设置有拐角,且排气管(9)的排气口(901)方向与进气管(2)的进气口(201)方向一致。
4.根据权利要求1所述的一种气体流动增速装置,其特征在于:所述排气管(9)上固定有多个定位座(14),所述多个定位座(14)固定在底座(101)上。
5.根据权利要求1所述的一种气体流动增速装置,其特征在于:所述增压机构包括充气泵(12),所述充气泵(12)一端连接有第一增压管(11),所述第一增压管(11)延伸出增压箱,连接第三调节阀(10),所述第三调节阀(10)一端连接第二增压管(111),所述充气泵(12)另一侧连通有空气过滤器(13),所述空气过滤器(13)一端设置有过滤口(131)。
6.根据权利要求1所述的一种气体流动增速装置,其特征在于:所述多个冷却机构均包括冷却座(151),所述冷却座(151)顶部设置有电动缸(152),所述电动缸(152)推出端连接有金属压块(153),所述金属压块(153)与提速管(6)完全贴合,所述金属压块(153)一侧设置有电子制冷器(154)。