本技术案基于2018年5月11日提出的日本专利申请案第2018-092485号而主张优先权，所述申请案的全部内容通过引用的方式并入到本文中。本发明关于处理衬底的衬底处理方法及衬底处理装置、与由衬底处理装置具备的控制装置执行的电脑程序。处理对象衬底包含例如半导体晶片、光盘用衬底、磁盘用衬底、磁光盘用衬底、光罩用衬底、陶瓷衬底、太阳能电池用衬底、液晶显示装置、有机el(electroluminescence，电致发光)显示装置等fpd(flat panel display，平板显示器)用衬底等。
背景技术：
1、半导体装置、液晶显示装置等的制造步骤中，使用对半导体晶片、液晶显示装置用玻璃衬底等衬底进行处理的衬底处理装置。专利文献1中，揭示一种用于具备多个处理单元的衬底处理装置的调度。
2、专利文献1记载的调度中，根据搬送路径长或搬送时间而将多个处理单元分类到多个处理区间。制作处理衬底的调度表时，从多个处理区间中选择1个处理区间。其后，从属于所选择的处理区间的多个处理单元中选择1个处理单元。调度表是以在所选择的处理单元中处理衬底的方式制作而成。通过执行所述调度表，而实际搬送及处理衬底。
3、另外，专利文献1记载的调度中，揭示了根据区间使用率的大小关系来选择处理区间，且在存在区间使用率相等的多个处理区间的情况下，基于区间最终使用时刻来选择处理区间。区间使用率是处理衬底所需要的时间除以处理所述衬底的处理区间中有效(可利用)处理单元的数量所得的值。
4、在专利文献1的段落0059中，记载了“将属于所述处理区间pz的处理单元mpc的单元最终时刻中最晚的时刻作为区间最终使用时刻登记到存储部63中”。在专利文献1的段落0099中，记载了“对区间使用率赋予第1优先顺序，对区间最终使用时刻赋予第2优先顺序，对区间编号(搬送距离或搬送时间)赋予第3优先顺序。但是，也可使区间最终使用时刻与区间使用率的优先顺序相反”。
5、背景技术文献
6、专利文献
7、专利文献1：日本专利特开2017-183545号公报
技术实现思路
1、[发明所要解决的问题]
2、专利文献1所记载的调度如下制作调度表：通过根据区间使用率的大小关系来选择处理区间，而均等地选择多个处理区间，均匀使用衬底处理装置所具备的所有处理单元。
3、但是，根据本发明者的研究可知，专利文献1记载的调度中，无法判断各处理区间中的衬底投入状况，因此存在如下情况，即，尽管在其它处理区间存在空闲的处理单元，但仍选择所有处理单元都在使用中的处理区间。
4、具体来说，可知在衬底的处理时间减少的情况下，选择该处理时间减少的处理区间。例如，如图17所示，尽管第1处理区间pz1及第2处理区间pz1中有空闲的处理单元mpc，但仍在属于第3处理区间pz3的处理单元mpc17中处理第6块衬底w6。所述情况下，需要推迟衬底w6的搬送直到处理单元mpc17空闲为止，导致衬底处理装置的运转率降低。因此，专利文献1记载的发明尚有改善的余地。
5、因此，本发明的目的之一在于，提供一种可均匀使用衬底处理装置所具备的所有处理单元，并且提高衬底处理装置的运转率的衬底处理方法、衬底处理装置及电脑程序。
6、[解决问题的技术手部段]
7、本发明的一实施方式提供一种衬底处理方法，其是由衬底处理装置执行的衬底处理方法，该衬底处理装置使衬底搬送系统将所述衬底从装载埠上的载具搬送到处理衬底的多个处理单元，且该衬底处理方法包含：所属确认步骤，确认所述多个处理单元的各者属于多个处理区间的哪一个，所述多个处理区间是根据将所述衬底从所述装载埠上的所述载具搬送到所述处理单元所需要的搬送时间、或表示从所述装载埠到所述处理单元的距离的搬送距离来分类；单元最终使用时刻取得步骤，针对所述多个处理单元的各者，取得表示为处理所述衬底而最后使用所述处理单元的时刻的单元最终使用时刻；修正单元最终使用时刻计算步骤，根据所述单元最终使用时刻取得步骤中取得的多个所述单元最终使用时刻与关于所述多个处理单元的所述搬送时间，针对所述多个处理单元的各者，计算表示相同的所述处理单元中从所述单元最终使用时刻减去所述搬送时间而得的时刻的修正单元最终使用时刻；区间最终使用时刻特定步骤，根据所述修正单元最终使用时刻计算步骤中所得的多个所述修正单元最终使用时刻，针对所述多个处理区间的各者，特定出表示属于相同的所述处理区间的多个所述处理单元的所述修正单元最终使用时刻中最早的时刻的区间最终使用时刻；区间选择步骤，根据所述区间最终使用时刻特定步骤中特定出的多个所述区间最终使用时刻，从所述多个处理区间中，选择所述区间最终使用时刻最早的1个所述处理区间；单元选择步骤，从属于所述区间选择步骤中选择的所述处理区间的多个所述处理单元中，选择1个所述处理单元；及衬底搬送步骤，使所述衬底搬送系统将所述衬底从所述装载埠上的所述载具，搬送到所述单元选择步骤中选择的所述处理单元。
8、根据所述构成，基于区间最终使用时刻来从多个处理区间中选择1个处理区间，而非基于区间使用率的大小关系来选择处理区间。而且，从属于所选择的处理区间的多个处理单元中选择1个处理单元。其后，通过衬底搬送系统将衬底从装载埠上的载具搬送到所选择的处理单元。因此，不仅在衬底的处理时间未变化的情况下，在衬底的处理时间减少的情况下，也可均等地选择多个处理区间，可均匀地使用衬底处理装置所具备的所有处理单元。由此，可提高衬底处理装置的运转率。
9、而且，区间最终使用时刻是根据最早的修正单元最终时刻而非根据最早的单元最终使用时刻来特定。修正单元最终使用时刻是从表示为处理衬底而最后使用处理单元的时刻的单元最终使用时刻，减去从装载埠上的载具将衬底搬送至处理单元所需要的搬送时间而得的时刻。因此，可减少多个处理区间之间的搬送时间差，可避免仅选择靠近装载埠的处理区间。由此，可更均等地选择多个处理区间。
10、本发明的另一个实施方式提供一种衬底处理方法，其是通过衬底处理装置而执行的衬底处理方法，所述衬底处理装置使衬底搬送系统将所述衬底从装载埠上的载具搬送到处理衬底的多个处理单元，所述衬底处理方法包含如下步骤：所属确认步骤，确认所述多个处理单元的各者属于多个处理区间的哪一个，所述多个处理区间是根据将所述衬底从所述装载埠上的所述载具搬送到所述处理单元所需要的搬送时间、或表示从所述装载埠到所述处理单元的距离的搬送距离来分类；单元最终使用时刻取得步骤，针对所述多个处理单元的各者，取得表示为处理所述衬底而最后使用所述处理单元的时刻的单元最终使用时刻；区间最终使用时刻特定步骤，根据所述单元最终使用时刻取得步骤中取得的多个所述单元最终使用时刻，针对所述多个处理区间的各者，特定出表示属于相同的所述处理区间的多个所述处理单元的所述单元最终使用时刻中最早时刻的区间最终使用时刻；区间选择步骤，根据所述区间最终使用时刻特定步骤中特定出的多个所述区间最终使用时刻，从所述多个处理区间中选择所述区间最终使用时刻最早的1个所述处理区间；单元选择步骤，从属于所述区间选择步骤中选择的所述处理区间的多个所述处理单元中，选择1个所述处理单元；及衬底搬送步骤，使所述衬底搬送系统将所述衬底从所述装载埠上的所述载具，搬送到所述单元选择步骤中选择的所述处理单元。
11、根据所述构成，基于区间最终使用时刻从多个处理区间中选择1个处理区间，而非基于区间使用率的大小关系来选择处理区间。而且，从属于所选择的处理区间的多个处理单元中选择1个处理单元。其后，通过衬底搬送系统将衬底从装载埠上的载具搬送到所选择的处理单元。因此，不仅在衬底的处理时间未变化的情况下，在衬底的处理时间减少的情况下，也可均等地选择多个处理区间，可均匀地使用衬底处理装置所具备的所有处理单元。由此，可提高衬底处理装置的运转率。
12、衬底处理的开始时刻可为衬底搬入到处理单元内的时刻，也可为衬底开始旋转的时刻，还可为所述时刻以外的时刻。衬底处理的结束时刻，也就是单元最终使用时刻可为将衬底从处理单元搬出的时刻，也可为衬底停止旋转的时刻，还可为所述时刻以外的时刻。将衬底搬入到处理单元内的时刻及从处理单元搬出的时刻，例如也可为开关设置在处理单元的处理腔室的开口的挡板开始向打开位置(打开开口的位置)移动的时刻。
13、所述2个实施方式中，也可将以下特征的至少一个加入到所述衬底处理方法中。
14、所述衬底处理方法在所述修正单元最终使用时刻计算步骤前，进而包含搬送时间登记步骤，登记相同值作为用于属于相同所述处理区间的多个所述处理单元的所述搬送时间。
15、根据所述构成，对于属于相同处理区间的多个处理单元，登记相同值作为搬送时间。即便是属于相同处理区间的多个处理单元，严格来说，搬送距离也不同，所以严格来说搬送时间也不同。但是，如果所属的处理区间相同，那么有轻微搬送时间差，所述处理单元间的搬送时间大致相等。因此，如果针对属于相同处理区间的多个处理单元登记相同值作为搬送时间，那么可减少所述处理区间之间的搬送时间差，并且简化搬送时间的设定。
16、所述区间选择步骤包含如下步骤：第1检索步骤，在所述多个处理区间中，检索所述区间最终使用时刻最早的所述处理区间；第2检索步骤，在所述第1检索步骤中找到多个所述处理区间为候补区间的情况下，在所述候补区间中所含的多个所述处理区间中，检索所述单元最终使用时刻最早的所述处理单元数最大的所述处理区间；及选择步骤，从所述第2检索步骤中找到的至少1个所述处理区间中选择1个所述处理区间。
17、根据所述构成，存在多个区间最终使用时刻最早的处理区间的情况下，从所述处理区间中，选择单元最终使用时刻最早的处理单元数最大的处理区间。对所选择的处理单元搬送衬底前，或对所选择的处理单元搬送衬底时，在所述处理单元发生异常的情况下，需要重新选择其它处理单元。此种情况下，如果在相同处理区间中存在单元最终使用时刻最早的其它处理单元，那么可选择所述处理单元作为新的处理单元。因此，可以相对简单的变更设定衬底的新的搬送路径。
18、所述区间选择步骤也可进而包含第3检索步骤，在所述第2检索步骤中找到多个所述处理区间的情况下，在所述第2检索步骤中找到的多个所述处理区间中，检索所述搬送时间或搬送距离最小的所述处理区间。所述情况下，所述选择步骤也可为从所述第3检索步骤中找到的至少1个所述处理区间中选择1个所述处理区间的步骤。
19、所述衬底处理方法在所述单元最终使用时刻取得步骤前，也可进而包含最终使用时刻初始化步骤，将所有所述处理单元的所述单元最终使用时刻变更为相同值(例如0)。
20、所述衬底处理方法进而包含衬底处理步骤，使所述单元选择步骤中选择的所述处理单元在所述衬底的搬送步骤后，以比搬送到所述多个处理单元的任一者的最近的衬底的处理时间短的处理时间，处理所述衬底。
21、根据所述构成，衬底的处理时间比最近的衬底进一步减少。此种情况下，因为根据区间最终使用时刻来从多个处理区间中选择1个处理区间，所以与根据区间使用率的大小关系来选择处理区间的情况相比，可均等地选择多个处理区间。因此，即便在衬底的搬送路径或处理时间不同的情况下，也可均匀地使用所有处理单元，可进一步提高衬底处理装置的运转率。
22、本发明的又一实施方式提供一种衬底处理装置，其具备：装载埠，载置收纳衬底的载具；多个处理单元，处理从所述装载埠上的所述载具搬送来的所述衬底；衬底搬送系统，在所述装载埠上的所述载具与所述多个处理单元间搬送所述衬底；及控制装置，控制所述衬底搬送系统。
23、所述控制装置执行：所属确认步骤，确认所述多个处理单元的各者属于多个处理区间的哪一个，所述多个处理单元是根据将所述衬底从所述装载埠上的所述载具搬送到所述处理单元所需要的搬送时间、或表示从所述装载埠到所述处理单元的距离的搬送距离来分类；单元最终使用时刻取得步骤，针对所述多个处理单元的各者，取得表示为处理所述衬底而最后使用所述处理单元的时刻的单元最终使用时刻；修正单元最终使用时刻计算步骤，根据所述单元最终使用时刻取得步骤中取得的多个所述单元最终使用时刻与关于所述多个单元的所述搬送时间，针对所述多个处理单元的各者，计算表示相同的所述处理单元中从所述单元最终使用时刻减去所述搬送时间而得的时刻的修正单元最终使用时刻；区间最终使用时刻特定步骤，根据所述修正单元最终使用时刻计算步骤中所得的多个所述修正单元最终使用时刻，针对所述多个处理区间的各者，特定出表示属于相同的所述处理区间的多个所述处理单元的所述修正单元最终使用时刻中最早时刻的区间最终使用时刻；区间选择步骤，根据所述区间最终使用时刻特定步骤中特定出的多个所述区间最终使用时刻，从所述多个处理区间中选择所述区间最终使用时刻最早的1个所述处理区间；单元选择步骤，从属于所述区间选择步骤中选择的所述处理区间的多个所述处理单元中，选择1个所述处理单元；及衬底搬送步骤，使所述衬底搬送系统将所述衬底从所述装载埠上的所述载具，搬送到所述单元选择步骤中选择的所述处理单元。根据所述构成，可发挥与所述效果相同的效果。
24、本发明的又一实施方式提供一种衬底处理装置，其具备：装载埠，载置收纳衬底的载具；多个处理单元，处理从所述装载埠上的所述载具搬送来的所述衬底；衬底搬送系统，在所述装载埠上的所述载具与所述多个处理单元间搬送所述衬底；及控制装置，控制所述衬底搬送系统。
25、所述控制装置执行：所属确认步骤，确认所述多个处理单元的各者属于多个处理区间的哪一个，所述多个处理区间是根据将所述衬底从所述装载埠上的所述载具搬送到所述处理单元所需要的搬送时间、或表示从所述装载埠到所述处理单元的距离的搬送距离来分类；单元最终使用时刻取得步骤，针对所述多个处理单元的各者，取得表示为处理所述衬底而最后使用所述处理单元的时刻的单元最终使用时刻；区间最终使用时刻特定步骤，根据所述单元最终使用时刻取得步骤中取得的多个所述单元最终使用时刻，针对所述多个处理单元的各者，特定出表示属于相同的所述处理区间的多个所述处理单元的所述单元最终使用时刻中最早时刻的区间最终使用时刻；区间选择步骤，根据所述区间最终使用时刻特定步骤中特定出的多个所述区间最终使用时刻，从所述多个处理区间中选择所述区间最终使用时刻最早的1个所述处理区间；单元选择步骤，从属于所述区间选择步骤中选择的所述处理区间的多个所述处理单元中，选择1个所述处理单元；及衬底搬送步骤，使所述衬底搬送系统将所述衬底从所述装载埠上的所述载具，搬送到所述单元选择步骤中选择的所述处理单元。根据所述构成，可发挥与所述效果相同的效果。
26、所述2个实施方式中，可将以下特征的至少一个加入到所述衬底处理装置中。
27、所述控制装置在所述修正单元最终使用时刻计算步骤前，进而执行搬送时间登记步骤，登记相同值作为用于属于相同的所述处理区间的多个所述处理单元的所述搬送时间。根据所述构成，可发挥与所述效果相同的效果。
28、所述区间选择步骤包含如下步骤：第1检索步骤，在所述多个处理区间中检索所述区间最终使用时刻最早的所述处理区间；第2检索步骤，在所述第1检索步骤中找到多个所述处理区间为候补区间的情况下，在所述候补区间中所含的多个所述处理区间中，检索所述单元最终使用时刻最早的所述处理单元的数最大的所述处理区间；及选择步骤，从所述第2检索步骤中找到的至少1个所述处理区间中，选择1个所述处理区间。根据所述构成，可发挥与所述效果相同的效果。
29、所述控制装置进一步执行衬底处理步骤，使所述单元选择步骤中选择的所述处理单元在所述衬底搬送步骤后，以比搬送到所述多个处理单元的任一者的最近的衬底的处理时间短的处理时间，处理所述衬底。根据所述构成，可发挥与所述效果相同的效果。
30、本发明的又一个实施方式提供一种电脑程序，其是由衬底处理装置所具备的控制装置来执行的电脑程序，所述衬底处理装置使衬底搬送系统将所述衬底从装载埠上的载具搬送到处理衬底的多个处理单元，且所述电脑程序以使作为所述控制装置的电脑执行所述衬底处理方法的至少一个的方式组入有步骤群。所述电脑程序也可记录在电脑可读取的记录介质。记录介质可为高密度磁盘等光盘，也可为存储卡等半导体存储器。
31、本发明中上文所述者、或者除此以外的其它目的、特征及效果，将会通过以下参照附图叙述的实施方式的说明而变得明确。
1.一种衬底处理方法，其是由衬底处理装置执行的衬底处理方法，所述衬底处理装置具备：形成与装载埠的距离不同的多个处理区间，而处理衬底的多个处理单元，且使衬底搬送系统将所述衬底从所述装载埠上的载具搬送到所述多个处理单元，且所述衬底处理方法包含：
2.根据权利要求1所述的衬底处理方法，其中在所述修正单元最终使用时刻计算步骤前，进而包含搬送时间登记步骤，登记相同值作为用于属于相同的所述处理区间的多个所述处理单元的所述搬送时间。
3.一种衬底处理方法，其是由衬底处理装置执行的衬底处理方法，所述衬底处理装置具备：形成与装载埠的距离不同的多个处理区间，而处理衬底的多个处理单元，且使衬底搬送系统将所述衬底从所述装载埠上的载具搬送到所述多个处理单元，且所述衬底处理方法包含：
4.根据权利要求1至3中任一项所述的衬底处理方法，其中所述区间选择步骤包含：第1检索步骤，在所述多个处理区间中，检索所述区间最终使用时刻最早的所述处理区间；第2检索步骤，在所述第1检索步骤中找到多个所述处理区间作为候补区间的情况下，在所述候补区间所含的多个所述处理区间中，检索所述单元最终使用时刻最早的所述处理单元数最大的所述处理区间；及选择步骤，从所述第2检索步骤中找到的至少1个所述处理区间中，选择1个所述处理区间。
5.根据权利要求1至3中任一项所述的衬底处理方法，其进而包含衬底处理步骤，使所述单元选择步骤中选择的所述处理单元在所述衬底搬送步骤后，以比搬送到所述多个处理单元的任一者的最近的衬底处理时间短的处理时间，处理所述衬底。
6.一种衬底处理装置，其包含：
7.根据权利要求6所述的衬底处理装置，其中所述控制装置在所述修正单元最终使用时刻计算步骤前，进一步执行搬送时间登记步骤，登记相同值作为用于属于相同的所述处理区间的多个所述处理单元的所述搬送时间。
8.一种衬底处理装置，其包含：
9.根据权利要求6至8中任一项所述的衬底处理装置，其中所述区间选择步骤包含：第1检索步骤，在所述多个处理区间中检索所述区间最终使用时刻最早的所述处理区间；第2检索步骤，在所述第1检索步骤中找到多个所述处理区间作为候补区间的情况下，在所述候补区间所含的多个所述处理区间中，检索所述单元最终使用时刻最早的所述处理单元数最大的所述处理区间；及选择步骤，从所述第2检索步骤中找到的至少1个所述处理区间中，选择1个所述处理区间。
10.根据权利要求6至8中任一项所述的衬底处理装置，其中所述控制装置进一步执行衬底处理步骤，使所述单元选择步骤中选择的所述处理单元在所述衬底搬送步骤后，以比搬送到所述多个处理单元的任一者的最近的衬底处理时间短的处理时间，处理所述衬底。
11.一种记录电脑程序的电脑可读取的记录媒介，其是由衬底处理装置所具备的控制装置执行的，所述衬底处理装置具备：形成与装载埠的距离不同的多个处理区间，而处理衬底的多个处理单元，且使衬底搬送系统将所述衬底从装载埠上的载具搬送到所述多个处理单元，且
