本发明涉及半导体检测，具体为一种探针台及探针台调针装置。
背景技术：
1、晶圆在制作完成后一般需要使用针测机进行检测，且在对不同晶圆进行检测时，需要进行探针的调节，但是现有探针调节方式存在较为不便，在公告号为cn1316253c的一种可掀式探针卡反面调针治具及其调针方法，可抽换式玻璃针对不同的晶圆制作不同的遮罩薄膜，遮罩薄膜具有多个探针定位点；调整探针卡针位系使探针卡探针的针位对准遮罩薄膜上的定位点；又在公告号为cn213240278u的一种针卡调节装置及探针台，从而保证了晶圆的平整度，提高了led芯粒或半导体芯粒测试的准确性。
2、上述两种装置虽然解决现有针测机探针调节的不便，但是需要进行多个探针的一一调节，仍然导致探针调节难度大、效率低，又在公告号为cn212180864u的一种用于探针台的可调连杆球头装置及可调探针台，当需要灵活旋转或移动时，只需要拧松紧固螺丝即可，该装置便携简单，便于整体更换，且操作简洁，具有广阔的推广前景。
3、1）上述装置通过单一探针进行检测，只需进行单个探针的调节，因此降低探针调节的难度，提升调节的效率，但是实际使用时，仍存在以下的缺陷：
4、2）该装置需要反复调节上下夹片的松紧，在长期调节过程中，不仅工序重复导致效率降低，且容易造成两个夹片与螺丝的连接松动，从而导致球头和探针发生松动，影响探针的检测效果；
5、该装置的球头和探针的位置调节需要人工进行调节，一方面费事费力、浪费人力，且调节的效率较低，另一方面通过人工调节容易导致调节精度较差，从而影响探针的检测效果。
6、因此，需要针对上述装置仍存在的问题进行解决。
技术实现思路
1、针对现有技术的不足，本发明提供了一种探针台及探针台调针装置，解决了现有探针台调针装置使用时，由于通过人工进行调针，且需要反复调整夹片松紧，容易导致夹片和螺丝连接松动，影响探针的稳定性，同时人工调节存在效率低以及精度差，从而影响探针检测效果的问题。
2、为实现以上目的，本发明通过以下技术方案予以实现：一种探针台调针装置，包括探针，所述探针的外部设置有调节机构，所述调节机构包括直板，所述直板相对的两侧表面均开设有凹槽，两个所述凹槽的内部均活动连接有球头，两个所述凹槽的内部均开设有球槽，所述球槽的内部与球头的外表面活动连接，两个所述球头的外表面均固定连接有固座，两个所述固座的外表面均固定连接有伸缩杆，一侧所述伸缩杆的输出端与探针的外表面固定连接，所述凹槽的内部设置有两个转辊，两个所述转辊的旋转方向相互垂直。
3、优选的，两个所述转辊的外表面均套设有胶套，两个所述胶套的外表面均与球头的外表面相抵接，两个所述转辊的外表面均固定连接有驱动电机，两个所述驱动电机的外表面均与凹槽的内部滑动连接。
4、优选的，所述球头的内部设置有辅助组件，所述辅助组件包括内腔，所述内腔开设在球头的本体上，所述内腔的内部设置有螺旋线圈，所述螺旋线圈通过磁力活动连接有磁柱，所述磁柱的外表面与转辊的外表面嵌入固定连接。
5、优选的，所述螺旋线圈的外部设置有支架，所述支架的外表面固定连接有固杆，所述螺旋线圈套设在固杆的外部，所述固杆外表面的两侧均固定连接有固板，所述螺旋线圈的两端分别与两侧固板的外表面固定连接，所述支架的顶部固定连接有连杆。
6、优选的，所述螺旋线圈的外部设置有换向单元，所述换向单元包括固环，所述固环的外表面与内腔的内部固定连接，所述固环的外表面上开设有环槽，所述环槽的内部转动连接有转环，所述转环的外表面固定连接有齿环，所述齿环的外表面与固环的外表面转动连接，所述齿环的外表面与连杆的一端固定连接。
7、优选的，所述齿环的外表面啮合有齿轮，所述齿轮的外表面固定连接有换向电机，所述换向电机的外表面固定连接有支杆，所述支杆的一端与内腔的内部固定连接。
8、优选的，所述凹槽的内部设置有运动单元，所述运动单元包括滑槽，所述滑槽开设在凹槽的内部，所述滑槽的内外均设置有滑轨，两个所述滑轨的外表面均滑动连接有直线电机，两个所述直线电机的外表面分别与两个驱动电机的外表面固定连接，两个所述滑轨的外表面均固定连接有限位板，两个所述限位板的外表面均开设有连槽，所述连槽的外表面分别与胶套以及驱动电机的外表面相抵接。
9、优选的，所述凹槽的内部设置有抵接组件，所述抵接组件包括推拉杆，所述推拉杆的外表面与凹槽的内部固定连接，所述推拉杆的输出端固定连接有抵板，所述抵板的外表面开设有抵槽，所述抵槽的内部与球头的外表面相抵接，所述抵板的外表面固定连接有固条，所述固条的一端固定连接有固架。
10、优选的，所述固架的外表面固定连接有旋转气缸，所述旋转气缸的输出端固定连接有转杆，所述转杆的一端与固架的外表面嵌入转动连接，所述转杆的本体贯穿固定连接有挤压杆，所述挤压杆的输出端固定连接有电动吸盘，所述电动吸盘的输出端与球头的外表面相抵接。
11、本发明还公开了一种探针台，包括探针台本体，所述探针台本体的外表面固定连接有基座，所述基座的外表面上设置有探针台调针装置。
12、有益效果
13、本发明提供了一种探针台及探针台调针装置。与现有技术相比具备以下有益效果：
14、（1）通过设置调节机构，直板利用凹槽和球槽对球头进行夹持，并通过两侧驱动电机带动转辊转动，以通过胶套驱动球头运动，从而对探针进行调节，不仅提升了调节的精度和效率，且通过直板始终对球头进行夹持，避免了反复调节松紧进行调节探针，不仅避免了连接的松动，且减少调节工序以提升调节的效率。
15、（2）通过设置辅助组件，利用螺旋线圈通电产生磁场，并通过与磁柱的磁力进行相吸，一方面提升胶套与球头连接的稳定性，另一方面通过磁力作用，提升对球头驱动的稳定性，从而提升了球头和探针调节的精度。
16、（3）通过设置换向单元，换向电机利用齿轮驱动齿环带动螺旋线圈进行旋转，从而改变螺旋线圈的磁场方向，以使得螺旋线圈磁场方向分别与两侧磁柱的磁场方向保持一致，以便于提升两侧磁柱对球头位置的调节效果。
17、（4）通过设置运动单元，便于调节磁柱和胶套的位置，一方面便于对球头的驱动，另一方面通过使得胶套脱离与球头的接触，便于另一侧胶套对球头的驱动，以及对球头进行锁紧固定，以便于提升检测时探针的稳定性。
18、（5）通过设置抵接组件，推拉杆带动抵板运动以通过抵槽可对球头进行抵接锁紧，同时利用两侧电动吸盘对球头进行负压吸附，并通过反向进行拉扯，使得抵板对球头的锁紧效果提升，从而进一步提升检测时球头和探针的稳定性。
1.一种探针台调针装置，包括探针（1），其特征在于：所述探针（1）的外部设置有调节机构，所述调节机构包括直板（2），所述直板（2）相对的两侧表面均开设有凹槽（3），两个所述凹槽（3）的内部均活动连接有球头（4），两个所述凹槽（3）的内部均开设有球槽（7），所述球槽（7）的内部与球头（4）的外表面活动连接，两个所述球头（4）的外表面均固定连接有固座（8），两个所述固座（8）的外表面均固定连接有伸缩杆（9），一侧所述伸缩杆（9）的输出端与探针（1）的外表面固定连接，所述凹槽（3）的内部设置有两个转辊（10），两个所述转辊（10）的旋转方向相互垂直，两个所述转辊（10）的外表面均套设有胶套（11），两个所述胶套（11）的外表面均与球头（4）的外表面相抵接，两个所述转辊（10）的外表面均固定连接有驱动电机（12），两个所述驱动电机（12）的外表面均与凹槽（3）的滑动连接；
2.根据权利要求1所述的一种探针台调针装置，其特征在于：所述螺旋线圈（52）的外部设置有支架（56），所述支架（56）的外表面固定连接有固杆（57），所述螺旋线圈（52）套设在固杆（57）的外部，所述固杆（57）外表面的两侧均固定连接有固板（58），所述螺旋线圈（52）的两端分别与两侧固板（58）的外表面固定连接，所述支架（56）的顶部固定连接有连杆（59）。
3.根据权利要求2所述的一种探针台调针装置，其特征在于：所述螺旋线圈（52）的外部设置有换向单元（53），所述换向单元（53）包括固环（531），所述固环（531）的外表面与内腔（51）的内部固定连接，所述固环（531）的外表面上开设有环槽（532），所述环槽（532）的内部转动连接有转环（533），所述转环（533）的外表面固定连接有齿环（534），所述齿环（534）的外表面与固环（531）的外表面转动连接，所述齿环（534）的外表面与连杆（59）的一端固定连接。
4.根据权利要求3所述的一种探针台调针装置，其特征在于：所述齿环（534）的外表面啮合有齿轮（535），所述齿轮（535）的外表面固定连接有换向电机（536），所述换向电机（536）的外表面固定连接有支杆（537），所述支杆（537）的一端与内腔（51）的内部固定连接。
5.根据权利要求1所述的一种探针台调针装置，其特征在于：所述凹槽（3）的内部设置有运动单元（55），所述运动单元（55）包括滑槽（551），所述滑槽（551）开设在凹槽（3）的内部，所述滑槽（551）的内外均设置有滑轨（552），两个所述滑轨（552）的外表面均滑动连接有直线电机（553），两个所述直线电机（553）的外表面分别与两个驱动电机（12）的外表面固定连接，两个所述滑轨（552）的外表面均固定连接有限位板（554），两个所述限位板（554）的外表面均开设有连槽（555），所述连槽（555）的外表面分别与胶套（11）以及驱动电机（12）的外表面相抵接。
6.根据权利要求1所述的一种探针台调针装置，其特征在于：所述凹槽（3）的内部设置有抵接组件（6），所述抵接组件（6）包括推拉杆（61），所述推拉杆（61）的外表面与凹槽（3）的内部固定连接，所述推拉杆（61）的输出端固定连接有抵板（62），所述抵板（62）的外表面开设有抵槽（63），所述抵槽（63）的内部与球头（4）的外表面相抵接，所述抵板（62）的外表面固定连接有固条（64），所述固条（64）的一端固定连接有固架（65）。
7.根据权利要求6所述的一种探针台调针装置，其特征在于：所述固架（65）的外表面固定连接有旋转气缸（66），所述旋转气缸（66）的输出端固定连接有转杆（67），所述转杆（67）的一端与固架（65）的外表面嵌入转动连接，所述转杆（67）的本体贯穿固定连接有挤压杆（68），所述挤压杆（68）的输出端固定连接有电动吸盘（69），所述电动吸盘（69）的输出端与球头（4）的外表面相抵接。
8.一种探针台，包括探针台本体（13），其特征在于：所述探针台本体（13）上固定连接有基座（14），所述基座（14）的外表面上设置有如权利要求1-7任意一项所述的探针台调针装置。
