本发明涉及含氢氟酸水的处理装置以及含氢氟酸水的处理方法的技术。
背景技术：
1、近年，在各产业中为了降低生产据点的取水量以及排水量，从排水进行水回收来将水进行再利用的情形增加。进行该水回收的水处理系统根据原水水质而各种各样，但一般例如是在凝聚沉淀、除浊膜、砂过滤等浊质去除工序之后进行ro膜、离子交换等去离子工序。
2、例如在半导体工厂中，将用洗涤器对hf气体成分进行处理而得到的含氢氟酸的排水(例如，除害系统设备的排水：除害系统排水)排出，但在从这样的含有氢氟酸的水进行水回收的情况下，存在各材料因氢氟酸而溶解的问题。在半导体工厂中多追求高的水回收率，因此利用离子交换体而非ro膜来进行去离子工序的情况多。
3、例如，在专利文献1中公开了利用晶析+砂过滤+离子交换树脂从含氟排水进行水回收的流程。在进行水回收时，砂过滤的过滤材料多是采用了主成分为sio2的砂与碳系的无烟煤的2层过滤，但若直接通入氢氟酸，则存在砂的部分因hf而成为氟硅化物离子从而溶解消失这样的课题。
4、另外，还存在从过滤材料溶出的sio2、fe、al等成分会影响后级的处理这样的课题。具体而言，存在使对离子交换树脂的负荷量增大、或处理水因fe着色从而外观恶化这样的问题。
5、在先技术文献
6、专利文献
7、专利文献1：jp特开2001-96281号公报
技术实现思路
1、发明要解决的课题
2、为此，本发明的目的是提供含氢氟酸水的处理装置以及处理方法，在处理含氢氟酸水时，能抑制因过滤材料的溶解所致的过滤材料的减少，且使装置稳定地运转。
3、用于解决课题的技术方案
4、本技术方案涉及一种含氢氟酸水的处理装置，是ph小于4的含氢氟酸水的处理装置，具有：过滤装置，其填充有过滤材料；以及去离子装置，其配置于所述过滤装置的后级，且填充有离子交换体，所述过滤材料由合成树脂制过滤材料构成。
5、另外，本技术方案涉及一种含氢氟酸水的处理装置，是ph小于4的含氢氟酸水的处理装置，具有：过滤装置，其填充有过滤材料；以及去离子装置，其配置于所述过滤装置的后级，且填充有离子交换体，所述过滤材料由合成树脂制过滤材料与碳系过滤材料的组合构成。
6、另外，本技术方案涉及一种含氢氟酸水的处理装置，是ph小于4的含氢氟酸水的处理装置，具有：过滤装置，其填充有过滤材料；以及去离子装置，其配置于所述过滤装置的后级，且填充有离子交换体，所述过滤材料由碳系过滤材料构成。
7、另外，优选地，在所述含氢氟酸水的处理装置的基础上，所述过滤材料由有效直径及比重不同的至少2种所述碳系过滤材料构成，所述过滤装置填充有多层所述至少2种所述碳系过滤材料。
8、另外，优选地，在所述含氢氟酸水的处理装置的基础上，所述含氢氟酸水是半导体工厂的除害设备的排水。
9、另外，优选地，在所述含氢氟酸水的处理装置的基础上，所述合成树脂制过滤材料包含以聚乙烯(pe)、聚丙烯(pp)、聚氯乙烯(pvc)、聚苯乙烯(ps)、聚酯、聚酰胺(pa)、聚碳酸酯(pc)、聚乙烯醇(pva)或聚四氟乙烯(ptfe)的任一种为主成分的过滤材料当中的有效直径及比重不同的至少2种过滤材料。
10、另外，优选地，在所述含氢氟酸水的处理装置的基础上，所述合成树脂制过滤材料是纤维状过滤材料。
11、另外，本技术方案涉及一种含氢氟酸水的处理方法，是ph小于4的含氢氟酸水的处理方法，包括：过滤工序，向填充有过滤材料的过滤装置通入所述含氢氟酸水来得到过滤水；以及去离子工序，向填充有离子交换体的去离子装置通入所述过滤水来得到离子交换处理水，所述过滤材料由合成树脂制过滤材料构成。
12、另外，本技术方案涉及一种含氢氟酸水的处理方法，是ph小于4的含氢氟酸水的处理方法，包括：过滤工序，向填充有过滤材料的过滤装置通入所述含氢氟酸水来得到过滤水；以及去离子工序，向填充有离子交换体的去离子装置通入所述过滤水来得到离子交换处理水，所述过滤材料由合成树脂制过滤材料与碳系过滤材料的组合构成。
13、另外，本技术方案涉及一种含氢氟酸水的处理方法，是ph小于4的含氢氟酸水的处理方法，利用填充有过滤材料的过滤装置以及配置于所述过滤装置的后级且填充有离子交换体的去离子装置，所述过滤材料由碳系过滤材料构成。
14、发明效果
15、根据本发明，在处理含氢氟酸水时，能抑制因过滤材料的溶解所致的过滤材料的减少，且使装置稳定地运转。
1.一种含氢氟酸水的处理装置，是ph小于4的含氢氟酸水的处理装置，其特征在于，
2.一种含氢氟酸水的处理装置，是ph小于4的含氢氟酸水的处理装置，其特征在于，
3.一种含氢氟酸水的处理装置，是ph小于4的含氢氟酸水的处理装置，其特征在于，
4.根据权利要求3所述的含氢氟酸水的处理装置，其特征在于，
5.根据权利要求1至4中任一项所述的含氢氟酸水的处理装置，其特征在于，
6.根据权利要求1或2所述的含氢氟酸水的处理装置，其特征在于，
7.根据权利要求1或2所述的含氢氟酸水的处理装置，其特征在于，
8.一种含氢氟酸水的处理方法，是ph小于4的含氢氟酸水的处理方法，其特征在于，
9.一种含氢氟酸水的处理方法，是ph小于4的含氢氟酸水的处理方法，其特征在于，
10.一种含氢氟酸水的处理方法，是ph小于4的含氢氟酸水的处理方法，其特征在于，
