线栅偏振器的制作方法

专利2026-01-28  6


本申请一般涉及线栅偏振器。


背景技术:

1、线栅偏振器(wgp)可将光分为两种不同的偏振状态。一种偏振状态可以主要通过wgp,而另一种偏振状态可以主要被吸收或反射。wgp的有效性或性能基于主导透射偏振(有时称为tp)的高透射和相反偏振的最小透射(有时称为ts)。具有高对比度(tp/ts)会是有益的。对比度可以通过增加主导透射偏振的透射(例如增加tp)以及通过减少相反偏振的透射(例如减少ts)来改善。这将有利于改善wgp的性能。

2、高性能wgp的肋,特别是对于可见光或紫外光的偏振,以及其他光学器件的肋,可以是小而精细的,具有纳米级的间距、线宽和线高。制造此类wgp和其它光学器件会是昂贵的。发现针对光学器件的较不昂贵的制造方法将是有利的。

3、图案化和蚀刻可以形成wgp的导线。针对线栅偏振器的一些期望的材料的蚀刻会是困难或不实际的。减少或消除针对蚀刻以形成导线的需求将是有益的。


技术实现思路

1、已经认识到,改善线栅偏振器(wgp)的性能、发现用于制造wgp的较不昂贵的方法以及减少或消除针对此类wgp的蚀刻的需求将是有利的。本发明涉及满足这些需求的wgp的各种实施例以及制造wgp的方法。每个实施例可以满足一个、一些或所有这些需求。

2、wgp可以包括基板上的支撑肋的阵列。支撑肋的侧面可以向一侧倾斜。在每个支撑肋的上侧面和远端上可以有导线,每根导线与毗邻支撑肋上的导线分离。



技术特征:

1.一种制造线栅偏振器(wgp)的方法,所述方法包括:

2.如权利要求1所述的方法,其特征在于,沉积所述导线包括法向角度沉积。

3.如权利要求1所述的方法,其特征在于,沉积所述导线是单独通过法向角度沉积来执行的。

4.如权利要求1所述的方法,其特征在于,还包括:在固化所述未固化层之后且在沉积所述导线之前,在每个支撑肋的所述上侧面和所述远端沉积盖。

5.如权利要求4所述的方法,其特征在于,所述盖和所述基板跨所述可见光谱是透明的。

6.如权利要求4所述的方法,其特征在于,所述盖和所述导线是通过溅射沉积来沉积的。

7.如权利要求1所述的方法,其特征在于,压印包括将压印压入所述未固化层,所述压印包括与所述通道配合的压印肋和与所述支撑肋配合的压印通道。

8.如权利要求7所述的方法,其特征在于,所述压印包括弹性材料。

9.如权利要求7所述的方法,其特征在于,所述压印肋、附接到所述压印肋的所述压印的基座或这两者包括聚酰亚胺、聚二甲基硅氧烷或两者。

10.如权利要求1所述的方法,其特征在于,压印包括将压印压入所述未固化层,随后以在10°以内的a92的角度移除所述压印。


技术总结
线栅偏振器可以包括基板上的支撑肋的阵列。支撑肋的侧面可以向一侧倾斜。导线可被施加在每个支撑肋的上侧面和远端上,每根导线与毗邻支撑肋上的导线分离。线栅偏振器可在具有减少的蚀刻或没有蚀刻的情况下制造。

技术研发人员:R·S·尼尔森,B·R·威廉姆斯,卫永毅
受保护的技术使用者:莫克斯泰克公司
技术研发日:
技术公布日:2024/6/26
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