本发明涉及传输系统，具体涉及一种带片叉库的传输系统。
背景技术：
1、近年来，随着半导体行业的发展，对半导体加工工艺流程产率的要求越来越高。传输产率是影响半导体加工工艺流程产率的重要因素，为提升检测入库的效率，传统技术中不断提高传输机械手的运动性能，以满足效率要求。然而，随着工件台提速，镜头视场增大，双工件台等生产方式的实施，单纯通过提升传输机械手的运动性能已无法与高速工件台、大视场镜头、双工件台等工况匹配。
2、现有专利提供了一些解决方案，例如专利jp2013149703a，该专利提供了一种晶片输送装置，该装置能够防止晶片在收纳于盒中时被压碎。其中该输送装置包括有支承多个晶片的支承机构此外还设置有液体喷射机构，该液体喷射机构通过在多个晶片之间形成间隙，向由支承机构支承的多个晶片喷射液体。同时，该输送装置还设置有晶片接收机构，该机构能够接收位于多个晶片中的顶部的晶片。当输送晶片时，减速输送机使中继输送机输送晶片的旋转速度降低以避免输送过程中出现颠簸或发生损毁。但是该发明在传输的速率上仍有不足，在此，发明人认为还具有很大的改进空间。
技术实现思路
1、为了实现快速检测晶圆平面度以及实现预对准的目的，同时实现快速传输入库，避免晶圆在运输过程中发生破损的技术效果。
2、本发明提供了一种带片叉库的传输系统，该传输系统包括机械手，该机械手一侧设置有至少两个片库，所述机械手的另一侧设置有预对准装置，所述机械手被配置为能够从所述片库中取出晶片输送至所述预对准装置处，所述机械手还能够将检测完的晶片输送至另一处片库中。
3、进一步地，机械手能够将片库当中的晶片取出并进一步输送至预对准装置上进行检测对准，完成检测对准的晶片再通过机械手将其输送至另一处片库的入口处，入口内的定位板发生位移，同时机械手将晶片穿过入口放置在定位板上，定位板再发生位移将晶片进行存储。
4、本发明中，所述预对准装置包括基盘，所述基盘上方设置有电机，所述电机上安装有转向组件，所述转向组件的侧面设置有滑台，所述滑台上开设有滑槽，该滑槽上安装有检测探头。
5、进一步地，当晶片输送至预对准装置上时，机械手将晶片放置在转向组件上方连接的装载板，该装载板能够受转向组件驱动而发生运动，并通过滑槽上安装的检测探头进行检测，以此得知晶片当前的各项数据，对完成检测的且合格的晶片输送至片库当中。
6、值得一提的是，装载板上设置有槽口，便于机械手放置晶片以及晶片固定，同时转向组件能够驱动装载板进行转动以促使晶片装载板上进行转动，以此能够确定晶片当前的圆心，起到预对准的作用，对后续晶片的加工等起到有益的作用。
7、本发明中，所述转向组件包括转向外壳，该转向外壳内中心处安装有转动轴，所述转动轴外侧转动连接有转向轮，所述转向轮内部环绕布设有连接组件，所述转动轴一端连接有电机，所述转向轮的外侧安装有有固定组件。
8、进一步地，转向组件内设置的转动轴受电机驱动作用下进行转动，转向轴转动带动转向轮转动，转向轮上设有的连接组件，连接组件两端的弹性连杆分别与装载板底部和转向轮固定连接，转向轮转动使得装载板与转向轮发生同轴转动，由于晶圆平整度是指在通过晶片的直线上的厚度变化，常用两组上下相对的光谱聚焦传感器进行检测晶圆的上表面和下表面，因此转向轮旋转带动装载板转动以实现调整晶片至不同角度，便于对晶片平整度的测量。
9、本发明中，所述连接组件包括弹性基件，所述弹性基件为柱状结构，所述转向轮中心开设弧形槽，所述弹性基件的外壁与所述弧形槽相接触，所述弹性基件上开设有通孔，该通孔处配合安装有弹性连杆，所述弹性连杆一端与所述转向轮固定连接。
10、进一步地，弹性基件环绕转向轮阵列排布有利于确保装载板底部的平面度，同时装载板在运动过程中受到的震动通过先通过各个弹性连杆再传递至第二弹簧上，同时转向轮在旋转初始受到的驱动力以及旋转过程中的产生的离心力，由于弹性基件能够相对弹性连杆转动，转向轮转动时能够带动弹性基件转动，避免在转动过程中造成第二弹簧发生扭转，进而实现旋转的平稳性。
11、本发明中，所述弹性基件内安装有至少两个弹性连杆，弹性连杆底部设置有与弹性基件内壁尺寸相适配的凸起，所述弹性连杆之间通过第二弹簧固定连接，所述弹性连杆的另一端安装有装载板。
12、进一步地，在转动过程中，震动力传递弹性连杆再传递至第二弹簧使其产生细微形变，最后再将能量传递到外侧的弹性基件上进行消耗，即将震动能量向多个方向传播病进行消耗，通过转动的弹性基体以及第二弹簧的作用促使弹性连杆以及第二弹簧形成受力的整体，避免了震动能量向下方传递时导致弹性连杆以及弹性基体发生偏移，避免装载板发生抖动，进而确保了底部连接的平面度。此外，连接组件也相对的隔绝转向组件的温度，避免向上部的装载板传递，进而避免热量向装载板内夹持的晶片传递。
13、本发明中，所述片库包括片库外壳，所述片库外壳上开设有入口，所述片库外壳内设置有滑轨，所述滑轨上安装有定位板，所述定位板的底部通过杆体连接有顶升气缸。
14、进一步地，机械手将晶片送至入口处时，定位板受顶升气缸的作用向上爬升，定位板能够在滑轨上滑动，定位板滑移至适当的位置，机械手将晶片放置在定位板上，定位板再向下位移完成晶片入库，滑轨同样对晶片起到固定的作用。
15、本发明中，所述顶升气缸连接有的杆体包括第一推杆，所述第一推杆侧面并排设置有两根第二推杆，所述第一推杆与第二推杆设置于所述顶升气缸内，所述第一推杆与第二推杆的一端共同连接有定位板。
16、本发明中，所述顶升气缸内还设置有套筒，该套筒套设在第二推杆上，该套筒包括有套设贴紧在第二推杆表面的第一壳套，所述第一壳套外侧套设有第一限位壳套，该第一限位壳套下端开设有倒角，所述第一限位壳套下方还设置有第二限位壳套，所述第二限位壳套套设在第一壳套上，所述第二限位壳套下方连接有第三弹簧，该第三弹簧同样套设在第一壳套外侧，并且第三弹簧外侧设置有第二壳套，所述第二壳套的端部与第一限位壳套连接，该第二壳套上端内壁与第二限位壳套之间设置有伸缩基体，所述第一限位壳套内侧中部开设有凹槽，该凹槽处安装有滚珠，该滚珠可与第二推杆的表面相接。
17、进一步地，中间的第一推杆一端连接有定位板，定位板下方还连接有两根第二推杆，气缸输入气体推动中间的第一推杆向上运动，侧方的第二推杆受力带动向上运动，运动过程中第三弹簧发生收缩，进而控制定位板运动的速度逐渐变缓，避免工件以过快的运动速度向上运动导致工件表面与上方的机械手相撞。并且第二壳套与第一限位壳套之间可相对滑动并且也能够固定，当第二推杆运动时，第二推杆底部连接的板体能够带动第三弹簧收缩并进一步带动第二限位壳套向上运动，第二限位壳套向上延伸的凸起与第一限位壳套相接触形成抵接，此时第二推杆无法向上运动，即工件无法继续向上攀升，确保顶升气缸在带动工件向上位移的同时避免工件过度攀升导致撞坏晶片等。此外，还可以通过调整第一限位壳套与第二限位壳套之间的距离进而控制第二推杆的位移距离。
18、值得一提的是，在第一限位壳套中部设置了滚珠，该滚珠能够与第二推杆表面产生滚动接触，减少摩擦影响，避免在第二推杆上下位移的过程中带动第一限位壳套产生滑移，避免晶片在运输存储的过程中发生偏移导致受损。并且还在第二限位壳套与第一限位壳套之间设置有伸缩基体，由于第二推杆受第一推杆带动运动，其底部在运动过程中容易出现偏移的问题，通过设置伸缩基体，保证第二推杆在上下移动的过程中能够保持轴向平衡，避免底部的第三弹簧因第二推杆偏移从而导致行程未控制在设定范围内的问题出现。
19、与现有技术相比，本发明的显著进步在于：设置有转向组件，转向轮旋转带动装载板转动以实现调整晶片至不同角度，便于对晶片平整度的测量。在转动过程中，震动力传递弹性连杆再传递至第二弹簧使其产生细微形变，最后再将能量传递到外侧的弹性基件上进行消耗，即将震动能量向多个方向传播病进行消耗，通过转动的弹性基体以及第二弹簧的作用促使弹性连杆以及第二弹簧形成受力的整体，避免了震动能量向下方传递时导致弹性连杆以及弹性基体发生偏移，避免装载板发生抖动，进而确保了底部连接的平面度；此外，在第一限位壳套中部设置了滚珠，该滚珠能够与第二推杆表面产生滚动接触，减少摩擦影响，避免在第二推杆上下位移的过程中带动第一限位壳套产生滑移，避免晶片在运输存储的过程中发生偏移导致受损。
1.带片叉库的传输系统，其特征在于，该传输系统包括机械手（1），该机械手（1）一侧设置有至少两个片库（2），所述机械手（1）的另一侧设置有预对准装置（3），所述机械手（1）被配置为能够从所述片库（2）中取出晶片输送至所述预对准装置（3）处，所述机械手（1）还能够将检测完的晶片输送至另一处片库（2）中。
2.根据权利要求1所述的带片叉库的传输系统，其特征在于，所述预对准装置（3）包括基盘（31），所述基盘（31）上方设置有电机（42），所述电机（42）上安装有转向组件（4），所述转向组件（4）的侧面设置有滑台（33），所述滑台（33）上开设有滑槽（331），该滑槽（331）上安装有检测探头（34）。
3.根据权利要求2所述的带片叉库的传输系统，其特征在于，所述转向组件（4）包括转向外壳（41），该转向外壳（41）内中心处安装有转动轴（44），所述转动轴（44）外侧转动连接有转向轮（46），所述转向轮（46）内部环绕布设有连接组件（47），所述转动轴（44）一端连接有电机（42），所述转向轮（46）的外侧安装有有固定组件（43）。
4.根据权利要求3所述的带片叉库的传输系统，其特征在于，所述连接组件（47）包括弹性基件（472），所述弹性基件（472）为柱状结构，所述转向轮（46）中心开设弧形槽，所述弹性基件（472）的外壁与所述弧形槽相接触，所述弹性基件（472）上开设有通孔，该通孔处配合安装有弹性连杆（471），所述弹性连杆（471）一端与所述转向轮（46）固定连接。
5.根据权利要求4所述的带片叉库的传输系统，其特征在于，所述弹性基件（472）内安装有至少两个弹性连杆（471），弹性连杆（471）底部设置有与弹性基件（472）内壁尺寸相适配的凸起，所述弹性连杆（471）之间通过第二弹簧（473）固定连接，所述弹性连杆（471）的另一端安装有装载板（32）。
6.根据权利要求1所述的带片叉库的传输系统，其特征在于，所述片库（2）包括片库外壳（21），所述片库外壳（21）上开设有入口（22），所述片库外壳（21）内设置有滑轨（23），所述滑轨（23）上安装有定位板（24），所述定位板（24）的底部通过杆体连接有顶升气缸（25）。
7.根据权利要求6所述的带片叉库的传输系统，其特征在于，所述顶升气缸（25）连接有的杆体包括第一推杆（251），所述第一推杆（251）侧面并排设置有两根第二推杆（252），所述第一推杆（251）与第二推杆（252）设置于所述顶升气缸（25）内，所述第一推杆（251）与第二推杆（252）的一端共同连接有定位板（24）。
8.根据权利要求7所述的带片叉库的传输系统，其特征在于，所述顶升气缸25内还设置有套筒（5），该套筒（5）套设在第二推杆（252）上，该套筒（5）包括有套设贴紧在第二推杆（252）表面的第一壳套（51），所述第一壳套（51）外侧套设有第一限位壳套（52），该第一限位壳套（52）下端开设有倒角，所述第一限位壳套（52）下方还设置有第二限位壳套（53），所述第二限位壳套（53）套设在第一壳套（51）上，所述第二限位壳套（53）下方连接有第三弹簧（54），该第三弹簧（54）同样套设在第一壳套（51）外侧，并且第三弹簧（54）外侧设置有第二壳套（55），所述第二壳套（55）的端部与第一限位壳套（52）连接，该第二壳套（55）上端内壁与第二限位壳套（53）之间设置有伸缩基体（56），所述第一限位壳套（52）内侧中部开设有凹槽，该凹槽处安装有滚珠，该滚珠可与第二推杆（252）的表面相接触。
