本发明涉及等离子体发生器，具体为一种基于阵列针-板电极的等离子体发生器。
背景技术：
1、等离子体发生器是用人工方法获得等离子体的装置。基于阵列针-板电极的等离子体发生器主要通过在针电极和板电极之间施加高频电场，使电极之间的气体分子在电场的作用下发生电离，形成等离子体。阵列针-板电极结构能够产生均匀且密集的等离子体，从而实现对目标物体的高效处理。
2、进气口是等离子体发生器的常规结构之一，其主要作用是供工作气体进入至设备内部（如空气、氩气、氮气等）；当以空气作为工作气体输送至设备内部时，空气中的灰尘等杂质极易被带入至设备内部，而灰尘等进入设备内部后极易堆积在电极等处，长此以往会造成设备内部元器件的故障，鉴于此，我们提出一种基于阵列针-板电极的等离子体发生器。
技术实现思路
1、本发明的目的在于提供一种基于阵列针-板电极的等离子体发生器，以解决上述背景技术中提出的问题。
2、为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：
3、一种基于阵列针-板电极的等离子体发生器，包括机体，机体内部开设有放电室，放电室内安装有阵列针电极板，阵列针电极板的下方设有平板电极，机体的顶部后侧处安装有进气口，进气口处安装有过滤器；
4、过滤器包括顶部开口的壳体，壳体的外壁开设有多个缺口，缺口内均固定有挡网；壳体的底部中心处同轴固定有连接管，且连接管与进气口可拆卸连接；壳体上方安装有可拆卸的顶盖，顶盖的底部安装有连接板，连接板的底部同轴固定有多个呈同心设置的滤尘网，滤尘网穿入至壳体内并抵紧壳体的内底部，连接板的底部穿设有连接螺栓，连接螺栓穿过顶盖，连接螺栓的顶部螺纹连接有螺母，且螺母抵紧顶盖。
5、作为本发明优选的技术方案，所述壳体的顶部开口处螺纹连接有螺纹槽，且顶盖与螺纹槽螺纹连接。
6、作为本发明优选的技术方案，所述壳体和连接管为一体成型结构，且壳体和连接管均为铝合金材质的制成品。
7、作为本发明优选的技术方案，所述滤尘网呈镂空式结构，且滤尘网的整体形状呈筒状。
8、作为本发明优选的技术方案，所述机体的下方设有两个减震部，减震部包括底座，底座的顶部固定有两个支架，支架的顶端与底座之间处固定有导杆，导杆上滑动安装有滑块，导杆的外部位于滑块的上下两侧处均套设有弹簧，滑块靠近支架的一侧壁均安装有阻尼块，且阻尼块的一侧壁与支架的外壁相贴合。
9、作为本发明优选的技术方案，所述阻尼块的整体形状呈矩形，且阻尼块为橡胶材质的制成品。
10、作为本发明优选的技术方案，所述支架的整体形状呈l型，且支架通过螺栓与底座固定连接。
11、作为本发明优选的技术方案，所底座的两端处均开设有安装孔，且安装孔用于穿设以固定底座。
12、与现有技术相比，本发明的有益效果：
13、1.通过在进气口处设置的过滤器：工作气体经挡网进入至壳体内，在挡网的作用，可以对工作气体中的大颗粒杂质进行过滤，工作气体进入至壳体内后，经过多个滤尘网的过滤，从而可以过滤工作气体中的灰尘等杂质，进而可以避免工作气体中的灰尘等进入至设备内部，对设备内部的元器件起到了保护的作用；
14、2.通过设置的减震部：可以在装置使用过程中对产生的震动进行缓冲和吸附，避免持续的震动造成装置的损伤，对装置内部的元器件起到了进一步的保护作用。
1.一种基于阵列针-板电极的等离子体发生器，包括机体（1），机体（1）内部开设有放电室（11），放电室（11）内安装有阵列针电极板，阵列针电极板的下方设有平板电极，其特征在于：机体（1）的顶部后侧处安装有进气口（10），进气口（10）处安装有过滤器（2）；
2.根据权利要求1所述的基于阵列针-板电极的等离子体发生器，其特征在于：所述壳体（20）的顶部开口处螺纹连接有螺纹槽，且顶盖（23）与螺纹槽螺纹连接。
3.根据权利要求1所述的基于阵列针-板电极的等离子体发生器，其特征在于：所述壳体（20）和连接管（22）为一体成型结构，且壳体（20）和连接管（22）均为铝合金材质的制成品。
4.根据权利要求1所述的基于阵列针-板电极的等离子体发生器，其特征在于：所述滤尘网（25）呈镂空式结构，且滤尘网（25）的整体形状呈筒状。
5.根据权利要求1所述的基于阵列针-板电极的等离子体发生器，其特征在于：所述机体（1）的下方设有两个减震部（3），减震部（3）包括底座（30），底座（30）的顶部固定有两个支架（31），支架（31）的顶端与底座（30）之间处固定有导杆（32），导杆（32）上滑动安装有滑块（34），导杆（32）的外部位于滑块（34）的上下两侧处均套设有弹簧（33），滑块（34）靠近支架（31）的一侧壁均安装有阻尼块（35），且阻尼块（35）的一侧壁与支架（31）的外壁相贴合。
6.根据权利要求5所述的基于阵列针-板电极的等离子体发生器，其特征在于：所述阻尼块（35）的整体形状呈矩形，且阻尼块（35）为橡胶材质的制成品。
7.根据权利要求5所述的基于阵列针-板电极的等离子体发生器，其特征在于：所述支架（31）的整体形状呈l型，且支架（31）通过螺栓与底座（30）固定连接。
8.根据权利要求5所述的基于阵列针-板电极的等离子体发生器，其特征在于：所底座（30）的两端处均开设有安装孔（301），且安装孔（301）用于穿设以固定底座（30）。
