一种单晶炉炉体的制作方法

专利2025-11-04  3


本技术涉及单晶炉,尤其涉及一种单晶炉炉体。


背景技术:

1、单晶炉,全自动直拉单晶生长炉,是一种在惰性气体(氮气、氦气为主)环境中,用石墨加热器将多晶硅等多晶材料熔化,用直拉法生长无错位单晶的设备。

2、公开号为cn207331106u的实用新型专利,公开了一种单晶炉的高真空炉体,针对现今市场上单晶炉在经过一段时间作业后,会存在单晶炉内无法继续保持高真空状态的问题,这样会使单晶炉中存在一定量的气体,这些气体内必然会存在一些杂质,这些杂质会影响到晶体的生长,在单晶炉工作时,会对铱锅中的原料铱造成一定的损耗,从而造成生产成本的提高,所以对传统的单晶炉进行改进,炉体密封效果好,抽真空时多增加了扩散泵,在真空泵对炉体抽真空完成时,对炉体进行二次抽真空,使炉内达到高真空状态,避免炉内混入杂质气体,降低了对铱锅中的原料铱的损耗,间接降低了成本。

3、在现有单晶炉技术中,依靠加热器对炉体加热,以便于对多晶材料加热,加热速度较慢,且对炉体加热时,炉体内部的多晶材料是相对静态的,使得炉体内部的多晶材料容易因为受热不均匀,而产生加热并熔化不均匀的现象,使得对多晶材料加热熔化的效率降低,导致加热工作的时间较长,从而降低了加热后单晶的质量,在对单晶炉加热使用的过程中,防护性较低,使得单晶炉在误受到外界力量撞击时,容易产生倾倒歪斜,从而导致内部多晶材料演变成单晶的过程发生不稳定,使得单晶生长过程不顺利,从而会发生演变不出单晶的现象,使得多晶材料造成浪费,且单晶炉受到撞击时,会导致单晶炉发生损坏,降低了单晶炉的使用寿命,从而增加了维修成本。


技术实现思路

1、本实用新型的目的是为了解决现有技术中存在的缺点,而提出的一种单晶炉炉体。

2、为了实现上述目的,本实用新型采用了如下技术方案:一种单晶炉炉体,包括加热炉,所述加热炉的外侧顶端固定连接有外壳,所述外壳的内侧底端固定连接有两个风机,所述外壳的底端中部设置有多个进风孔,所述外壳的内侧固定连接有加热板,所述外壳的顶端右侧设置有多个出风孔,所述加热炉的顶端中部固定连接有电机,所述电机的输出端固定连接有搅拌架,所述加热炉的外侧固定连接有加热套,所述外壳的内壁设置有保温层。

3、作为上述技术方案的进一步描述:

4、所述外壳的外侧固定连接有多个固定管,所述固定管的内侧固定连接有限位圈,所述固定管的另一端固定连接有弹簧,所述弹簧的另一端固定连接有防护板,多个所述防护板的相对侧均固定连接有挤压柱,所述挤压柱的另一端固定连接有限位板。

5、作为上述技术方案的进一步描述:

6、所述外壳的底端外侧固定连接有稳定座,所述稳定座的底端固定连接有多个万向轮。

7、作为上述技术方案的进一步描述:

8、所述加热炉的顶端左侧固定连接有进料管,所述进料管的另一端螺纹连接有螺纹盖。

9、作为上述技术方案的进一步描述:

10、所述加热炉的底端前侧固定连接有出料管,所述出料管的外侧中部贯穿外壳的底端前侧。

11、作为上述技术方案的进一步描述:

12、所述搅拌架的另一端内转动连接在加热炉的内侧底端,所述风机的顶端设置在加热板的底端。

13、作为上述技术方案的进一步描述:

14、所述弹簧的内侧设置在挤压柱的外侧,所述限位板的外侧滑动连接在固定管的内侧。

15、本实用新型具有如下有益效果:

16、1、本实用新型中,通过风机、进风孔、加热板、出风孔、电机、搅拌架、加热套、保温层的相互配合下,对单晶炉增强了加热的功能,使得内部多晶材料在加热过程中能够受热均匀,降低了多晶材料受热不均的现象,缩短了加热熔化多晶材料的时间,便于快速加热,从而提高了加热熔化的工作效率,提高了单晶形成的质量。

17、2、本实用新型中,通过固定管、限位圈、弹簧、防护板、挤压柱的相互配合下,对单晶炉增加了便于防护的功能,减少了单晶炉在受到外界力量撞击时,产生倾倒发生损坏的可能性,增加了单晶炉内部加热时的稳定性,减少了多晶材料资源产生浪费的现象,降低了维修成本,延长了单晶炉的使用寿命。



技术特征:

1.一种单晶炉炉体,包括加热炉(1),其特征在于:所述加热炉(1)的外侧顶端固定连接有外壳(2),所述外壳(2)的内侧底端固定连接有两个风机(3),所述外壳(2)的底端中部设置有多个进风孔(4),所述外壳(2)的内侧固定连接有加热板(5),所述外壳(2)的顶端右侧设置有多个出风孔(6),所述加热炉(1)的顶端中部固定连接有电机(7),所述电机(7)的输出端固定连接有搅拌架(8),所述加热炉(1)的外侧固定连接有加热套(9),所述外壳(2)的内壁设置有保温层(10)。

2.根据权利要求1所述的一种单晶炉炉体,其特征在于:所述外壳(2)的外侧固定连接有多个固定管(11),所述固定管(11)的内侧固定连接有限位圈(12),所述固定管(11)的另一端固定连接有弹簧(13),所述弹簧(13)的另一端固定连接有防护板(14),多个所述防护板(14)的相对侧均固定连接有挤压柱(15),所述挤压柱(15)的另一端固定连接有限位板(16)。

3.根据权利要求1所述的一种单晶炉炉体,其特征在于:所述外壳(2)的底端外侧固定连接有稳定座(17),所述稳定座(17)的底端固定连接有多个万向轮(18)。

4.根据权利要求1所述的一种单晶炉炉体,其特征在于:所述加热炉(1)的顶端左侧固定连接有进料管(19),所述进料管(19)的另一端螺纹连接有螺纹盖(21)。

5.根据权利要求4所述的一种单晶炉炉体,其特征在于:所述加热炉(1)的底端前侧固定连接有出料管(20),所述出料管(20)的外侧中部贯穿外壳(2)的底端前侧。

6.根据权利要求1所述的一种单晶炉炉体,其特征在于:所述搅拌架(8)的另一端内转动连接在加热炉(1)的内侧底端,所述风机(3)的顶端设置在加热板(5)的底端。

7.根据权利要求2所述的一种单晶炉炉体,其特征在于:所述弹簧(13)的内侧设置在挤压柱(15)的外侧,所述限位板(16)的外侧滑动连接在固定管(11)的内侧。


技术总结
本技术涉及单晶炉技术领域,公开了一种单晶炉炉体,包括加热炉,加热炉的外侧顶端固定连接有外壳,外壳的内侧底端固定连接有两个风机,外壳的底端中部设置有多个进风孔,外壳的内侧固定连接有加热板,外壳的顶端右侧设置有多个出风孔,加热炉的顶端中部固定连接有电机,电机的输出端固定连接有搅拌架,加热炉的外侧固定连接有加热套,外壳的内壁设置有保温层。本技术中,增强了加热的功能,使得内部多晶材料在加热过程中能够受热均匀,降低了多晶材料受热不均的现象,缩短了加热熔化多晶材料的时间,便于快速加热,从而提高了加热熔化的工作效率,提高了单晶形成的质量。

技术研发人员:张小强
受保护的技术使用者:常州卓腾机械科技有限公司
技术研发日:20231025
技术公布日:2024/6/26
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