本技术涉及太阳能电池制造领域，尤其涉及门阀以及加载腔或卸载腔。
背景技术：
1、薄膜/晶硅异质结太阳能电池(以下简称异质结太阳能电池，又可称hit或shj太阳能电池)属于第三代高效太阳能电池技术，它结合了第一代晶硅与第二代硅薄膜的优势，具有转换效率高、温度系数低等特点，特别是双面异质结太阳能电池转换效率可以达到26％以上，具有广阔的市场前景。
2、在异质结太阳能电池制造中，需要通过等离子增强化学气相沉积(plasmaenhanced chemical vapor deposition，pecvd)设备进行pecvd工艺，在硅片上沉积p型非晶硅、n型非晶硅以及本征i型非晶硅薄膜。pecvd设备会在其pecvd反应腔之前设置有加载(load lock in；lli)腔，在其之后设置有卸载(load lock out；llo)腔，承载有硅片的托盘或载板进入常压下的lli腔，然后对lli腔抽真空后，开启pecvd反应腔将托盘从lli腔传送至其中。完成pecvd工艺后，开启同样处于真空状态的llo腔将托盘从pecvd反应腔传送至llo腔中。lli腔和llo腔的设置可避免pecvd反应腔频繁破真空。
3、随着异质结太阳能电池产能的增加，lli腔和llo腔的体积也大幅增加，对应的门阀也相应增大。参见图1至图3，现有技术中的门阀包括升降模块1、导轨模块2、阀板3、阀板框架4以及遮蔽罩5，lli腔或llo腔的腔壁上开设有与阀板3相匹配的阀口(未图示)，所述导轨模块2竖直安装在阀口附近的腔壁上，所述阀板框架4围绕阀板3固定并在所述升降模块1的驱动下沿着所述导轨模块2升降。
4、如图2所示，所述阀板框架4包括相互固定连接的横梁40以及两根导向杆42，所述阀板3悬固在两根导向杆42上，两根导向杆42上均设置有与所述导轨模块2的导轨槽20相匹配的多个滚动件422、424，所述阀板框架4通过所述滚动件422、424在所述导轨模块2的导轨槽20中的滚动而由升降模块1驱动升降。
5、操作人员在腔门区域操作进行维护等操作时，需将门阀完全打开，即将阀板3升到最高位置并且停留在此位置。现有技术中并没有针对阀板3意外下落的安全装置，使得人员在操作时存在一定的安全隐患。
6、因此，如何提供一种门阀以及加载腔或卸载腔，从而能有效防止误操作，增加门阀的安全性，已成为业内亟待解决的技术难题。
技术实现思路
1、针对现有技术的上述问题，本实用新型提出了一种门阀，包括升降模块、导轨模块、阀板以及阀板框架，所述导轨模块竖直安装在阀口附近的腔体壁上，所述阀板框架围绕阀板固定并在所述升降模块的驱动下沿着所述导轨模块升降，所述导轨模块在对应阀板框架到达门阀打开的位置处开设有第一销孔，与所述第一销孔相匹配的安全销穿过所述第一销孔到达能支撑所述阀板框架的支撑位，以在所述阀板意外落下时提供支撑；所述导轨模块临近第一销孔还设置有到位感应器，所述到位感应器在所述安全销到达所述支撑位后发送触发信号给所述升降模块，所述升降模块在接收到触发信号后停止升降所述阀板框架。
2、可选的，所述多个滚动件包括均为滚动轴承的第一滚动件以及第二滚动件，所述第一滚动件能沿着导轨槽的底面滚动，所述第二滚动件能沿着导轨槽的侧面滚动。
3、可选的，所述升降模块包括控制器以及两个并列设置的液压气缸，所述控制器接收到所述触发信号时停止驱动液压气缸作动。
4、可选的，两个液压气缸的输出轴固定连接在所述横梁的两端，并且位于两根导向杆与所述横梁的连接位置的内侧或外侧。
5、可选的，所述门阀还包括与导轨模块相同数量的遮蔽罩，每个遮蔽罩遮盖相应的导轨模块以及导向杆，所述遮蔽罩对应第一销孔开设有相对应的开口，所述安全销经由所述开口以及第一销孔到达所述支撑位。
6、可选的，所述安全销位于支撑位时，所述安全销位于所述阀板框架的导向杆下侧且距离所述导向杆0.5-1厘米。
7、可选的，所述安全销位于支撑位时，所述安全销还位于所述导向杆上对应开设的第二销孔中。
8、可选的，所述到位感应器为临近所述第一销孔设置在所述导轨模块上的触动开关。
9、根据本实用新型的另一方面，本实用新型还公开了一种加载腔或卸载腔，其包括腔体壁、开设在腔体壁上阀口以及与所述阀口相匹配的门阀，所述门阀为上述任一项所述的门阀。
10、与现有技术中的门阀没有针对阀板设置安全机构导致操作人员在阀板升起状态下进行操作存在安全隐患相比，本实用新型的门阀包括升降模块、导轨模块、阀板以及阀板框架，所述导轨模块竖直安装在阀口附近的腔体壁上，所述阀板框架围绕阀板固定并在所述升降模块的驱动下沿着所述导轨模块升降，所述导轨模块在对应阀板框架到达门阀打开的位置处开设有第一销孔，与所述第一销孔相匹配的安全销穿过所述第一销孔到达能支撑所述阀板框架的支撑位，以在所述阀板意外落下时提供支撑；所述导轨模块临近第一销孔还设置有到位感应器，所述到位感应器在所述安全销到达所述支撑位后发送触发信号给所述升降模块，所述升降模块在接收到触发信号后停止升降所述阀板框架。
11、本实用新型优点在于：可以防止误操作，提高门阀的安全性，防止安全事故。
1.一种门阀，包括升降模块、导轨模块、阀板以及阀板框架，所述导轨模块竖直安装在阀口附近的腔体壁上，所述阀板框架围绕阀板固定并在所述升降模块的驱动下沿着所述导轨模块升降，其特征在于，所述导轨模块在对应阀板框架到达门阀打开的位置处开设有第一销孔，与所述第一销孔相匹配的安全销穿过所述第一销孔到达能支撑所述阀板框架的支撑位，以在所述阀板意外落下时提供支撑；所述导轨模块临近第一销孔还设置有到位感应器，所述到位感应器在所述安全销到达所述支撑位后发送触发信号给所述升降模块，所述升降模块在接收到触发信号后停止升降所述阀板框架。
2.根据权利要求1所述的门阀，其特征在于，所述阀板框架包括相互固定连接的横梁以及两根导向杆，所述阀板悬固在两根导向杆上，两根导向杆上均设置有与所述导轨模块的导轨槽相匹配的多个滚动件，所述阀板框架通过所述滚动件在所述导轨模块的导轨槽中的滚动而由所述升降模块驱动升降。
3.根据权利要求2所述的门阀，其特征在于，所述多个滚动件包括均为滚动轴承的第一滚动件以及第二滚动件，所述第一滚动件能沿着导轨槽的底面滚动，所述第二滚动件能沿着导轨槽的侧面滚动。
4.根据权利要求2所述的门阀，其特征在于，所述升降模块包括控制器以及两个并列设置的液压气缸，所述控制器接收到所述触发信号时停止驱动液压气缸作动。
5.根据权利要求3所述的门阀，其特征在于，两个液压气缸的输出轴固定连接在所述横梁的两端，并且位于两根导向杆与所述横梁的连接位置的内侧或外侧。
6.根据权利要求3所述的门阀，其特征在于，所述门阀还包括与导轨模块相同数量的遮蔽罩，每个遮蔽罩遮盖相应的导轨模块以及导向杆，所述遮蔽罩对应第一销孔开设有相对应的开口，所述安全销经由所述开口以及第一销孔到达所述支撑位。
7.根据权利要求2所述的门阀，其特征在于，所述安全销位于支撑位时，所述安全销位于所述阀板框架的导向杆下侧且距离所述导向杆0.5-1厘米。
8.根据权利要求2所述的门阀，其特征在于，所述安全销位于支撑位时，所述安全销还位于所述导向杆上对应开设的第二销孔中。
9.根据权利要求2所述的门阀，其特征在于，所述到位感应器为临近所述第一销孔设置在所述导轨模块上的触动开关。
10.一种加载腔或卸载腔，其包括腔体壁、开设在腔体壁上阀口以及与所述阀口相匹配的门阀，其特征在于，所述门阀为权利要求1至9中任一项所述的门阀。
