本技术涉及半导体测试设备,尤其涉及一种探针固定臂。
背景技术:
1、探针台是半导体行业重要的测试装备之一,其广泛应用于复杂、高速器件的精密电气测量的研发,旨在确保质量及可靠性,并缩减研发时间和器件制造工艺的成本。探针台上通常通过探针座固定探针,在使用时通过探针精准扎到被测点,从而使其讯号线与外部测试机导通,通过测试机测试人员可以得到所需要的电性能参数。探针是探针台最不可或缺的组件。
2、现有技术中,通过在探针座上安装探针臂,探针通过螺纹连接的方式旋拧固定在探针臂的顶端,但是现有的探针由于其体积较小,固定起来及其不便,并且现有的探针台上常会设置多个探针,在使用通过此方式安装探针,常会浪费较多的时间。
技术实现思路
1、针对上述问题,本实用新型提供了探针固定臂。
2、为实现上述目的,本实用新型采用了如下技术方案:探针固定臂,包括主臂以及紧固组件,所述主臂的一端的端面上具有圆槽,所述圆槽的两侧还设有条形孔,所述圆槽的底部固定连接臂的一端,所述连接臂的另一端固定有锁紧束,所述紧固组件包括套管和弹簧,所述弹簧套设在所述连接臂的外侧,所述弹簧的一端固定所述圆槽的槽底,所述弹簧的另一端连接所述套管的一端,所述套管套设在所述锁紧束的外侧;所述套管的外侧固定有凸块,所述凸块自所述条形孔露出主臂的外侧。
3、优选地,所述锁紧束至少为两个,所述锁紧束沿所述连接臂的圆周等分设置。
4、优选地,一个所述锁紧束上具有通孔,所述通孔内设置弹性压杆,所述通孔包括大孔段和小孔段,所述大孔段位于所述小孔段的外侧,所述弹性压杆包括压块、压杆主体以及伸缩弹簧,所述压块固定在所述压杆主体的一端,所述伸缩弹簧套设在所述压杆主体的外侧,所述伸缩弹簧的一端固定在所述大孔段的内底部,所述伸缩弹簧的另一端固定在所述压块的底部,所述压块的上端露出所述锁紧束的外侧,所述压杆主体的下端穿入所述通孔的小孔段,所述压杆主体的下端与所述锁紧束的内侧面平齐。
5、优选地,所述压块的上端为斜坡面,所述斜坡面自靠近所述弹簧的一侧开始向远离所述弹簧的一侧向上倾斜设置。
6、优选地,所述锁紧束远离所述连接臂的一端的端面上还具有定位凸起,所述定位凸起与所述通孔相对应。
7、优选地,所述锁紧束的内壁设有防滑凸起。
8、优选地,所述锁紧束远离所述连接臂的一端露出所述主臂的外侧。
9、与现有技术相比,本实用新型的有益效果为:本实用新型通过设置锁紧束和套筒,在使用时,首先通过滑动套筒将锁紧束外露,接着将探针的末端插入锁紧束内,并通过弹簧的作用下使套筒向锁紧束的一侧移动并套设在锁紧束外,从而将锁紧束收紧固定该探针,仅需一推一插,便可将探针固定,使用方便并且简单快速,避免探针的安装浪费时间。
1.探针固定臂,其特征在于:包括主臂以及紧固组件,所述主臂的一端的端面上具有圆槽,所述圆槽的两侧还设有条形孔,所述圆槽的底部固定连接臂的一端,所述连接臂的另一端固定有锁紧束,所述紧固组件包括套管和弹簧,所述弹簧套设在所述连接臂的外侧,所述弹簧的一端固定所述圆槽的槽底,所述弹簧的另一端连接所述套管的一端,所述套管套设在所述锁紧束的外侧;所述套管的外侧固定有凸块,所述凸块自所述条形孔露出主臂的外侧。
2.如权利要求1所述的探针固定臂,其特征在于:所述锁紧束至少为两个,所述锁紧束沿所述连接臂的圆周等分设置。
3.如权利要求2所述的探针固定臂,其特征在于:一个所述锁紧束上具有通孔,所述通孔内设置弹性压杆,所述通孔包括大孔段和小孔段,所述大孔段位于所述小孔段的外侧,所述弹性压杆包括压块、压杆主体以及伸缩弹簧,所述压块固定在所述压杆主体的一端,所述伸缩弹簧套设在所述压杆主体的外侧,所述伸缩弹簧的一端固定在所述大孔段的内底部,所述伸缩弹簧的另一端固定在所述压块的底部,所述压块的上端露出所述锁紧束的外侧,所述压杆主体的下端穿入所述通孔的小孔段,所述压杆主体的下端与所述锁紧束的内侧面平齐。
4.如权利要求3所述的探针固定臂,其特征在于:所述压块的上端为斜坡面,所述斜坡面自靠近所述弹簧的一侧开始向远离所述弹簧的一侧向上倾斜设置。
5.如权利要求3所述的探针固定臂,其特征在于:所述锁紧束远离所述连接臂的一端的端面上还具有定位凸起,所述定位凸起与所述通孔相对应。
6.如权利要求1所述的探针固定臂,其特征在于:所述锁紧束的内壁设有防滑凸起。
7.如权利要求1所述的探针固定臂,其特征在于:所述锁紧束远离所述连接臂的一端露出所述主臂的外侧。
