一种无损透视视觉检测设备的制作方法

专利2025-11-10  1


本发明涉及集成电路加工,特别涉及一种无损透视视觉检测设备。


背景技术:

1、集成电路(ic)是一种电子器件或部件,它通过特定的制造工艺,将晶体管、电阻、电容、电感等元件以及它们之间的布线集成在一起,制作在小块或几块半导体晶片或介质基片上,形成一个整体后再封装到管壳内,构成具有特定电路功能的微型结构,在封装完成后,集成电路ic会加装到基板上,各个集成电路之间会组成一个可以实现完整电路的大型电路板,而集成电路在组装完成后,需要检测管壳内部的基片以及元器件等是否发生损坏、连接不牢靠,或者是否存在缺陷,以及会对大型电路板是否存在其他缺陷进行检测,目前常用的检测方式为无损透视视觉检测,采用非破坏性手段向电路板发送信号,并接收穿过电路板后的信号,根据信号前后的强度差异转化成对比图像进行可视化,从而揭示出集成电路内部的结构特征、缺陷、空洞、裂纹或者装配错误以及电路板的连接错误等信息,目前的检测设备在长期的使用中,其信号的发射和接收部件可能会存在损坏,导致成像结果存在差异,容易发生误判,将完好的集成电路判断成有缺陷的集成电路。


技术实现思路

1、鉴于此,本发明提出一种无损透视视觉检测设备,可以通过缺陷元器件以及模拟引脚对x射线的发射、接收、图像成像以及缺陷检测等功能进行自检,验证检测设备功能是否正常,在出现异常时可以及时进行维修维护。

2、本发明的技术方案是这样实现的:

3、一种无损透视视觉检测设备,包括上位机、x射线发生器、x射线探测器、顶板、检测板、底板以及自检机构,所述顶板、检测板以及底板由上至下依次设置,所述检测板上设置有检测开口,所述x射线发生器设置在顶板下表面,并位于检测开口上方,所述x射线探测器设置在底板上表面,并位于检测开口下方;所述自检机构包括液压杆、移动框、模拟基板、缺陷元器件以及模拟引脚,所述液压杆设置在检测板上表面,其输出轴与移动框外壁连接,所述模拟基板位于移动框内,所述模拟引脚连接模拟基板顶面以及移动框顶面,所述缺陷元器件设置在模拟基板顶面,所述检测开口位于模拟基板的移动路径下方;所述模拟引脚包括空心管、金属杆、复位弹簧、电磁铁以及固定杆,所述固定杆底端设置在移动框顶面,所述空心管顶端与模拟基板顶面连接,其底端开口,所述金属杆顶端伸入空心管中,其底端与固定杆顶端抵接,所述复位弹簧连接金属杆顶端以及空心管内顶面,所述电磁铁设置在空心管内部,并位于金属杆远离固定杆的端部一侧;所述上位机设置在底板一侧,并分别与x射线发生器、x射线探测器、液压杆以及电磁铁数据连接。

4、优选的,所述固定杆顶端设置有容纳腔,所述金属杆底端设置有嵌入头,所述嵌入头嵌入容纳腔中。

5、优选的,还包括连杆,所述连杆连接顶板下表面和检测板上表面以及检测板下表面和底板上表面。

6、优选的,还包括夹紧机构,所述夹紧机构包括承载板、螺杆以及夹紧板,所述承载板侧壁与检测板同一侧的连杆侧壁连接,所述螺杆穿过承载板,并与承载板螺接,所述夹紧板设置在检测开口两侧,所述螺杆端部与夹紧板侧壁连接。

7、优选的,所述夹紧机构还包括主动齿轮、从动齿轮、旋转电机以及安装台,所述安装台和从动齿轮设置在螺杆上,所述旋转电机设置在安装台顶面,其输出轴与主动齿轮连接,所述主动齿轮与从动齿轮啮合,所述上位机与旋转电机数据连接。

8、优选的,所述夹紧机构还包括橡胶垫片,所述橡胶垫片设置在夹紧板相对的侧壁上。

9、优选的,所述自检机构还包括倾斜杆,所述检测开口两侧的检测板上表面设置有滑槽,所述倾斜杆顶端与移动框底面连接,其底端位于滑槽中。

10、优选的,所述自检机构还包括金属板、弹性碰珠、电动滑台、伸缩杆以及磁性板,所述模拟基板上表面设置有若干定位槽,所述金属板设置在缺陷元器件两侧,所述弹性碰珠设置在金属板底面,并嵌入定位槽中,所述电动滑台相对设置在检测板顶面,所述模拟基板位于电动滑台之间,所述伸缩杆设置在电动滑台的动子顶面,其输出轴与磁性板侧壁连接,所述缺陷元器件位于磁性板之间,所述上位机分别与电动滑台以及伸缩杆数据连接。

11、优选的,所述模拟引脚还包括套筒以及移动杆,所述套筒设置在空心管内顶面,所述复位弹簧位于套筒中,所述移动杆一端伸入套筒中与移动杆连接,另一端与金属杆顶端连接。

12、与现有技术相比,本发明的有益效果是:

13、本发明的一种无损透视视觉检测设备,待检测的集成电路可以置于检测开口上方,x射线发生器发出的射线穿过待检测集成电路,并被检测开口下方的x射线探测器接收,上位机根据x射线前后强度的差异可以进行成像,以判断待检测集成电路的缺陷,而在检测开口一侧设置了自检机构,液压杆可以通过移动框将模拟基板移动到检测开口上,模拟基板上设置有缺陷元器件,同时模拟基板与移动框之间通过模拟引脚连接,模拟引脚可以通过控制电磁铁的通断电来实现引脚断裂的模拟,然后x射线发生器可以向模拟基板发射x射线,通过成像的图像来检查整个设备是否在缺陷元器件处以及断裂的模拟引脚处检测出缺陷,从而实现对检测设备的自检,若设备出现故障时,可以及时进行维修维护。



技术特征:

1.一种无损透视视觉检测设备,其特征在于,包括上位机、x射线发生器、x射线探测器、顶板、检测板、底板以及自检机构,所述顶板、检测板以及底板由上至下依次设置,所述检测板上设置有检测开口,所述x射线发生器设置在顶板下表面,并位于检测开口上方,所述x射线探测器设置在底板上表面,并位于检测开口下方;所述自检机构包括液压杆、移动框、模拟基板、缺陷元器件以及模拟引脚,所述液压杆设置在检测板上表面,其输出轴与移动框外壁连接,所述模拟基板位于移动框内,所述模拟引脚连接模拟基板顶面以及移动框顶面,所述缺陷元器件设置在模拟基板顶面,所述检测开口位于模拟基板的移动路径下方;所述模拟引脚包括空心管、金属杆、复位弹簧、电磁铁以及固定杆,所述固定杆底端设置在移动框顶面,所述空心管顶端与模拟基板顶面连接,其底端开口,所述金属杆顶端伸入空心管中,其底端与固定杆顶端抵接,所述复位弹簧连接金属杆顶端以及空心管内顶面,所述电磁铁设置在空心管内部,并位于金属杆远离固定杆的端部一侧;所述上位机设置在底板一侧,并分别与x射线发生器、x射线探测器、液压杆以及电磁铁数据连接。

2.根据权利要求1所述的一种无损透视视觉检测设备,其特征在于,所述固定杆顶端设置有容纳腔,所述金属杆底端设置有嵌入头,所述嵌入头嵌入容纳腔中。

3.根据权利要求1所述的一种无损透视视觉检测设备,其特征在于,还包括连杆,所述连杆连接顶板下表面和检测板上表面以及检测板下表面和底板上表面。

4.根据权利要求3所述的一种无损透视视觉检测设备,其特征在于,还包括夹紧机构,所述夹紧机构包括承载板、螺杆以及夹紧板,所述承载板侧壁与检测板同一侧的连杆侧壁连接,所述螺杆穿过承载板,并与承载板螺接,所述夹紧板设置在检测开口两侧,所述螺杆端部与夹紧板侧壁连接。

5.根据权利要求4所述的一种无损透视视觉检测设备,其特征在于,所述夹紧机构还包括主动齿轮、从动齿轮、旋转电机以及安装台,所述安装台和从动齿轮设置在螺杆上,所述旋转电机设置在安装台顶面,其输出轴与主动齿轮连接,所述主动齿轮与从动齿轮啮合,所述上位机与旋转电机数据连接。

6.根据权利要求4所述的一种无损透视视觉检测设备,其特征在于,所述夹紧机构还包括橡胶垫片,所述橡胶垫片设置在夹紧板相对的侧壁上。

7.根据权利要求1所述的一种无损透视视觉检测设备,其特征在于,所述自检机构还包括倾斜杆,所述检测开口两侧的检测板上表面设置有滑槽,所述倾斜杆顶端与移动框底面连接,其底端位于滑槽中。

8.根据权利要求1所述的一种无损透视视觉检测设备,其特征在于,所述自检机构还包括金属板、弹性碰珠、电动滑台、伸缩杆以及磁性板,所述模拟基板上表面设置有若干定位槽,所述金属板设置在缺陷元器件两侧,所述弹性碰珠设置在金属板底面,并嵌入定位槽中,所述电动滑台相对设置在检测板顶面,所述模拟基板位于电动滑台之间,所述伸缩杆设置在电动滑台的动子顶面,其输出轴与磁性板侧壁连接,所述缺陷元器件位于磁性板之间,所述上位机分别与电动滑台以及伸缩杆数据连接。

9.根据权利要求1所述的一种无损透视视觉检测设备,其特征在于,所述模拟引脚还包括套筒以及移动杆,所述套筒设置在空心管内顶面,所述复位弹簧位于套筒中,所述移动杆一端伸入套筒中与移动杆连接,另一端与金属杆顶端连接。


技术总结
本发明的一种无损透视视觉检测设备,包括上位机、X射线发生器、X射线探测器、顶板、检测板、底板和自检机构,自检机构包括液压杆、移动框、模拟基板、缺陷元器件和模拟引脚,X射线可以穿过检测开口处的物体,通过X射线前后强度差异成像来判断被测物是否存在缺陷,而液压杆通过移动框可以带动模拟基板移动到检测开口上,模拟基板上设置有缺陷元器件,而模拟基板周围的模拟引脚可以调节状态,当电磁铁通电时,金属杆会受到磁力,并回缩到空心管中,此时金属杆离开固定杆,模拟引脚变成断开状态,在发射和接收X射线后,通过成像的图像判断断开的引脚以及缺陷元器件是否被检测出来,从而验证检测设备的功能是否正常,以便于及时进行维修维护。

技术研发人员:薛建斌,欧阳锦,黄定友
受保护的技术使用者:珠海坚士电子科技有限公司
技术研发日:
技术公布日:2024/6/26
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