本发明涉及电镀,本发明特别涉及一种压合式电镀花篮夹具。
背景技术:
1、电镀主要包含两种,一种为链式电镀设备,一种为槽式挂镀设备,以上两种设备均存在一些问题,针对链式电镀设备,其优点为产能高无电极夹点印,缺点是占地面积达,且硅片运行过程中,电镀液会带到阴极滚轮上,从而导致金属反镀到阴极滚轮上面,长时间量产中,阴极滚轮会由于镀层越来越厚,影响电镀均匀性,另外针对当前hjt电池特殊表面结构电镀前需在电池表面制备几十um厚度的掩膜待镀区仅几十um的宽度,常规滚轮方式待镀区很难稳定接触阴极;
2、另一类为槽式挂镀设备,其优点是工艺稳定性高,缺点是需要用夹具夹在电池片上为其阴极通电,常规夹具为硬着力,硅片呈垂直状两侧施力,夹的力道一般较大确保硅片和夹点处持续接触供阴极,这样导致碎片率极高,同时挂镀方式夹具需要在机械手或推杆等方式带动下使夹具连续运动,进一步增加了碎片可能。同时,在电镀时需要通过夹具将硅片夹住后才能浸入电镀液中进行电镀,现有技术中,通常是通过夹具单片夹设,此种方式硅片的装卸载效率较差。
3、本发明为了提升硅片电镀效率,提出了一种便于硅片装卸载的花篮夹具,用于槽式电镀设备,以实现高效率的连续电镀生产工艺。
技术实现思路
1、针对上述现有技术存在的问题和实际需求,本发明的目的在于提供一种压合式电镀花篮夹具,解决硅片电镀生产效率低的技术问题。
2、为解决上述问题,本发明的一种压合式电镀花篮夹具,包括:
3、承载框,其内周形成用于承载待电镀工件的空间,所述承载框内侧壁上设置有用于支撑所述待电镀工件第一表面的支撑结构;
4、弹性伸缩件,其贯穿伸缩设置在所述承载框上,所述弹性伸缩件的伸缩方向与所述所述承载框的所在平面垂直;
5、压合件,其与所述弹性伸缩件联动,所述压合件的压合头弹性抵触所述待电镀工件第二表面;
6、其中,所述压合件与阴极电源连接,所述压合件的压合头与所述待电镀工件第二表面的阴极电触点导电连接。
7、优选的,所述承载框内侧壁上均匀分布有多个所述支撑结构,所述支撑结构支撑在所述待电镀工件第一表面外周。
8、优选的,所述支撑结构为支撑平台,所述支撑平台凸出设置在所述承载框内侧壁下端,所述待电镀工件第一表面外周放置在所述支撑平台上。
9、优选的,多个所述承载框的至少一侧框体通过第一花篮架连接,各个所述承载框等间距平行分布。
10、优选的,所述压合件包括连接件、第一限位件、第一伸缩杆、第一弹簧和压合头,所述连接件与所述弹性伸缩件同步伸缩,所述第一限位件安装在所述连接件上方,所述第一伸缩杆伸缩设置在在所述连接件上,且所述第一伸缩杆的上端通过所述第一限位件限位,所述压合头一体设置在所述第一伸缩杆的下端,所述第一弹簧套设在所述压合头和第一限位件之间的所述第一伸缩杆上。
11、优选的,所述支撑结构上设置有导电接触点,所述导电接触点电连接至阴极电源,所述导电接触点与所述待电镀工件第一表面的阴极电触点导电接触。
12、优选的,所述压合件与所述支撑结构上下一一对应;所述导电接触点与所述待电镀工件第一表面的阴极电触点弹性导电接触。
13、优选的,所述弹性伸缩件包括第二伸缩杆、第二弹簧和第二限位件,所述第二伸缩杆垂直贯穿在所述承载框上,且所述第二伸缩杆被滑动限位在所述承载框上,所述第二限位件安装在所述第二伸缩杆顶部,所述第二弹簧套设在所述第二限位件和承载框之间的所述第二伸缩杆上。
14、优选的,还包括压紧框,其用于与所述承载框配对,将所述待电镀工件夹设在承载框和压紧框之间,所述弹性伸缩件依次垂直贯穿设置在所述压紧框和承载框上,且所述弹性伸缩件与所述压紧框同步伸缩,所述压紧框的内周壁上均匀设置有多个所述压合件。
15、优选的,多个所述压紧框的至少一侧框体通过第二伸缩杆连接,各个所述压紧框等间距平行分布,且所述压紧框与所述承载框一一配对。
16、优选的,当所述压紧框与承载框配对后,至少有一侧没有所述第一花篮架和第二伸缩杆。
17、优选的,所述压紧框内部导电,所述压紧框的外部绝缘,所述压合件外部绝缘,所述压合头的触头导电,所述压合头的触头依次通过所述第一伸缩杆、连接件与所述压紧框内部导电连接;所述第二伸缩杆外部绝缘,内部导电,所述第二伸缩杆与各个所述压紧框内部导电连接,所述第二伸缩杆的一端导电连接至所述阴极电源。
18、优选的,所述承载框底部和压紧框顶部通过所述第二弹簧弹性压合配对。
19、本发明的有益效果如下:
20、1、本发明采用多个承载框和压紧框分合式结构,载片率高,承载框和压紧框打开时,将硅片载入,释放时,在弹簧作用下,承载框和压紧框压合配对,易于多片硅片的连续装卸载,电镀效率更高。
21、2、本发明采用弹性导电接触件与硅片表面的阴极触点连接,既能保证与硅片的导电接触,又能避免因夹持力过大而导致硅片破损的弊端。
22、3、本发明通过花篮结构自身作为导电回路,简化的电镀设备。
23、本发明的其它优点、目标和特征将部分通过下面的说明体现,部分还将通过对本发明的研究和实践而为本领域的技术人员所理解。
1.一种压合式电镀花篮夹具,其特征在于,包括:
2.如权利要求1所述压合式电镀花篮夹具,其特征在于,所述承载框内侧壁上均匀分布有多个所述支撑结构,所述支撑结构支撑在所述待电镀工件第一表面外周。
3.如权利要求1所述压合式电镀花篮夹具,其特征在于,所述支撑结构为支撑平台,所述支撑平台凸出设置在所述承载框内侧壁下端,所述待电镀工件第一表面外周放置在所述支撑平台上。
4.如权利要求1所述压合式电镀花篮夹具,其特征在于,多个所述承载框的至少一侧框体通过第一花篮架连接,各个所述承载框等间距平行分布。
5.如权利要求1所述压合式电镀花篮夹具,其特征在于,所述压合件包括连接件、第一限位件、第一伸缩杆、第一弹簧和压合头,所述连接件与所述弹性伸缩件同步伸缩,所述第一限位件安装在所述连接件上方,所述第一伸缩杆伸缩设置在在所述连接件上,且所述第一伸缩杆的上端通过所述第一限位件限位,所述压合头一体设置在所述第一伸缩杆的下端,所述第一弹簧套设在所述压合头和第一限位件之间的所述第一伸缩杆上。
6.如权利要求2所述压合式电镀花篮夹具,其特征在于,所述支撑结构上设置有导电接触点,所述导电接触点电连接至阴极电源,所述导电接触点与所述待电镀工件第一表面的阴极电触点导电接触。
7.如权利要求3所述压合式电镀花篮夹具,其特征在于,所述压合件与所述支撑结构上下一一对应;所述导电接触点与所述待电镀工件第一表面的阴极电触点弹性导电接触。
8.如权利要求5所述压合式电镀花篮夹具,其特征在于,所述弹性伸缩件包括第二伸缩杆、第二弹簧和第二限位件,所述第二伸缩杆垂直贯穿在所述承载框上,且所述第二伸缩杆被滑动限位在所述承载框上,所述第二限位件安装在所述第二伸缩杆顶部,所述第二弹簧套设在所述第二限位件和承载框之间的所述第二伸缩杆上。
9.如权利要求8所述压合式电镀花篮夹具,其特征在于,还包括压紧框,其用于与所述承载框配对,将所述待电镀工件夹设在承载框和压紧框之间,所述弹性伸缩件依次垂直贯穿设置在所述压紧框和承载框上,且所述弹性伸缩件与所述压紧框同步伸缩,所述压紧框的内周壁上均匀设置有多个所述压合件。
10.如权利要求9所述压合式电镀花篮夹具,其特征在于,多个所述压紧框的至少一侧框体通过第二伸缩杆连接,各个所述压紧框等间距平行分布,且所述压紧框与所述承载框一一配对。
11.如权利要求10所述压合式电镀花篮夹具,其特征在于,当所述压紧框与承载框配对后,至少有一侧没有所述第一花篮架和第二伸缩杆。
12.如权利要求11所述压合式电镀花篮夹具,其特征在于,所述压紧框内部导电,所述压紧框的外部绝缘,所述压合件外部绝缘,所述压合头的触头导电,所述压合头的触头依次通过所述第一伸缩杆、连接件与所述压紧框内部导电连接;所述第二伸缩杆外部绝缘,内部导电,所述第二伸缩杆与各个所述压紧框内部导电连接,所述第二伸缩杆的一端导电连接至所述阴极电源。
13.如权利要求8所述压合式电镀花篮夹具,其特征在于,所述承载框底部和压紧框顶部通过所述第二弹簧弹性压合配对。