一种半导体抛光垫收放卷取样设备的制作方法

专利2025-12-03  8


本技术涉及抛光垫取样,尤其是一种半导体抛光垫收放卷取样设备。


背景技术:

1、抛光垫卷材产品长度一般为20-500米,宽幅0.8-1.5米,现有取样方式为手动装置人工取样,取样前需要人工将卷材拆卷平铺,然后人工测量取样位置进行取样,最后再手动将产品重新收卷。这种采用手动取样,人工拆卷、取样、收卷工作量大,取样效率低,且无法保证取样精度。


技术实现思路

1、针对上述技术问题,本实用新型提出了一种半导体抛光垫收放卷取样设备,该取样设备能自动拆卷收卷,并根据设定好的卷材长度对产品按要求进行裁剪取样,简化取样流程,提高取样效率,进而提高产品的生产质量和效率。

2、一种半导体抛光垫收放卷取样设备,包括放卷机构、取样机构、纠偏机构及收卷机构,抛光垫卷轴圈设在所述放卷机构上,通过放卷机构自动展开,所述取样机构和所述纠偏机构固定在支撑座上,分别用于对展开后的抛光垫进行自动取样和位置纠偏,所述收卷机构用于将展开的抛光垫自动卷收成卷,所述支撑座上安装有多组过渡辊,所述过渡辊用于抛光垫进行滚动支撑。

3、作为上述技术方案的优选,所述放卷机构和所述收卷机构的卷轴均采用气胀芯轴,所述气胀芯轴通过安全卡盘防止过载。

4、作为上述技术方案的优选,所述取样机构设有前后两组,所述支撑座上安装有直线滑轨,所述取样机构安装于所述直线滑轨上,通过手轮丝杆驱动沿着直线滑轨滑动。

5、作为上述技术方案的优选,所述取样机构包括刀架,所述直线滑轨上安装有定位板,所述刀架固定于所述定位板上,所述定位板上安装有子母刀模,所述刀架顶部安装有气缸,所述气缸用于驱动刀架内刀模下压取样。

6、作为上述技术方案的优选,所述收卷机构的侧边也安装有一组过渡辊。

7、本实用新型的有益效果在于:

8、1、采用多个模块组装而成,转运和安装方便,能够根据应用场地进行灵活布局调整。

9、2、能自动拆卷收卷,并根据设定好的卷材长度对产品按要求进行裁剪取样,简化取样流程,提高取样效率,进而提高产品的生产质量和效率。



技术特征:

1.一种半导体抛光垫收放卷取样设备,其特征在于:包括放卷机构、取样机构、纠偏机构及收卷机构,抛光垫卷轴圈设在所述放卷机构上,通过放卷机构自动展开,所述取样机构和所述纠偏机构固定在支撑座上,分别用于对展开后的抛光垫进行自动取样和位置纠偏,所述收卷机构用于将展开的抛光垫自动卷收成卷,所述支撑座上安装有多组过渡辊,所述过渡辊用于抛光垫进行滚动支撑。

2.根据权利要求1所述的收放卷取样设备,其特征在于:所述放卷机构和所述收卷机构的卷轴均采用气胀芯轴,所述气胀芯轴通过安全卡盘防止过载。

3.根据权利要求1所述的收放卷取样设备,其特征在于:所述取样机构设有前后两组,所述支撑座上安装有直线滑轨,所述取样机构安装于所述直线滑轨上,通过手轮丝杆驱动沿着直线滑轨滑动。

4.根据权利要求3所述的收放卷取样设备,其特征在于:所述取样机构包括刀架,所述直线滑轨上安装有定位板,所述刀架固定于所述定位板上,所述定位板上安装有子母刀模,所述刀架顶部安装有气缸,所述气缸用于驱动刀架内刀模下压取样。

5.根据权利要求1所述的收放卷取样设备,其特征在于:所述收卷机构的侧边也安装有一组过渡辊。


技术总结
本技术公开了一种半导体抛光垫收放卷取样设备,包括放卷机构、取样机构、纠偏机构及收卷机构,抛光垫卷轴圈设在所述放卷机构上,通过放卷机构自动展开,所述取样机构和所述纠偏机构固定在支撑座上,分别用于对展开后的抛光垫进行自动取样和位置纠偏,所述收卷机构用于将展开的抛光垫自动卷收成卷,所述支撑座上安装有多组过渡辊,所述过渡辊用于抛光垫进行滚动支撑。该取样设备能自动拆卷收卷,并根据设定好的卷材长度对产品按要求进行裁剪取样,简化取样流程,提高取样效率,进而提高产品的生产质量和效率。

技术研发人员:赵张磊,朱梦,陈浩,崔涛,胡冰峰
受保护的技术使用者:湖北鼎锐半导体有限公司
技术研发日:20231204
技术公布日:2024/6/26
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